JP2010140531A - 多i/oの半導体メモリの試験方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】多I/Oの半導体メモリを効率的に試験する試験方法を提供する。
【解決手段】それぞれのメモリI/Oからの出力データが同一出力レベルであるかどうかを判定し、その出力を良否判定出力として半導体メモリの良否を判定する。さらに、入出力回路の出力バッファの前段に設けられた排他的論理和ゲートと、ラッチ回路とを備え、データ書き込み時に、前記ラッチ回路がテスタI/Oピンから入力されるデータを期待値としてラッチし、データ読み出し時に、前記排他的論理和ゲートが入力される半導体メモリ内部からの読み出しデータと前記ラッチ回路からの期待値とが一致するかどうかを比較判定し、その判定結果を前記出力バッファから出力する。
【選択図】図1
【解決手段】それぞれのメモリI/Oからの出力データが同一出力レベルであるかどうかを判定し、その出力を良否判定出力として半導体メモリの良否を判定する。さらに、入出力回路の出力バッファの前段に設けられた排他的論理和ゲートと、ラッチ回路とを備え、データ書き込み時に、前記ラッチ回路がテスタI/Oピンから入力されるデータを期待値としてラッチし、データ読み出し時に、前記排他的論理和ゲートが入力される半導体メモリ内部からの読み出しデータと前記ラッチ回路からの期待値とが一致するかどうかを比較判定し、その判定結果を前記出力バッファから出力する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体メモリの試験方法に係り、特に多数ビット構成の多I/Oの半導体メモリの試験方法に関する。
半導体集積回路は、年毎に集積化が進展し大規模化されている。例えば、最近の半導体メモリは、ギガビットクラスのビット容量をもつギガスケール集積回路が量産化され、出荷されている。このようにメモリ容量が大容量化された場合には、半導体メモリから一度に入出力されるビット数も多くなる。このように多数のビットが同時に入出力される半導体メモリは、多I/Oの半導体メモリと呼ばれる。
半導体メモリの動作試験は、試験コスト低減のため複数の半導体メモリが同時に試験される。このときテスタ側のテスタI/Oピンは、半導体メモリ側のメモリI/O端子にそれぞれ対等に割り当てられる。そのため半導体メモリのI/Oビット数が増加(64ビット、128ビット、256ビット・・・等)すると、同時に測定できるメモリ個数が制限されることになる。例えば256個のテスタI/Oピンを有するテスタで測定する場合、I/Oビット数が16ビットのメモリは256/16=16個同時に測定できる。しかし、I/Oビット数が32ビットでは256/32=8、64ビットでは256/64=4個と、I/Oビット数が増加するにつれ同時に測定できる個数が減少していく。I/Oビット数が256ビットの半導体メモリでは、1個しか測定することができなくなる。
このように、多I/Oの半導体メモリを試験する場合には、1回で同時測定する半導体メモリ個数が減少する。一回の同時測定個数が減少すると、大量の半導体メモリを試験するのに必要になる測定回数が増加し、試験終了までの時間も延びる。つまり、多数ビット構成の多I/Oの半導体メモリの1個あたりの試験時間が長くなり、試験コストがアップすることになる。また多I/Oの半導体メモリの同時測定個数を多くする場合には、テスタI/Oピンを多く備えたテスタが必要になる。しかしテスタの購入代金は、テスタI/Oピン数に応じて高価となり、この場合も試験コストがアップすることになる。つまり量産で、大量の多I/Oの半導体メモリの試験を行うときに、試験コストがアップし、量産が難しくなるという問題がある。
これら多I/Oの半導体集積回路の試験方法に関する先行文献として、下記特許文献がある。特開平11−2660号公報(特許文献1)には、半導体集積回路の複数のI/O端子同士を短絡してテストする技術が開示されている。特許文献1の半導体集積回路は、複数の出力端子同士を短絡するアナログスイッチを備えている。テスト時には、テスト信号によりアナログスイッチを導通させ、2つの出力端子を短絡させ1つの出力端子とする。2つの出力端子を短絡した出力端子の出力レベルは、2つの出力電圧を組み合わせた4つの電圧レベルとなる。この4つの電圧レベルを判定することで、2つの出力端子を1つの出力端子を使ってテストすることができる。このようにテスト時に観測する出力端子の数を減らすことで、少数のテスト用ピンを持つテスタを用いてテストが可能となる。
また、特開2000−315773号公報(特許文献2)にも、半導体集積回路の複数のI/O端子同士を短絡してテストする技術が開示されている。特許文献2においても、特許文献1と同様にしてテスト時に出力端子を短絡し、観測する出力端子数を減らすことができる。このようにテスト時に観測する出力端子の数を減らすことで、テスト効率を向上できる。
先行特許文献では、出力端子を短絡して、テスト時に観測する出力端子の数を減らすことで、試験コストを低減させる技術が開示されている。しかし、1つの出力端子に出力される複数の電圧レベルを判定する必要がある。例えば、2個の出力端子を短絡させる場合には4個の出力電圧レベルの判定が必要となる。しかし、判定する出力電圧レベルが多くなると、製造時の素子ばらつきによる誤差範囲が重なり合って、判定が複雑あるいは判定できなくなるという問題が生じる。このため先行特許文献に開示された技術では、多くの出力端子を短絡させることが難しくなる。従って、多I/Oの半導体メモリを、より簡単な方法で、低コストで、効率よく試験する試験方法が望まれている。
本発明の1つの視点によれば、それぞれのメモリI/Oからの出力データが同一出力レベルであるかどうかを判定し、その出力を良否判定出力として半導体メモリの良否を判定することを特徴とする多I/Oの半導体メモリの試験方法が得られる。
さらに本発明の他の視点によれば、入出力回路の出力バッファの前段に設けられた排他的論理和ゲートと、ラッチ回路とを備え、データ書き込み時に、前記ラッチ回路がテスタI/Oピンから入力されるデータを期待値としてラッチし、データ読み出し時に、前記排他的論理和ゲートが入力される半導体メモリ内部からの読み出しデータと前記ラッチ回路からの期待値とが一致するかどうかを比較判定し、その判定結果を前記出力バッファから出力することを特徴とする多I/Oの半導体メモリが得られる。
さらに本発明の他の視点によれば、半導体メモリを試験するテスタのマザーボード上に搭載され、メモリI/Oの接続先をデータ書き込み時にはテスタI/Oピンに接続し、データ読み出し時にはI/O間ショート配線に接続する第1セレクタと、半導体メモリの入出力回路専用接地電源と半導体メモリの内部回路用接地電源との間に直列接続された電流計と、前記電流計からの良否判定出力をデータ書き込み時には未接続とし、データ読み出し時にはテスタI/Oピンに接続する第2セレクタと、を備えたことを特徴とする多I/Oの半導体メモリ用のテストボードが得られる。
本発明によれば、半導体メモリの良否判定を各メモリI/Oからの出力データではなく、各メモリI/Oからの出力データが同一出力レベルであるかどうかの良否判定出力を用いて半導体メモリの良否を判定している。
そのため1個の半導体メモリは、メモリのI/O数に相当するテスタI/Oピン数を必要とせず、良否判定出力の1つのテスタI/Oピンにより良否判定することができる。使用しないテスタI/Oピンを別の半導体メモリに割り振ることが可能になり、同時に測定できる個数が多くできる。このように本発明によれば、テスタI/Oピンを効率よく半導体メモリに割り当てることが出来ることから、効率的な多I/Oの半導体メモリの試験方法が得られる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について、詳細に説明する。
実施例1を、図1を参照して説明する。図1には、実施例1に係る試験方法を説明するブロック図を示す。図1のブロック図は、半導体メモリ100、テスタ200、マザーボード203、テストボード300で構成される。図1に示す半導体メモリ100は、I/Oビット数が4ビットの場合であるが、これらのI/Oビット数は特に限定されるものではない。
半導体メモリ100は、出力するビット数に対応して4つのI/O端子(I/O―0〜3)を備え、そのI/O回路専用の電源(VddQ、VssQ)や、さらにクロックClockやアドレス端子を備えている。半導体メモリの入出力回路(I/O回路)には、他の内部回路に供給する通常電源(Vdd、GND)とは別に入出力回路専用の電源VddQ、及び接地電源VssQが供給される。また半導体メモリ100には図示していないが、コマンド端子、電源端子等の半導体メモリとして必要な端子を備えている。これらの機能、動作については一般的なメモリと同じであることから、その説明を省略する。
テスタ200は、例えば制御信号202、テスタI/Oピン(I/O―0〜3、さらに図示していないがI/O―4〜nを備えているとする)、クロックClock、アドレス等の信号や、電源等を出力する。テスタ200のテスタI/Oピンは、被測定回路から出力されるデータの良否を判定する機能を有している。これらの信号線は、テスタ200から、例えばマザーボード203の配線を経由して、テストボード300の配線、さらに半導体メモリの端子に接続される。テスタ200の構成として、詳細構成は図示していないが、一般的なテスタ機能を備えているテスタであり、これらの機能、動作については一般的なテスタと同じであることからその説明を省略する。
テストボード300は、半導体メモリを試験するテスタのマザーボード203に搭載され、セレクタ101、102と電流計500を備えている。さらにテストボード300には、例えば半導体メモリ100を簡単に挿抜可能なようにソケットを備えることができる。セレクタ101は、半導体メモリI/O端子の接続先をデータ書き込み時にはテスタI/Oピンに接続し、データ読み出し時にはI/O間ショート配線に接続する。電流計500は、半導体メモリの入出力回路専用接地電源と半導体メモリの内部回路用接地電源との間に直列接続され、貫通電流の有無を良否判定出力としてセレクタ102に出力する。セレクタ102は、電流計からの良否判定出力をデータ書き込み時には未接続とし、データ読み出し時にはテスタI/Oピンに接続する。これらのマザーボード203やテストボード300の構成はテスタ200により異なるが、本発明においては、例えばマザーボード203上にテストボード300が32個設置されているとする。
セレクタ101は、半導体メモリ100のI/O端子(I/O―0〜3)に対応して設けられ、それぞれのメモリI/O端子の接続先を切り替える。セレクタ101のaピンはメモリI/O端子、bピンはI/O間ショート配線403、cピンはテスタI/Oピン、dピンはテスタからの制御信号202に接続されている。dピンの制御信号202によりaピンのメモリI/O端子を、bピンのI/O間ショート配線403又はcピンのテスタI/Oピンに接続を切り替える。
半導体メモリの書き込み時には制御信号202はハイレベルとなり、aピンのメモリI/O端子をcピンのテスタI/Oピンに接続する。図1では、メモリのI/O端子(I/O―0〜3)に対応させて、同じ符号のテスタI/Oピン(I/O―0〜3)を割り付けている。半導体メモリの読み出し時には制御信号202はローレベルとなり、aピンのメモリI/O端子をbピンのI/O間ショート配線403に接続する。I/O間ショート配線403は、それぞれの半導体メモリ100の全I/O端子(I/O―0〜3)の出力をショートする配線である。
セレクタ102は、電流計500からの良否判定出力をテスタのI/Oピンに接続するか、非接続とするかを切り替える。セレクタ102はセレクタ101と同じピン構成であり、aピンは電流計500からの良否判定出力、bピンはテスタI/Oピン、cピンは未接続、dピンはテスタからの制御信号202に接続されている。dピンの制御信号202によりaピンの電流計500からの良否判定出力を、bピンのテスタI/Oピンへの接続又はcピンの未接続に切り替える。半導体メモリの書き込み時には制御信号202はハイレベルとなり、aピンの電流計500からの良否判定出力はcピンの未接続となる。読み出し時には制御信号202はローレベルとなり、aピンの電流計500からの良否判定出力をテスタのI/Oピン(例えば、I/O―0)に接続する。
電流計500は、I/O回路用接地電源(VssQ204)と内部回路用接地電源(GND205)の間に直列に接続される。I/O回路用接地電源VssQと内部回路用接地電源GNDの間に流れる貫通電流を測定する。読み出し時には、半導体メモリの各I/Oからの出力データはI/O間ショート配線403に短絡される。各I/Oからの出力データレベルが同じ場合には、I/O間ショート配線403には同一の出力レベルが供給され、貫通電流は発生しない。しかし各I/Oからの出力データレベルが異なる場合には、I/O間ショート配線403にはハイレベルとローレベルの異なる出力レベルが供給される。その結果I/O間ショート配線403に電位差が生じ、貫通電流が発生する。電流計500は、その貫通電流の測定結果をハイ、もしくはロー(電流が流れればハイ、流れなければロー)の2値を良否判定出力として出力する。この良否判定出力を、テスタI/Oピンに出力し、テスタに結果を取り込ませ、半導体メモリの良否の判定を可能とする。
電流計500からの良否判定出力は、それぞれの半導体メモリの良否の判定結果である。従って各テストボード300の電流計500からの良否判定出力を接続するテスタのI/Oピンは、それぞれ個別で、異なるI/Oピンとする必要がある。例えば、テストボード300が32個の場合には、図1に示すように図の左側のテストボード300を1番目のテストボード、右側を2番目のテストボード、図示していないテストボードを順次3、4、〜32番目のボードとする。1番目のテストボードからの出力はテスタのI/O―0ピン、2番目のテストボードからの出力はテスタのI/O―1ピン、最後の32番目のテストボードからの出力はテスタのI/O―31ピンにそれぞれ接続されている。このように、それぞれの半導体メモリの試験判定は1つのテスタI/Oピンにより行われることになる。例えば、テスタI/Oピンを256有するテスタで、256ビットのI/Oのメモリを測定する場合は現状では1個のメモリしか測定できない。しかし本発明では、32個のメモリが同時測定可能であり、多I/Oのメモリの測定の効率化が図れる。
以下、この構成における半導体メモリの試験方法を説明する。最初に半導体メモリのメモリ領域にデータ書き込みを行う。書き込み時にはテスタ200の制御信号202をハイレベルとし、セレクタ101により半導体メモリ100の各メモリI/O端子(aピン)は、それぞれテスタの対応するテスタI/Oピン(cピン)に接続される。書き込みは、一般的な半導体メモリの書き込みと同様であり、半導体メモリの個々のメモリI/Oに、テスタからのデータが入力され、メモリ領域に書き込みされる。同時測定される全ての半導体メモリに対し、同じデータ、アドレスを供給し書き込みする。半導体メモリの書き込みは、半導体メモリのI/Oビット単位に行われることから、メモリI/Oビット数に対応するテストI/Oピン数を割り付ける必要がある。しかし、1つのテストI/Oピンから書き込みする半導体メモリの数は適宜選択できる。
書き込み時にはセレクタ102は、電流計500の良否判定出力とテスタ200のI/Oピン間が未接続で、オープン状態である。従って、電流計500の良否判定出力は、どこにも出力されない。ここで、例えば半導体メモリ100に、読み出し時に同じ読み出しレベルとなるように、“オールハイ(all H)”のデータを書き込むとする。半導体メモリ100の各I/Oは、それぞれ対応するテスタI/Oピンに接続されている。そのため通常の書き込みと同様に、アドレス、コマンドに従って、テスタI/Oピンからのデータが半導体メモリのメモリ領域に書き込まれる。
次に半導体メモリ100の内部メモリ領域からデータ読み出しを行う。テスタ200の制御信号202をローレベルとし、セレクタ101により半導体メモリ100の各I/O端子(aピン)の接続を切り替え、I/O間ショート配線403(bピン)に接続する。このときセレクタ102は、制御信号202がローレベルであることから、電流計500の良否判定出力(aピン)と、テスタ200のI/Oピン(bピン)とを接続する。図においては左側のテストボード300の良否判定出力はテスタI/Oピン(I/O−0)に、右側のテストボード300の良否判定出力はテスタI/Oピン(I/O−1)に接続されている。
半導体メモリの書き込みデータは“オールハイ”である。そのため正常な半導体メモリからの出力レベルは、全てハイレベルである。従って、I/O間ショート配線403はハイレベルとなり、電位差がないため貫通電流が流れない。そのため電流計500の良否判定出力としてローレベルが測定され、テスタのI/Oピンに読み出され、半導体メモリ100は良品(Pass)と判定される。このように、正常な半導体メモリの全I/Oから、書き込まれた同一のハイレベルが出力され、貫通電流は流れないことから、半導体メモリは良品と判定される。
一方、半導体メモリに異常があり、1つのI/Oからローレベルが出力されたとする。このとき、その異常が発生した半導体メモリのI/O間ショート配線403には、ハイレベルとローレベルの異なる電圧レベルが供給されることで貫通電流が流れる。I/O用接地電源(VssQ)と内部回路用接地電源(GND)間で流れる貫通電流は、電流計500に検出される。電流計500の良否判定出力はハイレベルとなり、テスタのI/Oピンに読み出される。半導体メモリは不良品(Fail)と判定される。
多I/Oの半導体メモリであっても、半導体メモリのI/OをI/O間ショート配線にまとめて短絡させ、貫通電流の有無を良否判定出力として、1つのテスタI/Oピンを使って判定する。それぞれの半導体メモリにおける良否判定出力を、それぞれ異なるテスタI/Oピンに割り当てることで、それぞれの半導体メモリの良否が判定できる。従って、多I/Oの半導体メモリであっても、1つのテスタI/Oピンを使って半導体メモリの良否が判定でき、多くの半導体メモリを同時測定することが可能となる。
また上記説明では、半導体メモリにデータ“オールハイ”を書き込む場合を説明したが、データ“オールロー”として、同様に半導体メモリにおける個々の良否判定が可能である。本実施例においては、半導体メモリの同一アドレスで、同時に書き込み・読み出しされるI/Oのデータを、“ハイ”又は“ロー”の同一レベルとすればよい。I/Oからの出力データが、同一レベルであれば同じ半導体メモリのI/O同士をI/O間ショート配線に短絡した場合も、その出力レベルは同一レベルであり、貫通電流は流れない。しかし半導体メモリに異常があり、同じ半導体メモリのいずれかのI/Oが異なる出力レベルの場合には、I/O間ショート配線内で電位差が生じ、貫通電流が発生する。その貫通電流の有無を検出することで、半導体メモリの動作試験における良否判定が可能となる。
現状のテスタでは、複数の半導体メモリを同時測定する場合、テスタのI/Oピンを同時測定するメモリのI/O数(メモリ個数xビット数)に対応して割り付けることで、測定を行っている。本実施例では、データ書き込み時には、テスタのI/OピンをメモリI/Oのビット数に対応して割り付ける。しかし、データ読み出し時には、メモリI/Oをまとめて、I/O間ショート配線に短絡させる。半導体メモリ毎に、I/O間ショート配線の貫通電流を検出し、その結果を良否判定出力として、1つのテスタI/Oピンに出力する。半導体メモリの試験結果はI/O間ショート配線の貫通電流として、1つのテスタI/Oピンに出力することで半導体メモリの良否を判定する。このため、テスタのI/OピンをメモリI/O数分使用することなく、1つのテスタI/Oピンにより試験可能としている。そのため使用しないテスタI/Oピンを他のメモリに割り当てることで、測定の効率化を図ることができる。
実施例2を、図2を参照して説明する。図2には、実施例2に係る試験方法を説明するブロック図を示す。半導体メモリの試験では様々なデータパターンを書き込む必要があり、実施例2は、その様々なデータパターンを書き込み可能にしている。図2に示す半導体メモリ100の入出力回路部は、ラッチ回路400、排他的論理和(EXORゲート)401、出力バッファ402、入力バッファ(図示せず)から構成される。本実施例における入出力回路部は、通常の半導体メモリが備えている出力バッファ402と入力バッファの他に、さらにラッチ回路400とEXORゲート401を備えている。
追加されたラッチ回路400とEXORゲート401は、通常の書き込み/読み出し動作においては、使用されない。従って通常動作時には、EXORゲートとラッチ回路は非活性状態である。すなわち通常動作時には、EXORゲートは非活性で、メモリ内部からの読み出しデータは入力Aから直接出力バッファ402に入力される。半導体メモリを試験する場合には、例えばテストモード信号によりラッチ回路400と、EXORゲート401とを活性化し、動作させる。以下の説明は、通常動作時の説明は省略し、試験モードの状態で、すなわちラッチ回路400と、EXORゲート401とが活性化された状態にあるとして説明する。
半導体メモリ100の入出力回路部では、読み出し時には内部メモリ領域からの読み出しデータが出力され、書き込み時には書き込みデータが入力される。読み出しデータは、出力バッファ402から出力され、書き込みデータは、図示していない入力バッファに取り込まれる。ラッチ回路400の入力は、半導体メモリのI/O端子に接続され、その出力はEXORゲート401の入力Bに接続されている。EXORゲート401の入力Aには、半導体メモリ内部からの読み出しデータが入力される。EXORゲート401の入力Bには、ラッチ回路400にラッチされている期待値が入力される。EXORゲート401は、半導体メモリ内部からの読み出しデータとラッチ回路400からの期待値データとが入力され、両者の出力レベルが一致しているかどうかの判定結果を出力バッファ402に出力する。その判定結果が、出力バッファ402から出力データとして、メモリI/O端子に出力される。
本実施例における試験動作時の半導体メモリのI/O端子からの出力データは、メモリ内部のメモリ領域からの読み出しデータではなく、その読み出しデータと期待値データが一致しているかどうかの判定結果である。この点が実施例1と異なる点である。その他テスタ200、テストボード300及びその構成部品セレクタや電流計500の構成接続は実施例1(図1)と同様であり、実施例1と同じ符号で表示し、その説明は省略する。
半導体メモリのI/O端子は、セレクタ101のaピンに接続され、セレクタ101のbピン(I/O間ショート配線403)と、cピン(テスタI/Oピン)とのどちらかに、切り替え接続される。半導体メモリの書き込み時には、セレクタ101のaピン(メモリI/O端子)をcピン(テスタI/Oピン)に接続させる。テスタI/Oピンから、入力バッファ(不図示)を経由して、それぞれのメモリ領域にデータを書き込むとともに、そのデータを期待値としてラッチ400に書き込む。
読み出し時には、セレクタ101のaピン(メモリI/O端子)はbピン(I/O間ショート配線403)に接続され、メモリI/O端子同士を短絡する。このときEXORゲート401の入力には、入力Aとして半導体メモリ内部からの読み出しデータ、入力Bとして書き込み時にラッチ回路400に取り込まれた期待値データとが入力され、両方のデータが同一レベルであるかどうかが判定される。EXORゲート401から読み出しデータと期待値データとが同じ出力レベルであればローレベル、読み出しデータと期待値データとが異なる出力レベルであればハイレベルが出力される。EXORゲート401からの出力は、出力バッファ402から出力データとして、セレクタ101のaピンに出力される。
正常な半導体メモリであれば半導体メモリ内部からの読み出しデータと、期待値データとが同じレベルであり、EXORゲートや出力バッファからの出力はいずれもローレベルが出力される。そのためI/O間ショート配線403もローレベルとなり、同一レベルとなり貫通電流が流れない。従って電流計の良否判定出力はローレベルで、半導体メモリは良品判定される。しかし、異常な半導体メモリであれば、いずれかのI/O端子で半導体メモリ内部からの読み出しデータと、期待値データとが異なり、EXORゲート401の出力がハイレベルとなる。I/O間ショート配線にハイレベルとローレベルが混在し、I/O間ショート配線に電位差が生じ、貫通電流が発生する。この貫通電流の発生により、電流計500の良否判定出力はハイレベルとなり、半導体メモリは不良品判定される。このように実施例1と同様に、電流計500の良否判定出力により半導体メモリの良否判定が行われる。
ここでラッチ400へのデータ取り込みは、例えば入出力回路部と同様に入出力データストローブ信号(DQS)に同期してラッチし、取り込むことができる。また1つのラッチに複数データをラッチさせる場合には、書き込み順にデータをラッチし、読み出し時にも、書き込み時と同じアドレス順に読み出し、EXORゲートに出力する。この場合にはラッチしたデータを、ラッチした順に入出力データストローブ信号(DQS)に同期して順次出力することができる。しかし、これらの期待値の取り込み・読み出し順は、特に限定されるものではなく、ラッチする期待値のビット数、期待値の取り込み・読み出し順等は適宜選択することができる。
本実施例においては、書き込み時には半導体メモリのI/Oビット数に対応してテスタのI/Oピンを割り当て、半導体メモリにデータを書き込む、と同時にラッチ回路にそのデータを期待値としてラッチする。読み出し時には、半導体メモリからの読み出しデータと、ラッチ回路の期待値を比較判定し、判定結果をI/O端子に出力する。各半導体メモリのI/O端子をまとめてI/O間ショート配線に短絡させる。半導体メモリ毎に、I/O間ショート配線の貫通電流を検出し良否判定出力として、テスタの1つのI/Oピンに出力し、半導体メモリの良否を判定する。このようにして実施例1と同様に、テスタのI/OピンをメモリI/O数分使用することなく、1つのテスタI/Oピンにより試験可能としている。そのため使用しないテスタI/Oピンを他のメモリに割り付けることで、測定の効率化を図ることができる。
本発明によれば、半導体メモリの良否判定を各メモリI/Oからの出力データではなく、各メモリI/Oからの出力データが同一レベルであるかどうかの良否判定出力を用いて半導体メモリの良否を判定する。1つの半導体メモリに対して、1つのテスタI/Oピンにより半導体メモリの良否を判定することができる。このようにテスタI/Oピンを効率よく半導体メモリのI/Oに割り当てることが出来ることから、半導体メモリの試験時に、同時測定するメモリ個数を多くできる。またテスタI/Oピンの少ない安価なテスタを使用して、試験することも可能となり、試験コストが低減できる。このように本発明によれば、低コストで、効率よく試験する試験方法が実現できる。また、本発明の試験方法に好適な半導体メモリや、テストボードが得られる。
以上、実施形態例を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記の実施形態例に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で様々な変更をすることができる。
100 半導体メモリ
101、102 セレクタ
200 テスタ
202 制御信号
203 マザーボード
204 VssQ
205 GND
300 テストボード
400 ラッチ
401 排他的論理和(EXORゲート)
402 出力バッファ
403 I/O間ショート配線
500 電流計
101、102 セレクタ
200 テスタ
202 制御信号
203 マザーボード
204 VssQ
205 GND
300 テストボード
400 ラッチ
401 排他的論理和(EXORゲート)
402 出力バッファ
403 I/O間ショート配線
500 電流計
Claims (13)
- それぞれのメモリI/Oからの出力データが同一出力レベルであるかどうかを判定し、その出力を良否判定出力として半導体メモリの良否を判定することを特徴とする多I/Oの半導体メモリの試験方法。
- 前記良否判定出力は、前記メモリI/Oからの出力データをそれぞれ短絡し、その短絡した配線に流れる貫通電流の有無によって決まることを特徴とする請求項1に記載の多I/Oの半導体メモリの試験方法。
- 半導体メモリへのデータ書き込みは、それぞれのメモリI/Oに同時に読み出される出力データが同一出力レベルとなるように書き込むことを特徴とする請求項1又は2に記載の多I/Oの半導体メモリの試験方法。
- 半導体メモリへのデータ書き込み時に、書き込みデータをメモリ領域に書き込むとともに、期待値としてラッチし、データ読み出し時にメモリ領域からの読み出しデータと前記期待値とを比較判定した結果を前記メモリI/Oからの出力データとして、出力することを特徴とする請求項1又は2に記載された多I/Oの半導体メモリの試験方法。
- 半導体メモリの入出力回路専用接地電源と内部回路用接地電源間に設けた電流計により、前記良否判定出力を出力することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載された多I/Oの半導体メモリの試験方法。
- 第1のセレクタがテスタからの制御信号に基づいて、前記メモリI/Oの接続先を、データ書き込み時には対応するテスタI/Oピンとし、データ読み出し時にはI/O間ショート配線に接続するように切り替えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載された多I/Oの半導体メモリの試験方法。
- 第2のセレクタがテスタからの制御信号に基づいて、前記良否判定出力の接続先を書き込み時には未接続とし、読み出し時にはテスタI/Oピンに接続することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載された多I/Oの半導体メモリの試験方法。
- 入出力回路の出力バッファの前段に設けられた排他的論理和ゲートと、ラッチ回路とを備え、
データ書き込み時に、前記ラッチ回路がテスタI/Oピンから入力されるデータを期待値としてラッチし、データ読み出し時に、前記排他的論理和ゲートが入力される半導体メモリ内部からの読み出しデータと前記ラッチ回路からの期待値とが一致するかどうかを比較判定し、その判定結果を前記出力バッファから出力することを特徴とする多I/Oの半導体メモリ。 - 前記ラッチ回路は、半導体メモリの入出力データストローブ信号に基づいてデータの出し入れをすることを特徴とする請求項8に記載の多I/Oの半導体メモリ。
- 前記排他的論理和ゲートとラッチ回路は、テストモード信号により通常動作時には非活性化され、試験時には活性化されることを特徴とする請求項8又は9に記載の多I/Oの半導体メモリ。
- 半導体メモリを試験するテスタのマザーボード上に搭載されたテストボードであって、メモリI/Oの接続先をデータ書き込み時にはテスタI/Oピンに接続し、データ読み出し時にはI/O間ショート配線に接続する第1セレクタと、半導体メモリの入出力回路専用接地電源と半導体メモリの内部回路用接地電源との間に直列接続された電流計と、前記電流計からの良否判定出力をデータ書き込み時には未接続とし、データ読み出し時にはテスタI/Oピンに接続する第2セレクタとを備えたことを特徴とする多I/Oの半導体メモリ用のテストボード。
- 前記電流計は、データ読み出し時に前記I/O間ショート配線に発生する貫通電流の有無を良否判定出力として出力することを特徴とする請求項11に記載の多I/Oの半導体メモリ用のテストボード。
- 前記第1及び第2セレクタは、テスタからの制御信号によりそれぞれの接続先を切り替えることを特徴とする請求項11又は12に記載された多I/Oの半導体メモリのテストボード。
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JP2008313819A JP2010140531A (ja) | 2008-12-10 | 2008-12-10 | 多i/oの半導体メモリの試験方法 |
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2008
- 2008-12-10 JP JP2008313819A patent/JP2010140531A/ja not_active Withdrawn
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