JP2010134011A - 基板の欠陥原因装置特定システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】欠陥及びその特性を求める欠陥検出手段と、前記欠陥検出手段によって検出された欠陥とその特性値を記憶する検査結果管理データベースと、基板が接触する装置の位置を記憶する基板接触位置データベースと、基板が装置内を通過した履歴を記憶する基板通過履歴データベースと、欠陥の特性と欠陥発生装置の対比を示す特性値−装置紐付けデータベースと、前記検査結果管理データベースに記憶されている検出された欠陥とその特性値を前記基板接触位置データベースと前記基板通過履歴データベースと前記特性値−装置紐付けデータベースと照合し、照合して得られた照合結果から基板の欠陥原因装置を特定する欠陥原因装置特定手段とを有することを特徴とする基板の欠陥原因装置特定システム。
【選択図】図4
Description
基板の欠陥を検査する方法を例として、一般的な先行技術文献を示す。
いずれかに記載の基板の欠陥原因装置特定システムである。
特性値−装置紐付けDB44と、ムラ欠陥検査装置(検査装置A27,検査装置B28)と、特性測定装置(特性測定装置A29、特性測定装置B30、特性測定装置C31)と、欠陥原因装置特定システム実行用パソコン40と、ライン制御システム20は例えばEthernet(登録商標)等で相互に通信できるように接続されている。また、検査装置(検査装置A27,検査装置B28)と特性測定装置(特性測定装置A29、特性測定装置B30、特性測定装置C31)と基板投入装置21と洗浄装置22とレジスト塗布装置23と乾燥装置24と露光装置25と現像装置26と基板回収装置32と各装置間の基板の搬送装置(図示せず)とライン制御システム20は、例えばシーケンサ間通信でデータ授受を行う。
検査装置A(例えば図3の塗布ムラ検査)、検査装置B(例えば図3の露光ムラ検査)は全基板に対して従来技術を採用した、例えば工程センサカメラ等での撮像画像を用いた検査で、基板上のムラ欠陥の有無を検査する。
陥が発生している場合は、その発生部位を特定する判断材料となる。共通ムラ欠陥の発生がない場合は、次に示す原因装置特定処理を行う。
11・・・BM
12・・・着色画素(レッドR、グリーンG、ブルーB)
13・・・透明電極
14・・・フォトスペーサー
20・・・ライン制御システム
21・・・基板搬入装置
22・・・洗浄装置
23・・・レジスト塗布装置
24・・・乾燥装置
25・・・露光装置
26・・・現像装置
27・・・検査装置A
28・・・検査装置B
29・・・特性測定装置A
30・・・特性測定装置B
31・・・特性測定装置C
40・・・ムラ欠陥原因装置特定システム実行用パソコン
41・・・検査結果管理DB
42・・・基板接触位置DB
43・・・基板通過履歴DB
44・・・特性値−装置紐付けDB
Claims (7)
- 基板を処理する複数の装置を有する処理装置において、基板の欠陥の発生原因となっている欠陥原因装置を特定するシステムであって、欠陥及びその特性を求める欠陥検出手段と、前記欠陥検出手段によって検出された欠陥とその特性値を記憶する検査結果管理データベースと、基板が接触する装置の位置を記憶する基板接触位置データベースと、基板が装置内を通過した履歴を記憶する基板通過履歴データベースと、欠陥の特性と欠陥発生装置の対比を示す特性値−装置紐付けデータベースと、前記検査結果管理データベースに記憶されている検出された欠陥とその特性値を前記基板接触位置データベースと前記基板通過履歴データベースと前記特性値−装置紐付けデータベースと照合し、照合して得られた照合結果から基板の欠陥原因装置を特定する欠陥原因装置特定手段とを有することを特徴とする基板の欠陥原因装置特定システム。
- 前記欠陥検査装置によって得られた欠陥発生座標とその周辺座標に対して前記特性測定装置によって特性値の多点測定を行うことを特徴とする請求項1記載の基板の欠陥原因装置特定システム。
- 前記検査装置によって得られた検査結果から共通欠陥を特定することを特徴とする請求項1または2に記載の基板の欠陥原因装置特定システム。
- 前記欠陥原因装置に対して、基板受入停止指示を発令することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の基板の欠陥原因装置特定システム。
- 前記欠陥が発生した旨と欠陥原因装置をランキング表示することによって、オペレータへアラーム通知することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の基板の欠陥原因装置特定システム。
- 前記欠陥はムラ欠陥であり、前記基板はカラーフィルタ基板であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の基板の欠陥原因装置特定システム。
- 前記特性値−装置紐付けデータベースを順次更新することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の基板の欠陥原因装置特定システム。
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