JPH11326119A - カラーフィルタ共通ムラ欠陥検査装置および検査方法 - Google Patents
カラーフィルタ共通ムラ欠陥検査装置および検査方法Info
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- JPH11326119A JPH11326119A JP13078398A JP13078398A JPH11326119A JP H11326119 A JPH11326119 A JP H11326119A JP 13078398 A JP13078398 A JP 13078398A JP 13078398 A JP13078398 A JP 13078398A JP H11326119 A JPH11326119 A JP H11326119A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】カラーフィルタの共通ムラ欠陥を検査員に頼る
ことなく、自動的に、確実に検査する装置およびその方
法を提供することにある。 【解決手段】製造ライン上を流れる複数のカラーフィル
タパネル内でムラ検査機１０により検出されたムラの共
通ムラ欠陥を検査する装置であって、少なくとも前記ム
ラ検査機１０より制御装置１５を通して得られるパネル
内ムラ部のムラ部面積・座標データ記憶装置１１と、記
憶された座標データを使用して、各パネル内ムラ欠陥座
標の相対距離および記憶された面積データを使用して、
各パネル内ムラ欠陥面積の面積比を演算処理する処理装
置１２と、面積比・相対距離を使用して、比較演算処理
することより共通ムラ欠陥を判定する手段と、共通ムラ
欠陥の判定結果データを記憶する判定結果データ記憶装
置１３とを含むカラーフィルタ共通ムラ欠陥検査装置１
としたものである。
ことなく、自動的に、確実に検査する装置およびその方
法を提供することにある。 【解決手段】製造ライン上を流れる複数のカラーフィル
タパネル内でムラ検査機１０により検出されたムラの共
通ムラ欠陥を検査する装置であって、少なくとも前記ム
ラ検査機１０より制御装置１５を通して得られるパネル
内ムラ部のムラ部面積・座標データ記憶装置１１と、記
憶された座標データを使用して、各パネル内ムラ欠陥座
標の相対距離および記憶された面積データを使用して、
各パネル内ムラ欠陥面積の面積比を演算処理する処理装
置１２と、面積比・相対距離を使用して、比較演算処理
することより共通ムラ欠陥を判定する手段と、共通ムラ
欠陥の判定結果データを記憶する判定結果データ記憶装
置１３とを含むカラーフィルタ共通ムラ欠陥検査装置１
としたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製造ライン上の複
数のカラーフィルタのムラに対し、共通ムラ欠陥を検査
する装置及び方法と、その結果を製造ラインへのフィー
ドバックを行う方法に関するものである。
数のカラーフィルタのムラに対し、共通ムラ欠陥を検査
する装置及び方法と、その結果を製造ラインへのフィー
ドバックを行う方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に液晶の表示部となるカラーフィル
タは、全面に渡ってＲ・Ｇ・Ｂの各色を、均一の濃度に
保つ事が要求される。しかしながら、レジストの品質
や、塗布時の温度条件、露光条件等の製造上の設定よ
り、部分的に濃度変化が現れてしまう。この濃淡変化部
分がムラと称されるが、特に、同一原因により発生した
同位置・同形状のムラは、共通ムラ欠陥と呼ばれ、これ
を早期発見し、製造ラインにフィードバックを行い、欠
陥発生原因の解消をする事は、収率向上に大きく影響す
る。このような共通ムラ欠陥を、従来は検査員の目視検
査より、全数検査することによって判定・検出を行って
いた。
タは、全面に渡ってＲ・Ｇ・Ｂの各色を、均一の濃度に
保つ事が要求される。しかしながら、レジストの品質
や、塗布時の温度条件、露光条件等の製造上の設定よ
り、部分的に濃度変化が現れてしまう。この濃淡変化部
分がムラと称されるが、特に、同一原因により発生した
同位置・同形状のムラは、共通ムラ欠陥と呼ばれ、これ
を早期発見し、製造ラインにフィードバックを行い、欠
陥発生原因の解消をする事は、収率向上に大きく影響す
る。このような共通ムラ欠陥を、従来は検査員の目視検
査より、全数検査することによって判定・検出を行って
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来技
術においては、検査員の身体的・精神的状態で検査結果
が異なる事や、個々の検査員によってムラ検出の判定基
準が相違することから、検査結果が変わってしまうとい
う問題があり、共通ムラ欠陥の判定は困難であり、早期
に生産ラインにフィードバックを行う事も難しかった。
さらに検査員が複数カラーフィルタのムラを記憶しなけ
ればならないため、作業上の負荷が大きいという問題が
あった。
術においては、検査員の身体的・精神的状態で検査結果
が異なる事や、個々の検査員によってムラ検出の判定基
準が相違することから、検査結果が変わってしまうとい
う問題があり、共通ムラ欠陥の判定は困難であり、早期
に生産ラインにフィードバックを行う事も難しかった。
さらに検査員が複数カラーフィルタのムラを記憶しなけ
ればならないため、作業上の負荷が大きいという問題が
あった。
【０００４】本発明は、かかる従来技術の問題点を解決
するものであり、その課題とするところは、カラーフィ
ルタの共通ムラ欠陥を検査員に頼ることなく、自動的
に、確実に検査する装置およびその方法を提供すること
にある。
するものであり、その課題とするところは、カラーフィ
ルタの共通ムラ欠陥を検査員に頼ることなく、自動的
に、確実に検査する装置およびその方法を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項１の発明では、製造ライ
ン上を流れる複数のカラーフィルタパネル内でムラ検査
機により検出されたムラの共通ムラ欠陥を検査する装置
であって、(１) 前記ムラ検査機より得られるパネル内
ムラ部の座標・面積データを記憶する手段と、(２) 記
憶された座標データを使用して、各パネル内ムラ欠陥座
標の相対距離を演算処理する手段と、（３) 記憶された
面積データを使用して、各パネル内ムラ欠陥面積の面積
比を演算処理する手段と、（４) 面積比・相対距離を使
用して、比較演算処理することより共通ムラ欠陥を判定
する手段と、（５）共通ムラ欠陥の判定結果データを記
憶する手段と、を含むことを特徴とするカラーフィルタ
共通ムラ欠陥検査装置としたものである。
を達成するために、まず請求項１の発明では、製造ライ
ン上を流れる複数のカラーフィルタパネル内でムラ検査
機により検出されたムラの共通ムラ欠陥を検査する装置
であって、(１) 前記ムラ検査機より得られるパネル内
ムラ部の座標・面積データを記憶する手段と、(２) 記
憶された座標データを使用して、各パネル内ムラ欠陥座
標の相対距離を演算処理する手段と、（３) 記憶された
面積データを使用して、各パネル内ムラ欠陥面積の面積
比を演算処理する手段と、（４) 面積比・相対距離を使
用して、比較演算処理することより共通ムラ欠陥を判定
する手段と、（５）共通ムラ欠陥の判定結果データを記
憶する手段と、を含むことを特徴とするカラーフィルタ
共通ムラ欠陥検査装置としたものである。
【０００６】また、請求項２の発明では、製造ライン上
を流れる複数のカラーフィルタパネル内でムラ検査機に
より検出されたムラの共通ムラ欠陥を検査する方法であ
って、（１）前記ムラ検査機より得られるパネル内ムラ
部の座標・面積データを記憶するステップと、（２) 記
憶された座標データを使用して、各パネル内ムラ欠陥座
標の相対距離を演算処理するステップと、（３) 記憶さ
れた面積データを使用して、各パネル内ムラ欠陥面積の
面積比を演算処理するステップと、（４) 面積比・相対
距離を使用して、比較演算処理することより共通ムラ欠
陥を判定するステップと、（５）共通ムラ欠陥の判定結
果データを記憶するステップと、を含むことを特徴とす
るカラーフィルタ共通ムラ欠陥検査方法としたものであ
る。
を流れる複数のカラーフィルタパネル内でムラ検査機に
より検出されたムラの共通ムラ欠陥を検査する方法であ
って、（１）前記ムラ検査機より得られるパネル内ムラ
部の座標・面積データを記憶するステップと、（２) 記
憶された座標データを使用して、各パネル内ムラ欠陥座
標の相対距離を演算処理するステップと、（３) 記憶さ
れた面積データを使用して、各パネル内ムラ欠陥面積の
面積比を演算処理するステップと、（４) 面積比・相対
距離を使用して、比較演算処理することより共通ムラ欠
陥を判定するステップと、（５）共通ムラ欠陥の判定結
果データを記憶するステップと、を含むことを特徴とす
るカラーフィルタ共通ムラ欠陥検査方法としたものであ
る。
【０００７】また、請求項３の発明では、前記カラーフ
ィルタ共通ムラ欠陥検査方法に、(１) 共通ムラ欠陥を
判定・検出するステップと、(２) 製造ラインサーバに
データを記憶するステップと、（３) 検知されたムラ欠
陥とその発生原因とを結び付けるデータベースを設け、
そのデータベース内で原因と思われる製造工程を特定
し、その工程にフィードバックするステップと、を付加
してなることを特徴とする請求項２記載のカラーフィル
タ共通ムラ欠陥検査方法としたものである。
ィルタ共通ムラ欠陥検査方法に、(１) 共通ムラ欠陥を
判定・検出するステップと、(２) 製造ラインサーバに
データを記憶するステップと、（３) 検知されたムラ欠
陥とその発生原因とを結び付けるデータベースを設け、
そのデータベース内で原因と思われる製造工程を特定
し、その工程にフィードバックするステップと、を付加
してなることを特徴とする請求項２記載のカラーフィル
タ共通ムラ欠陥検査方法としたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
用いて説明する。図１は、本発明のカラーフィルタ共通
ムラ欠陥検査装置（１）の構成例を示すものであり、ム
ラ検査機（１０）、ムラ部面積・座標データ記憶装置
（１１）、処理装置（１２）、判定結果データ記憶装置
（１３）、製造ラインサーバ（１４）、制御装置（１
５）より構成されている。
用いて説明する。図１は、本発明のカラーフィルタ共通
ムラ欠陥検査装置（１）の構成例を示すものであり、ム
ラ検査機（１０）、ムラ部面積・座標データ記憶装置
（１１）、処理装置（１２）、判定結果データ記憶装置
（１３）、製造ラインサーバ（１４）、制御装置（１
５）より構成されている。
【０００９】上記ムラ検査機（１０）は、図４に示すカ
ラーフィルタ基板（２０）上のカラーフィルタパネル
（２２）内のムラ部の面積・位置座標データを出力する
ものであり、ムラ部面積・座標データ記憶装置（１１）
は、前記ムラ検査機（１０）より出力された、面積・座
標の各データを記憶するものである。また、処理装置
（１２）は、前記ムラ部面積・座標データ記憶装置（１
１）のデータを利用して、各カラーフィルタの相対距
離、面積比を演算処理し、それらを使用して、比較演算
処理する事より共通ムラ欠陥を判定するものである。
ラーフィルタ基板（２０）上のカラーフィルタパネル
（２２）内のムラ部の面積・位置座標データを出力する
ものであり、ムラ部面積・座標データ記憶装置（１１）
は、前記ムラ検査機（１０）より出力された、面積・座
標の各データを記憶するものである。また、処理装置
（１２）は、前記ムラ部面積・座標データ記憶装置（１
１）のデータを利用して、各カラーフィルタの相対距
離、面積比を演算処理し、それらを使用して、比較演算
処理する事より共通ムラ欠陥を判定するものである。
【００１０】また、判定結果データ記憶装置（１３）
は、処理装置（１２）より導出された共通ムラ欠陥判定
結果データを記憶するものであり、製造ラインサーバ
（１４）は、判定結果データ記憶装置（１３）に記録さ
れた判定結果データを記憶し、製造ラインへのフィード
バックを行うものである。
は、処理装置（１２）より導出された共通ムラ欠陥判定
結果データを記憶するものであり、製造ラインサーバ
（１４）は、判定結果データ記憶装置（１３）に記録さ
れた判定結果データを記憶し、製造ラインへのフィード
バックを行うものである。
【００１１】上記の装置すなわちムラ部面積・座標デー
タ記憶装置（１１）、処理装置（１２）および判定結果
データ記憶装置（１３）は、汎用コンピュータ内の記憶
装置、この記憶装置内のソフトウェアから実現される。
また、制御装置（１５）は、例えば汎用コンピュータの
中の中央処理演算装置で実現されるものであり、前記装
置の働きを制御するものである。
タ記憶装置（１１）、処理装置（１２）および判定結果
データ記憶装置（１３）は、汎用コンピュータ内の記憶
装置、この記憶装置内のソフトウェアから実現される。
また、制御装置（１５）は、例えば汎用コンピュータの
中の中央処理演算装置で実現されるものであり、前記装
置の働きを制御するものである。
【００１２】次に、本実施形態の処理を図２に示すフロ
ーチャートに基づいて説明する。 （１）ムラ検査機より出力されるムラ部面積・座標デー
タを記憶（フローチャートの S１） まず、ムラ検査機によってムラを検出されたパネル内ム
ラ部の面積及び座標データをムラ部面積・座標データ記
憶装置（１１）に記憶する。ここで、各カラーフィルタ
パネルに於いて１個のムラを検出したと仮定すると、各
パネルにおけるムラ欠陥の欠陥座標及び面積は、図３に
示すように定義され、表１に示すようにデータとして記
憶される。
ーチャートに基づいて説明する。 （１）ムラ検査機より出力されるムラ部面積・座標デー
タを記憶（フローチャートの S１） まず、ムラ検査機によってムラを検出されたパネル内ム
ラ部の面積及び座標データをムラ部面積・座標データ記
憶装置（１１）に記憶する。ここで、各カラーフィルタ
パネルに於いて１個のムラを検出したと仮定すると、各
パネルにおけるムラ欠陥の欠陥座標及び面積は、図３に
示すように定義され、表１に示すようにデータとして記
憶される。
【００１３】
【表１】
【００１４】この表１のように、検査結果データＴn0〜
Ｔn-10は、図４に示すカラーフィルタ基板（２０）内の
同位置カラーフィルタパネル（２２）の履歴データと定
義する。
Ｔn-10は、図４に示すカラーフィルタ基板（２０）内の
同位置カラーフィルタパネル（２２）の履歴データと定
義する。
【００１５】（２）相対距離算出（フローチャートの S
２） 次に、ムラ部面積・座標データ記憶装置（１１）に記憶
された座標データを用いて、相対距離Ｌを算出する演算
処理を行う。相対距離Ｌの算出は、ムラ検査機（１０）
より検査された直後のカラーフィルタパネル（２２）の
検査結果データＴn0の欠陥座標（Ｘn0，Ｙn0）と、一つ
過去に出力されたカラーフィルタパネル（２２）の検査
結果データＴn-1 の欠陥座標（Ｘn-1 ，Ｘn-1 ）との間
で処理を行う。従って、相対距離Ｌは、 ΔＸ＝Ｘn0−Ｘn-1 ΔＹ＝Ｙn0−Ｙn-1 Ｌ＝√（ΔＸ2 ＋ΔＹ2 ） ・・・（式１） と演算処理される。その単位はｍｍである。
２） 次に、ムラ部面積・座標データ記憶装置（１１）に記憶
された座標データを用いて、相対距離Ｌを算出する演算
処理を行う。相対距離Ｌの算出は、ムラ検査機（１０）
より検査された直後のカラーフィルタパネル（２２）の
検査結果データＴn0の欠陥座標（Ｘn0，Ｙn0）と、一つ
過去に出力されたカラーフィルタパネル（２２）の検査
結果データＴn-1 の欠陥座標（Ｘn-1 ，Ｘn-1 ）との間
で処理を行う。従って、相対距離Ｌは、 ΔＸ＝Ｘn0−Ｘn-1 ΔＹ＝Ｙn0−Ｙn-1 Ｌ＝√（ΔＸ2 ＋ΔＹ2 ） ・・・（式１） と演算処理される。その単位はｍｍである。
【００１６】（３）面積比算出（フローチャートの S
３） 次に、ムラ部面積・座標データ記憶装置（１１）に記憶
された座標データを用いて、面積比Ｓ’を算出する演算
処理を行う。面積比Ｓ’の算出は、ムラ検査機（１０）
より検査された直後のカラーフィルタパネル（２２）の
検査結果データＴn0の欠陥面積Ｓn0と、一つ過去に出力
されたパネルの検査結果データＴn-1 の欠陥面積Ｓn-1
との間で処理を行う。従って、面積比Ｓ’は、 Ｓ’＝Ｓn-1 ／Ｓn0 ・・・（式２） と演算処理される。
３） 次に、ムラ部面積・座標データ記憶装置（１１）に記憶
された座標データを用いて、面積比Ｓ’を算出する演算
処理を行う。面積比Ｓ’の算出は、ムラ検査機（１０）
より検査された直後のカラーフィルタパネル（２２）の
検査結果データＴn0の欠陥面積Ｓn0と、一つ過去に出力
されたパネルの検査結果データＴn-1 の欠陥面積Ｓn-1
との間で処理を行う。従って、面積比Ｓ’は、 Ｓ’＝Ｓn-1 ／Ｓn0 ・・・（式２） と演算処理される。
【００１７】（４）共通ムラ欠陥判定処理（フローチャ
ートの S４） 上記相対距離算出および面積比算出での演算処理より算
出した相対距離Ｌ及び面積比Ｓ’を組み合わせる事によ
り、共通ムラ欠陥判定の処理を行う。面積Ｓ’は、共通
ムラ欠陥である可能性が高いムラ程１に近づく。従っ
て、面積比の大きいものは検査判定を厳しく設定してや
れば良い。従って共通ムラ欠陥判定値Ｌ’は、 Ｓ’≧１ の時 Ｌ’＝Ｓ’Ｌ Ｓ’＜１ の時 Ｌ’＝Ｌ／Ｓ’ ・・・ （式３） と設定され、 ０≦Ｌ’≦Ｋ （Ｋ：共通ムラ欠陥閾値） ・・・（式４） が成立した場合には、、ムラ検査機（１０）から出力さ
れた直後のカラーフィルタパネル（２２）と、一つ過去
に検査されたカラーフィルタパネル（２２）との間で共
通ムラ欠陥が発生していると判定する。ここで、共通ム
ラ欠陥閾値Ｋについてであるが、ムラ欠陥座標のズレの
原因として、製造工程上のカラーフィルタパネル（２
２）位置ズレ、検査カラーフィルタパネル（２２）設置
時のズレが考えられる。また、検出・判定処理上の位置
ズレも考えられる。
ートの S４） 上記相対距離算出および面積比算出での演算処理より算
出した相対距離Ｌ及び面積比Ｓ’を組み合わせる事によ
り、共通ムラ欠陥判定の処理を行う。面積Ｓ’は、共通
ムラ欠陥である可能性が高いムラ程１に近づく。従っ
て、面積比の大きいものは検査判定を厳しく設定してや
れば良い。従って共通ムラ欠陥判定値Ｌ’は、 Ｓ’≧１ の時 Ｌ’＝Ｓ’Ｌ Ｓ’＜１ の時 Ｌ’＝Ｌ／Ｓ’ ・・・ （式３） と設定され、 ０≦Ｌ’≦Ｋ （Ｋ：共通ムラ欠陥閾値） ・・・（式４） が成立した場合には、、ムラ検査機（１０）から出力さ
れた直後のカラーフィルタパネル（２２）と、一つ過去
に検査されたカラーフィルタパネル（２２）との間で共
通ムラ欠陥が発生していると判定する。ここで、共通ム
ラ欠陥閾値Ｋについてであるが、ムラ欠陥座標のズレの
原因として、製造工程上のカラーフィルタパネル（２
２）位置ズレ、検査カラーフィルタパネル（２２）設置
時のズレが考えられる。また、検出・判定処理上の位置
ズレも考えられる。
【００１８】また、大面積ムラ欠陥の場合には、検出判
定処理後の欠陥座標に大きな揺らぎを発生する可能性も
考えられる。そこで、共通ムラ欠陥閾値Ｋを Ｋ＝√（Ａ・Ｓn0／ｈ2 ） ・・・（式５） と定義する。尚、Ａは無次元定数、Ｓn0は、ムラ検査機
（１０）より検査された直後のパネルの検査結果データ
Ｔn0の欠陥面積で、その単位はｄｏｔ2 とする。ｈは、
図５に示すカラーフィルタの赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）でなる絵素（５０）の縦方向長さでありその単位
をｍｍ／ｄｏｔとする。尚、カラーフィルタの絵素（５
０）で除算する事より、高解像度カラーフィルタの場合
には、絵素サイズが小さくなるため、補正する意味合い
を持つ。
定処理後の欠陥座標に大きな揺らぎを発生する可能性も
考えられる。そこで、共通ムラ欠陥閾値Ｋを Ｋ＝√（Ａ・Ｓn0／ｈ2 ） ・・・（式５） と定義する。尚、Ａは無次元定数、Ｓn0は、ムラ検査機
（１０）より検査された直後のパネルの検査結果データ
Ｔn0の欠陥面積で、その単位はｄｏｔ2 とする。ｈは、
図５に示すカラーフィルタの赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）でなる絵素（５０）の縦方向長さでありその単位
をｍｍ／ｄｏｔとする。尚、カラーフィルタの絵素（５
０）で除算する事より、高解像度カラーフィルタの場合
には、絵素サイズが小さくなるため、補正する意味合い
を持つ。
【００１９】従って、（式１）〜（式５）より、共通ム
ラ欠陥判定処理は、以下の様に表す事ができる。 Ｓ’≧１ の時 ０≦Ｓ’√（ΔＸ2 ＋ΔＹ2 ）≦√（Ａ・Ｓn0／ｈ2 ） ・・・（式６） Ｓ’＜１ の時 ０≦√（ΔＸ2 ＋ΔＹ2 ）／Ｓ’ ・・・（式７）
ラ欠陥判定処理は、以下の様に表す事ができる。 Ｓ’≧１ の時 ０≦Ｓ’√（ΔＸ2 ＋ΔＹ2 ）≦√（Ａ・Ｓn0／ｈ2 ） ・・・（式６） Ｓ’＜１ の時 ０≦√（ΔＸ2 ＋ΔＹ2 ）／Ｓ’ ・・・（式７）
【００２０】（５）判定結果データの記憶（フローチャ
ートの S５） 共通ムラ欠陥判定処理より、共通ムラ欠陥として判定さ
れたものは、判定結果データとして判定結果データ記憶
装置（１３）に記憶される。
ートの S５） 共通ムラ欠陥判定処理より、共通ムラ欠陥として判定さ
れたものは、判定結果データとして判定結果データ記憶
装置（１３）に記憶される。
【００２１】（６）基板枚数分のループ（フローチャー
ト S６） この処理を、ムラ検査機（１０）より検査された直後の
パネル検査結果データＴn0に対し、更に過去のパネル検
査結果データであるＴn-2 〜Ｔn-10迄同様の処理を行
う。その内一つでも（式６）及び（式７）を満たす条件
があれば共通欠陥と判断する。
ト S６） この処理を、ムラ検査機（１０）より検査された直後の
パネル検査結果データＴn0に対し、更に過去のパネル検
査結果データであるＴn-2 〜Ｔn-10迄同様の処理を行
う。その内一つでも（式６）及び（式７）を満たす条件
があれば共通欠陥と判断する。
【００２２】（７）判定結果データを製造ラインサーバ
に転送（フローチャート S７） 次に、判定結果データ記憶装置（１３）に記憶された判
定結果データは、製造ラインサーバ（１４）に転送され
記憶される。
に転送（フローチャート S７） 次に、判定結果データ記憶装置（１３）に記憶された判
定結果データは、製造ラインサーバ（１４）に転送され
記憶される。
【００２３】（８）製造ラインの各工程にフィードバッ
ク・共通ムラ欠陥発生原因の解消（フローチャート S
８） そして、製造ラインサーバ（１４）に記憶された判定結
果データとその発生原因とを結び付けるデータベースに
より、そのデータベース内で原因と思われる製造工程を
特定し、その工程にフィードバックを行い、発生原因の
解消を行う。
ク・共通ムラ欠陥発生原因の解消（フローチャート S
８） そして、製造ラインサーバ（１４）に記憶された判定結
果データとその発生原因とを結び付けるデータベースに
より、そのデータベース内で原因と思われる製造工程を
特定し、その工程にフィードバックを行い、発生原因の
解消を行う。
【００２４】
【実施例】次に本発明を実施例により、具体的な共通ム
ラ欠陥判定例を説明する。 ＜実施例１＞ 〔条件〕検査された直後のカラーフィルタパネル（２
２）の検査結果：欠陥座標（６５，７８）、欠陥面積８
７．７２ｄｏｔ2 一つ過去のカラーフィルタ検査結果：欠陥座標（６６，
７６）、欠陥面積９３．１８ｄｏｔ2 カラーフィルタ絵素縦方向の長さ h＝０．３ｍｍ 無次元定数Ａ＝１ なお、ここでの結果座標はドット単位で表わしている。 （式３）より、 Ｌ' ＝Ｓ’Ｌ＝（Ｓn-1 ／Ｓn0）√（ΔＸ2 ＋ΔＹ2 ） ＝（９３．１８／８７．７２）・√５ ＝２．３７５ また、（式５）より、 Ｋ＝√（Ａ・Ｓn0／ｈ2 ） ＝√（０．０１・８７．７２／０．３2 ） ＝２．８１０ よって、共通ムラ欠陥判定条件（式６）より ０≦ Ｌ' ≦√（Ａ・Ｓn0／ｈ2 ） ０≦２．３７５≦２．８１０ が成立しているので、共通ムラ欠陥が発生していると判
定した。なお、本実施例では、無次元定数Ａは暫定的に
値を設定した。運用時には、最適値を算出・設定し、使
用するものである。
ラ欠陥判定例を説明する。 ＜実施例１＞ 〔条件〕検査された直後のカラーフィルタパネル（２
２）の検査結果：欠陥座標（６５，７８）、欠陥面積８
７．７２ｄｏｔ2 一つ過去のカラーフィルタ検査結果：欠陥座標（６６，
７６）、欠陥面積９３．１８ｄｏｔ2 カラーフィルタ絵素縦方向の長さ h＝０．３ｍｍ 無次元定数Ａ＝１ なお、ここでの結果座標はドット単位で表わしている。 （式３）より、 Ｌ' ＝Ｓ’Ｌ＝（Ｓn-1 ／Ｓn0）√（ΔＸ2 ＋ΔＹ2 ） ＝（９３．１８／８７．７２）・√５ ＝２．３７５ また、（式５）より、 Ｋ＝√（Ａ・Ｓn0／ｈ2 ） ＝√（０．０１・８７．７２／０．３2 ） ＝２．８１０ よって、共通ムラ欠陥判定条件（式６）より ０≦ Ｌ' ≦√（Ａ・Ｓn0／ｈ2 ） ０≦２．３７５≦２．８１０ が成立しているので、共通ムラ欠陥が発生していると判
定した。なお、本実施例では、無次元定数Ａは暫定的に
値を設定した。運用時には、最適値を算出・設定し、使
用するものである。
【００２５】次に、パネル内に複数個のムラ欠陥を検出
した場合の処理について述べる。図６に示すように、ム
ラ検査機（１０）より検査された直後のカラーフィルタ
パネル（２２）検査結果データＴn0に於いて、複数個検
出されたムラ欠陥部と、過去の欠陥検出データＴn-1 〜
Ｔn-10で検出されたムラ欠陥に対し、（式６）及び（式
７）に示される共通ムラ欠陥判定処理を行う。いずれか
一つでも共通ムラ欠陥欠陥判定基準を満たせば、その欠
陥を共通ムラ欠陥と判定する。尚、図７では、パネル内
で検出されたムラ欠陥ナンバリングの最大値を８、過去
の検査結果データを１０で設定しているが、これは、説
明用の設定値であるため変動しても構わない。
した場合の処理について述べる。図６に示すように、ム
ラ検査機（１０）より検査された直後のカラーフィルタ
パネル（２２）検査結果データＴn0に於いて、複数個検
出されたムラ欠陥部と、過去の欠陥検出データＴn-1 〜
Ｔn-10で検出されたムラ欠陥に対し、（式６）及び（式
７）に示される共通ムラ欠陥判定処理を行う。いずれか
一つでも共通ムラ欠陥欠陥判定基準を満たせば、その欠
陥を共通ムラ欠陥と判定する。尚、図７では、パネル内
で検出されたムラ欠陥ナンバリングの最大値を８、過去
の検査結果データを１０で設定しているが、これは、説
明用の設定値であるため変動しても構わない。
【００２６】
【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。即ち、本発明によれば、常にばら
つきのない一定の基準で共通ムラ欠陥の判定を行うこと
ができ、生産ラインにフィードバックによって欠陥発生
原因を早急に解消することができる。
示す如き効果がある。即ち、本発明によれば、常にばら
つきのない一定の基準で共通ムラ欠陥の判定を行うこと
ができ、生産ラインにフィードバックによって欠陥発生
原因を早急に解消することができる。
【００２７】従って本発明は、カラーフィルタの共通ム
ラ欠陥検査装置および方法としての用途において、優れ
た実用上の効果を発揮する。
ラ欠陥検査装置および方法としての用途において、優れ
た実用上の効果を発揮する。
【図１】本発明の実施形態を示すカラーフィルタ共通ム
ラ欠陥検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
ラ欠陥検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図２】本発明の実施形態を示す流れ図である。
【図３】本発明に係わるカラーフィルタパネルにおける
ムラ欠陥の欠陥座標および面積を定義する模式図であ
る。
ムラ欠陥の欠陥座標および面積を定義する模式図であ
る。
【図４】本発明に係わるカラーフィルタの外観図であ
る。
る。
【図５】本発明に係わるカラーフィルタ絵素を表す概略
図である。
図である。
【図６】本発明のカラーフィルタ共通ムラ欠陥検査方法
で得られる検査結果を表す欠陥検出マトリクスの事例で
ある。
で得られる検査結果を表す欠陥検出マトリクスの事例で
ある。
１‥‥カラーフィルタ共通ムラ欠陥検査装置 １０‥‥ムラ検査機 １１‥‥ムラ部面積・座標データ記憶装置 １２‥‥処理装置 １３‥‥判定結果データ記憶装置 １４‥‥製造ラインサーバ １５‥‥制御装置 ２０‥‥カラーフィルタ基板 ２２‥‥カラーフィルタパネル ４０‥‥カラーフィルタ ５０‥‥カラーフィルタ絵素
Claims (3)
- 【請求項１】製造ライン上を流れる複数のカラーフィル
タパネル内でムラ検査機により検出されたムラの共通ム
ラ欠陥を検査する装置であって、 (１) 前記ムラ検査機より得られるパネル内ムラ部の座
標・面積データを記憶する手段と、 (２) 記憶された座標データを使用して、各パネル内ム
ラ欠陥座標の相対距離を演算処理する手段と、 （３) 記憶された面積データを使用して、各パネル内ム
ラ欠陥面積の面積比を演算処理する手段と、 （４) 面積比・相対距離を使用して、比較演算処理する
ことより共通ムラ欠陥を判定する手段と、 （５）共通ムラ欠陥の判定結果データを記憶する手段
と、を含むことを特徴とするカラーフィルタ共通ムラ欠
陥検査装置。 - 【請求項２】製造ライン上を流れる複数のカラーフィル
タパネル内でムラ検査機により検出されたムラの共通ム
ラ欠陥を検査する方法であって、 （１）前記ムラ検査機より得られるパネル内ムラ部の座
標・面積データを記憶するステップと、 （２) 記憶された座標データを使用して、各パネル内ム
ラ欠陥座標の相対距離を演算処理するステップと、 （３) 記憶された面積データを使用して、各パネル内ム
ラ欠陥面積の面積比を演算処理するステップと、 （４) 面積比・相対距離を使用して、比較演算処理する
ことより共通ムラ欠陥を判定するステップと、 （５）共通ムラ欠陥の判定結果データを記憶するステッ
プと、を含むことを特徴とするカラーフィルタ共通ムラ
欠陥検査方法。 - 【請求項３】前記カラーフィルタ共通ムラ欠陥検査方法
に、 (１) 共通ムラ欠陥を判定・検出するステップと、 (２) 製造ラインサーバにデータを記憶するステップ
と、 （３) 検知されたムラ欠陥とその発生原因とを結び付け
るデータベースを設け、そのデータベース内で原因と思
われる製造工程を特定し、その工程にフィードバックす
るステップと、を付加してなることを特徴とする請求項
２記載のカラーフィルタ共通ムラ欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13078398A JP4013326B2 (ja) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | カラーフィルタ共通ムラ欠陥検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13078398A JP4013326B2 (ja) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | カラーフィルタ共通ムラ欠陥検査装置および検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326119A true JPH11326119A (ja) | 1999-11-26 |
| JP4013326B2 JP4013326B2 (ja) | 2007-11-28 |
Family
ID=15042582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13078398A Expired - Fee Related JP4013326B2 (ja) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | カラーフィルタ共通ムラ欠陥検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4013326B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005107155A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JP2008129187A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥検査方法 |
| JP2008281754A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥検査方法 |
| JP2010134011A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Toppan Printing Co Ltd | 基板の欠陥原因装置特定システム |
-
1998
- 1998-05-13 JP JP13078398A patent/JP4013326B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005107155A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JP4515739B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2010-08-04 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
| JP2008129187A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥検査方法 |
| JP2008281754A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥検査方法 |
| JP2010134011A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Toppan Printing Co Ltd | 基板の欠陥原因装置特定システム |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4013326B2 (ja) | 2007-11-28 |
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