JP2010118582A - 電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製品間でばらつくことなく、部品本体の表面に均一で薄い膜を形成することができる電子部品の製造方法を提供すること。
【解決手段】部品１０を動かしながら、部品１０に、第１スラリー６を吹き付けて部品１０の表面に第１塗膜６ａを形成する。次に、第１塗膜６ａが形成された部品１０を、第２スラリー７中に浸漬させて、第１塗膜６ａが形成された部品１０の表面に第２塗膜７ａを形成する。その後に、第１塗膜６ａおよび第２塗膜７ａの硬化処理を行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、コイル部品などの電子部品を製造する方法に係り、さらに詳しくは、部品本体の表面に均一で薄い膜を形成することができる電子部品の製造方法に関する。

コイル部品の小型化に伴い、必要な特性を得るために、従来のＮｉ−ＺｎコアからＭｎ−Ｚｎコアの使用が検討されている。ところが、Ｍｎ−Ｚｎコアは、導電性であるために、コアの表面に直接に電極を設けることができない。そこで、Ｍｎ−Ｚｎコアの表面に絶縁膜をバレルコーティング法で形成することが提案されている（特許文献１参照）。

しかしなから、バレルコーティング方法は、均一なコーティング膜を形成することが可能であるとされているが、製品同士が接触し、ぶつかり合うため、コーティング膜の欠けが発生するおそれがある。また、攪拌がうまくいかなかったりした場合、膜厚が不均一になったりピンホールが形成されたりするものが出てくるおそれがある。特に、ドラムコアなどのように、製品形状が複雑な場合、影となる部分に噴霧したガラススラリーが塗布され難くなるため、特に問題となる。そこで、製品間のコーティング膜のばらつきをより確実に抑える方法が求められている。

また、導電性ではないフェライトコア、バリスタ等の電子部品であっても、その耐環境性や絶縁性を高めるため、その表面に保護膜としてガラス膜を形成することがあり、膜厚が均一でピンホールなどがない絶縁膜の形成方法が求められている。
特開２００１−２３７１３５号公報

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、製品間でばらつくことなく、部品本体の表面に均一で薄い膜を形成することができる電子部品の製造方法を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明に係る電子部品の製造方法は、
部品本体を動かしながら、前記部品本体に、第１スラリーを吹き付けて前記部品本体の表面に第１塗膜を形成する工程と、
前記第１塗膜が形成された前記部品本体を、第２スラリー中に浸漬させて、前記第１塗膜が形成された前記部品本体の表面に第２塗膜を形成する工程と、
前記第１塗膜および第２塗膜の硬化処理を行う工程とを有する。

本発明に係る電子部品の製造方法では、部品本体を動かしながら、部品本体に、第１スラリーを吹き付けて部品本体の表面に第１塗膜を形成する。そのため、一度に多量の部品本体の表面に対して、ほぼ均一に第１塗膜を形成することができる。ただし、希に製品間で塗膜の厚みのバラツキやピンホールや欠けなどが発生することがある。

ただし、本発明では、部品本体の表面に第１塗膜を形成した後に、第２塗膜を浸漬法により形成する。このため、第１塗膜が形成された部品本体の表面に、仮にピンホールや欠けが生じていたとしても、浸漬時の溶液の濡れ性が均一になっているため、第２塗膜がピンホールやクラックを塞ぎ、全体として、部品本体の表面に均一な膜を形成することができる。これによって、バレルコーティングだけでは膜厚が不均一となっていた部品本体に対しても、製品間でばらつくことなく、部品本体の表面に均一で薄い膜を形成することができる。

前記第１塗膜を形成した後に、前記第１塗膜を乾燥させることが好ましい。第１塗膜を乾燥させることで、第１塗膜を安定した状態にすることができる。

前記第１塗膜および／または第２塗膜を加熱または紫外線照射することにより硬化させてもよい。この場合には、第１塗膜および／または第２塗膜により樹脂膜からなる絶縁膜を形成することができる。

前記第１スラリーおよび／または前記第２スラリーとしては、特に限定されないが、ガラス粉末と、バインダ樹脂と、溶剤とを含んでもよい。この場合には、前記第１塗膜および／または第２塗膜を焼成することにより硬化させることが好ましい。この場合には、第１塗膜および／または第２塗膜によりガラスコーティング膜からなる絶縁膜を形成することができる。

前記第１塗膜の厚みは、特に限定されないが、前記第１塗膜と前記第２塗膜の合計厚みの７０％以上であることが好ましい。このように構成することで、均一な所望厚みの膜を得ることができる。

前記第１スラリーに含まれる成分と、前記第２スラリーに含まれる成分とは同じであるが、前記第２スラリーの粘度が前記第１スラリーの粘度に比較して低いことが好ましい。このように構成することで、部品本体が複雑な形状であっても、ボイドなどを巻き込むことなく、小さな隙間に溶液が入り込み、確実に表面全体を被う均一な所定厚みの膜を形成することができる。

前記部品本体は、移動可能なバレル内に収容され、当該バレル内で第１スラリーが吹き付けられることが好ましい。このように構成することで、多数の部品本体のそれぞれに対して、表面全体を被う均一な所望厚みの膜を形成することができ、量産性に優れている。

前記部品本体は、前記バレル内で前記第２スラリー中に浸漬されることが好ましい。このように構成することで、第１塗膜を形成した後の部品本体をバレルから取り出すことなく、それらの部品本体に第２塗膜を形成することができる。

前記部品本体は、前記第２スラリー中へ浸漬された後に乾燥処理され、その後に、浸漬処理と乾燥処理とが１回以上繰り返されてもよい。このように繰り返すことで、より確実にピンホールや欠けなどを防止することができる。

前記部品本体としては、特に限定されないが、たとえばドラムコアであり、当該ドラムコアの巻芯部の軸方向幅をＷとし、前記巻芯部の軸方向両側に形成してある鍔部の外周表面から前記巻芯部の外周表面までの深さをＤとした場合に、Ｄ／Ｗが１以上である。本発明の方法は、Ｄ／Ｗが１以上である場合に特に有効であり、複雑な形状であっても、部品本体の表面に、所望厚みの均一な膜を形成することができる。

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は本発明の一実施形態に係る電子部品の製造方法で用いるバレル装置の概略断面図、
図２は図１に示すバレル装置で処理されるドラムコアの断面図、
図３（Ａ）は図２に示すドラムコアの表面に第１塗膜を形成した概略断面図、図３（Ｂ）は第１塗膜の表面に第２塗膜を形成したドラムコアの断面図、
図４はコイルを巻回した後のドラムコアの断面図、
図５（Ａ）は本発明の実施例に係るドラムコアの側面図、図５（Ｂ）は本発明の比較例に係るドラムコアの側面図である。

図１に示すように、本発明の一実施形態に係るコイル部品の製造方法に用いるバレル装置１は、円柱状または角柱状のシリンダケーシング１ａを有し、その中空の内部に、バレル容器２が、その軸芯回りに矢印Ａ方向（またはその逆方向）に回転自在に収容してある。

ケーシング１ａには、入口管３と出口管４とが、バレル容器２を挟んでケーシング１ａの反対側に、それぞれ形成してある。入口管３からは乾燥用気体がケーシング１ａの内部に入り込み、出口管４からケーシング内部の空気を排出可能になっている。

バレル容器２の内部における軸芯位置には、スプレーノズル５が軸方向に沿って配置してあり、ノズル５から、バレル容器２の内部に貯留してある多数のコア部品１０に向けて第１スラリー６を吹き付け可能になっている。バレル容器２は、矢印Ａ方向に回転するために、バレル容器２の内部に貯留してあるコア部品１０は、バレル容器２の鉛直方向直下よりも回転方向Ａ側に偏って集められ、バレル容器２の回転により撹拌される。

ノズル５は、バレル容器２の鉛直方向直下よりも回転方向Ａ側に偏って集められるコア部品１０の集合に向けてスラリー６を噴霧することができるようになっている。なお、ノズル５からのスラリーの噴霧方向を自由に変えられるようにしても良い。

バレル容器２の下方には、第２スラリー７の受け皿８が配置してある。受け皿８の下方には、供給・排出パイプ９が接続してあり、受け皿８の内部に、第２スラリー７を供給し、処理後には、スラリー７を排出可能になっている。受け皿８は、バレル容器２の下半分近くを覆うようになっていることが好ましく、受け皿８の内部にパイプ９を通してスラリーを供給した場合に、そのスラリー液に、バレル容器２の内部に貯留してある全てのコア部品１０が浸漬するようになっている。

受け皿８は、ケーシング１ａの内部で、バレル容器２に対して相対的に上下移動可能にしてあっても良い。ノズル５から第１スラリー６を噴霧する際には、バレル容器２の回転の邪魔にならない位置に、受け皿８は、待避させておいても良い。そして、第２スラリーをパイプ９から受け皿８の内部に供給し、受け皿８の内部に第２スラリー７を貯留し、そのスラリー７にコア部品１０を浸漬する際にのみ、受け皿８をバレル容器２に近づけても良い。

バレル容器２の壁には、外部と内部とを連通する多数の孔が形成してあり、受け皿８に貯留してあるスラリー７は、バレル容器２の内部にも侵入し、そのスラリー７にコア部品１０を浸漬することができる。また、バレル容器２の壁には、外部と内部とを連通する多数の孔が形成してあることから、ケーシング１ａに形成してある入口管３から出口管４へと、ケーシング１ａの内部を流れる乾燥用気体がバレル容器２の内部にも流通するようになっている。

次に、図１に示すバレル装置を用いて、コイル部品を製造する方法について説明する。まず、図２に示すコア部品１０を準備する。この実施形態のコア部品１０は、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、パーマロイなどの軟磁性金属、金属圧粉、などの導電性磁性材で構成してあり、ドラムコア形状を有している。

このコア部品１０は、円柱または角柱状の巻芯部１２と、その巻芯部１２の軸方向に沿って両側に一体的に形成してある一対の鍔部１４とを有する。鍔部１４の外径は、巻芯部１２の外径よりも大きく、巻芯部１２の外周には、鍔部１４にて囲まれた凹部１６が形成してあり、その凹部１６に、後で、図４に示すように、コイル３０が巻回される。

この実施形態では、巻芯部１２の外径は、０．６〜１．２mmであり、巻芯部１２の軸方向幅Ｗは、０．３〜１．０mm、鍔部１４の外径は、２．０〜３．０mmであり、鍔部１４の厚みは０．２〜０．３mm、鍔部１４の外周表面から巻芯部１２の外周表面までの深さをＤは、０．５〜１．０mmである。しかも本実施形態では、Ｄ／Ｗが１以上、好ましくは１．０〜１．５である。

このようなコア部品１０を、図１に示すバレル容器２の内部に多数収容し、まず、パイプ９からは第２スラリーを受け皿８に供給しないで、ノズル５から第１スラリー６のみを吹き付ける。その際に、バレル容器２を回転させ、コア部品１０を撹拌しながら、ノズル５から第１スラリー６を吹き付ける。

第１スラリー６は、ガラス粉末と、バインダ樹脂と、溶剤とを含む。このスラリー中におけるバインダ樹脂の含有量は、スラリー全体に対して、好ましくは１重量％以上２０重量％未満である。バインダ樹脂はポリビニルアルコール（ＰＶＡ）及びその変性体が好ましい。

ガラス粉末の軟化温度は８００℃以下であることが好ましい。ガラス粉末の平均粒径（メジアン径）は、特に限定されないが、好ましくは、０．１μｍ以上１０μｍ以下である。ガラス粉末としては、例えば、ホウ珪酸鉛系ガラス、ホウ珪酸ビスマス系ガラス、ホウ珪酸亜鉛系ガラス等の非晶質ガラス粉末や結晶化ガラス粉末等が挙げられる。

スラリー６中のガラス粉末及びバインダ樹脂からなる固形分量は、スラリー６の重量に対して、好ましくは０．１重量％以上２０重量％未満であり、さらに好ましくは、０．５重量％以上１０重量％以下である。このように、固形成分の割合を低くし、溶剤の割合を高めることにより、バレルの周速を下げても、コア部品１０同士が固着しにくくなる。

溶剤は、水を含むことが好ましい。溶剤は水１００％でもよいが、コア部品の表面と水との接触角が大きいときは、エタノール、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、ＩＢＡ（イソブチルアルコール）等の水溶性のアルコールを一定の割合で混ぜることにより、スラリーとコア部品との濡れ性を改善することが好ましい。

ガラス粉末の軟化点は３００℃以上８００℃以下であることが好ましい。このように、８００℃以下の軟化点をもつガラス粉末を使用することにより、バインダ樹脂の熱分解温度からガラスの軟化点までの温度領域を狭くするか、無くすることが可能となる。そのために、焼成工程においてガラスの軟化点まで昇温する間のガラス粉層の形状を保持できるので好ましい。また、３００℃以上と規定したのは、多くのガラス粉末の軟化点が３００℃以上であることによる。

図１に示すバレル容器２を回転させて部品１０を容器２内で撹拌させながら、これらの部品１０にノズル５からスラリー６を吹き付ける。部品１０に吹き付けられたスラリー６は、各部品１０の表面を覆い、余分なスラリー６は、パイプ９を通して排出される。バレル容器２を回転させて部品１０にノズル５からスラリー６を吹き付ける処理時間は、特に限定されないが、たとえば３０〜１８０分程度である。

スプレー時の第１スラリー６の温度は、溶剤の組成にもよるが４０℃以上１００℃以下が好ましい。沸点の低い溶剤を使用する場合は、上記温度範囲内で温度を下げることが好ましい。

被処理対象である部品１０の量が少ない場合は、部品１０と比重及び体積の近いボールをメディアとしてバレル容器２内に投入し、メディア及び部品１０の量を一定に保ってもよい。

次に、ノズル５からのスラリー６の吐出を停止し、入口管３から乾燥用気体をケーシング１ａの内部に流し込み、出口管４から排出させ、部品１０の表面に塗布された第１塗膜を乾燥させる。この乾燥処理に用いる乾燥用気体は、たとえば温度５０〜１００°Ｃの空気であり、乾燥処理に要する時間は、たとえば５〜３０分である。

乾燥処理に際しては、バレル容器２を回転させて部品１０を容器内で撹拌しながら行うことが好ましい。なお、乾燥時のバレル容器の周速度Ｖｄは、スラリー６をノズル５から吐出する時の周速度Ｖｓ１に対して、Ｖｄ／Ｖｓ１＝０．５〜２．０となるように決定されることが好ましい。スラリー６をノズル５から吐出する時の周速度Ｖｓ１は、好ましくは０．０１ｍ／ｓｅｃ以上０．１ｍ／ｓｅｃ以下であり、好ましくは０．０１ｍ／ｓｅｃ以上０．０８ｍ／ｓｅｃ以下、さらに好ましくは０．０１ｍ／ｓｅｃ以上０．０６ｍ／ｓｅｃ以下である。

図３（Ａ）に示すように、乾燥処理後の部品１０の表面には、第１スラリー塗布膜６ａが形成される。なお、この第１スラリー塗布膜６ａには、多少ピンホール６ｂなどが形成されることがあるが、図３（Ｂ）に示すように、後述する第２スラリー塗布膜７ａにより被覆されるので問題ない。

乾燥処理後には、図１に示すパイプ９から第２スラリー７を受け皿８の内部に送り込み、受け皿８を第２スラリー７で満たし、バレル容器２内の全ての部品１０を第２スラリー７中に浸漬させる。その際には、バレル容器２は、回転させなくても良いが、所定の周速度Ｖｓ２で回転させても良い。所定の周速度Ｖｓ２は、スラリー６をノズル５から吐出する時の周速度Ｖｓ１に対して、Ｖｓ２／Ｖｓ１＝０．５〜２．０となるように決定されることが好ましい。

第２スラリー７は、第１スラリー６と同様に、ガラス粉末と、バインダ樹脂と、溶剤とを含み、第１スラリーに含まれる成分とは同じであるが、第２スラリー７中のガラス粉末の含有量が、第１スラリーに比較して少ない。また、第２スラリー７中の溶剤の含有量が、第１スラリーに比較して多い。

すなわち、第２スラリーの粘度が第１スラリーの粘度に比較して低くなるようにしてある。たとえば第２スラリーの粘度をλ２とし、第１スラリーの粘度λ１とした場合に、λ２／λ１＝０．１〜０．５であることが好ましい。なお、第１スラリーの粘度は、好ましくは、０．００１Ｐａ・ｓ以上０．０１Ｐａ・ｓ以下であり、さらに好ましくは０．００１Ｐａ・ｓ以上０．００３Ｐａ・ｓ以下である。

部品１０を第２スラリー７中に浸漬処理する時間は、特に限定されないが、好ましくは０．５〜５分である。浸漬処理後には、受け皿８中の第２スラリー７を、パイプ９を通して排出し、その後に、入口管３から乾燥用気体をケーシング１ａの内部に流し込み、出口管４から排出させ、部品１０の表面に塗布された第２塗膜を乾燥させる。乾燥条件は、第１塗膜の乾燥条件と同様である。

図３（Ｂ）に示すように、乾燥処理後の部品１０の表面には、第１スラリー塗布膜６ａと第２塗膜７ａとが形成される。第１スラリー塗布膜６ａの平均膜厚ｔ１は、好ましくは５〜２０μｍである。また第２塗膜７ａの平均膜厚ｔ２は、ｔ１／（ｔ１＋ｔ２）が０．７以上、好ましくは０．７５〜０．９となるように決定される。なお、この第１スラリー塗布膜６ａには、多少ピンホール６ｂなどが形成されることがあるが、図３（Ｂ）に示すように、第２スラリー塗布膜７ａによりピンホール６ｂはほとんど被覆される。

乾燥処理後には、部品１０は、バレル容器２から取り出され、焼成処理される。焼成条件は、塗膜６ａおよび塗膜７ａからなるガラス塗膜２０に含まれるガラス粉末の軟化点などに応じて決定され、好ましくはガラス粉末の軟化温度以上でガラス塗膜２０を焼成する。具体的には、焼成温度は、好ましくは６００〜８００°Ｃであり、焼成時間は、５〜３０分である。ガラス塗膜２０の膜厚は、焼成後において、好ましくは１μｍ以上２０μｍ以下、さらに好ましくは２μｍ以上１０μｍ以下である。

その後に、図４に示すように、各コア部品１０における一方の鍔部１４の端面に、銀、チタン、ニッケル、クロム、銅などで構成された一対の端子電極３２を、印刷、転写、浸漬、スパッタ、メッキ法などで形成する。端子電極３２は、コア部品１０が導電性であっても、ガラス塗膜２０のために絶縁されている。

その後に、巻芯部１２の周囲にワイヤ３０を巻回し、そのワイヤの両端を、それぞれ端子電極３２に熱圧着、超音波やレーザなどによる溶接、はんだ法などで接続し、コイル部品が完成する。

本実施形態に係るコイル部品の製造方法では、バレル容器２の内部で複数の部品１０を動かしながら、複数の部品１０に、第１スラリー６を吹き付けて部品１０の表面に第１塗膜６ａを形成する。そのため、一度に多量の部品１０の表面に対して、ほぼ均一に第１塗膜６ａを形成することができる。ただし、希に製品間で塗膜６ａの厚みのバラツキやピンホール６ｂや欠けなどが発生することがある。

しかしながら、本実施形態では、部品１０の表面に第１塗膜６ａを形成した後に、第２塗膜７ａを浸漬法により形成する。このため、第１塗膜６ａが形成された部品１０の表面に、仮にピンホール６ｂやクラックなどが生じていたとしても、浸漬時の溶液の濡れ性が均一になっているため、第２塗膜７ａがピンホール６ｂや欠けを塞ぎ、全体として、部品１０の表面に均一なガラス膜２０を形成することができる。これによって、バレルコーティングだけでは膜厚が不均一となっていた部品１０に対しても、製品間でばらつくことなく、部品１０の表面に均一で薄い膜２０を形成することができる。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。

たとえば、上述した部品１０は、第２スラリー７中へ浸漬された後に乾燥処理され、その後に、浸漬処理と乾燥処理とが１回以上繰り返されてもよい。このように繰り返すことで、より確実にピンホールや欠けなどを防止することができる。

また、本発明の方法により処理される部品本体としては、コイル部品のコア部品１０に限らず、トランス等のインダクティブデバイスのコアでもよい。また、コアの材質は、特に限定されず、例えばフェライト、アルミナ、鉄などからなるものであってもよい。さらに、本発明の方法で処理される部品としては、バリスタ、サーミスタ、コンデンサ、コイル等のセラミック積層チップ部品、Ｎｄ−Ｆｅ系金属磁石などでもよい。

また本発明では、第１塗膜６ａのみをガラス塗膜で形成し、その塗膜を焼成後に、その表面に、第２塗膜７ａとして、樹脂塗膜を形成しても良い。樹脂塗膜の樹脂は、紫外線硬化樹脂でも、熱硬化性樹脂でも良い。

また、本発明では、第２スラリー７中の溶剤には水を含めず、かつバインダ樹脂として非水溶性のエチルセルロースなどを用いてもよい。これによって、第１スラリー６中の水溶性のバインダ樹脂（ＰＶＡ）が第２スラリー７中へ溶出することを防止することができる。

また、本発明では、第１スラリー塗布膜形成後に、バレル容器２からコア部品１０を取り出して個別に分離した状態で容器に並べ入れ、そのまま第２スラリー７へ浸漬し、乾燥するようにしてもよい。これによって、乾燥後にコア部品同士が固着してしまうのを防止することができる。

さらに、上述した実施形態では、ガラス膜２０を絶縁膜として用いたが、その他の用途、たとえば緩衝膜として用いることも可能である。緩衝膜を付けることで、部品１０が硬い場合に、部品１０を取り扱う工具の摩耗を低減することができる。また、ガラス膜２０は、部品１０を保護するための膜として用いても良い。

以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。
実施例１

図１に示すバレル容器２の外径が２００mmのバレル装置１を準備し、図２に示すコア部品１０に対してガラス膜を形成した。コア部品１０は、Ｍｎ−Ｚｎ系のフェライトで構成され、鍔１４の直径が３mm、顎１４の厚みが０．２５mm、寸法Ｄが０．８mm、寸法Ｗが０．６mmであった。

まず、軟化点が６４５℃で平均粒径が０．４μｍのガラス粉末を作製し、当該ガラス粉末とポリビニルアルコール樹脂とを９５：５の重量比で混合した。さらに、得られた固形成分（ガラス粉末及びポリビニルアルコールの混合物）と溶剤とを２．５：９７．５の重量比で混合し、１６時間ボールミルでかき混ぜた。溶剤としては、水とエタノールを８：２で混合したものを用いた。

次に、図１に示すバレル装置１のバレル容器２内に部品１０を９００ｇ投入し、部品１０の表面に、スプレー処理により第１塗膜６ａを形成した。バレル容器２の回転スピードは５ｒｐｍ（周速０．０５ｍ／ｓ）で第１スラリー吐出量、コーティング時間は適宜調整した。

次に、温風温度７０℃で乾燥処理した。その後に、第２スラリー７による浸漬処理を行い、図３（Ｂ）に示す第２塗布膜７ａを形成した。第２スラリー７は、固形成分と溶剤とを２．５：９７．５の重量比ではなく、１．０：９９．０として溶剤量を多くした以外は、第１スラリー６と同じ組成である。

その後に、乾燥処理を行い、バレル容器２から部品１０を取り出し、得られた部品１０を６７０℃で焼成した。この結果、図１０に示すように、ピンホールがほとんど観察されない連続的なガラス膜２０を有する部品１０が得られた。
比較例１

第２スラリー７による浸漬処理を行わずに、図３（Ｂ）に示す第２塗布膜７ａを形成しない以外は、実施例１と同様にして、バレル容器２から部品１０を取り出し、得られた部品１０を６７０℃で焼成した。この結果、図１０に示すように、ピンホール６ｂが多数観察された第１塗膜６ａからなるガラス膜を有する部品１０が得られた。特に、巻芯部１２の外周面に、ピンホール６ｂが多数観察された。凹部１６内に第１スラリー６が入り込み難かったと考えられる。
比較例２

第１スラリー６によるスプレー処理を行わずに、図３（Ｂ）に示す第１塗布膜６ａを形成しない以外は、実施例１と同様にして、バレル容器２から部品１０を取り出し、得られた部品１０を６７０℃で焼成した。この結果、比較例１と同様に、ピンホールが多数観察された第１塗膜からなるガラス膜を有する部品が得られた。特に、巻芯部１２の外周面に、ピンホール６ｂが多数観察された。凹部１６内にエアーが巻き込み、第２スラリー７が入り込み難かったと考えられる。

図１は本発明の一実施形態に係る電子部品の製造方法で用いるバレル装置の概略断面図である。 図２は図１に示すバレル装置で処理されるドラムコアの断面図である。 図３（Ａ）は図２に示すドラムコアの表面に第１塗膜を形成した概略断面図、図３（Ｂ）は第１塗膜の表面に第２塗膜を形成したドラムコアの断面図である。 図４はコイルを巻回した後のドラムコアの断面図である。 図５（Ａ）は本発明の実施例に係るドラムコアの側面図、図５（Ｂ）は本発明の比較例に係るドラムコアの側面図である。

符号の説明

１… バレル装置
１ａ… ケーシング
２… バレル容器
３… 入口管
４… 出口管
５… スプレーノズル
６… 第１スラリー
６ａ… 第１塗膜
７… 第２スラリー
７ａ… 第２塗膜
８… 受け皿
９… 供給・排出パイプ
１０… コア部品
１２… 巻芯部
１４… 鍔部
１６… 凹部
２０… ガラス塗膜

Claims (11)

1. 部品本体を動かしながら、前記部品本体に、第１スラリーを吹き付けて前記部品本体の表面に第１塗膜を形成する工程と、
   前記第１塗膜が形成された前記部品本体を、第２スラリー中に浸漬させて、前記第１塗膜が形成された前記部品本体の表面に第２塗膜を形成する工程と、
   前記第１塗膜および第２塗膜の硬化処理を行う工程とを有する電子部品の製造方法。
2. 前記第１塗膜を形成した後に、前記第１塗膜を乾燥させる工程を有する請求項１に記載の電子部品の製造方法。
3. 前記第１塗膜および／または第２塗膜を加熱または紫外線照射することにより硬化させる請求項１または２に記載の電子部品の製造方法。
4. 前記第１塗膜および／または第２塗膜を焼成することにより硬化させる請求項１または２に記載の電子部品の製造方法。
5. 前記第１スラリーおよび／または前記第２スラリーが、ガラス粉末と、バインダ樹脂と、溶剤とを含む請求項４に記載の電子部品の製造方法。
6. 前記第１塗膜の厚みは、前記第１塗膜と前記第２塗膜の合計厚みの７０％以上である請求項１〜５のいずれかに記載の電子部品の製造方法。
7. 前記第１スラリーに含まれる成分と、前記第２スラリーに含まれる成分とは同じであるが、前記第２スラリーの粘度が前記第１スラリーの粘度に比較して低い請求項１〜６のいずれかに記載の電子部品の製造方法。
8. 前記部品本体は、移動可能なバレル内に収容され、当該バレル内で第１スラリーが吹き付けられる請求項１〜７のいずれかに記載の電子部品の製造方法。
9. 前記部品本体は、前記バレル内で前記第２スラリー中に浸漬される請求項８に記載の電子部品の製造方法。
10. 前記部品本体は、前記第２スラリー中へ浸漬された後に乾燥処理され、その後に、浸漬処理と乾燥処理とが１回以上繰り返される請求項１〜９のいずれかに記載の電子部品の製造方法。
11. 前記部品本体が、ドラムコアであり、当該ドラムコアの巻芯部の軸方向幅をＷとし、前記巻芯部の軸方向両側に形成してある鍔部の外周表面から前記巻芯部の外周表面までの深さをＤとした場合に、Ｄ／Ｗが１以上である請求項１〜１０のいずれかに記載の電子部品の製造方法。

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