JP2010114460A - 熱処理方法および熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フラッシュランプと直列に接続されたIGBT等のスイッチング素子のゲートに複数のパルスを含むパルス信号を出力する。また、パルス信号がオンになるタイミングと同期して、或いは、パルス信号の波形とは無関係に一定間隔にてフラッシュランプに付設されたトリガー電極にトリガー電圧を印加する。これによってフラッシュランプに流れる電流をチョッパ制御してフラッシュランプの発光をオンオフ制御する。スイッチング素子に印加するパルス信号の波形を変更することによって、アニール時のアニール時間および半導体ウェハーの表面温度プロファイルを自由に設定することができる。
【選択図】図9
Description
3 制御部
4 保持部昇降機構
5 ランプハウス
6 チャンバー
7 保持部
31 パルス発生器
32 波形設定部
33 入力部
60 上部開口
61 チャンバー窓
65 熱処理空間
71 ホットプレート
72 サセプタ
91 トリガー電極
92 ガラス管
93 コンデンサ
94 コイル
96 スイッチング素子
97 トリガー回路
FL フラッシュランプ
W 半導体ウェハー
Claims (10)
- 基板に対して光を照射することによって該基板を加熱する熱処理方法であって、
フラッシュランプの発光をオンオフ制御して基板に複数回の光照射を行って基板表面を加熱することを特徴とする熱処理方法。 - 請求項1記載の熱処理方法において、
スイッチング素子によって前記フラッシュランプの発光をチョッパ制御することを特徴とする熱処理方法。 - 請求項2記載の熱処理方法において、
前記スイッチング素子は絶縁ゲートバイポーラトランジスタであり、
前記絶縁ゲートバイポーラトランジスタのゲートに複数パルスを含むパルス信号を出力することによって前記フラッシュランプの発光をチョッパ制御することを特徴とする熱処理方法。 - 請求項3記載の熱処理方法において、
前記パルス信号がオンになるタイミングと同期して前記フラッシュランプのトリガー電極にトリガー電圧を印加することを特徴とする熱処理方法。 - 請求項3記載の熱処理方法において、
前記フラッシュランプのトリガー電極に一定間隔でトリガー電圧を印加することを特徴とする熱処理方法。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の熱処理方法において、
基板に複数回の光照射を行うことによって基板の表面温度が昇温と降温とを繰り返すことを特徴とする熱処理方法。 - 基板に対して光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された基板に光を照射するフラッシュランプと、
前記フラッシュランプ、コンデンサおよびコイルと直列に接続されたスイッチング素子と、
前記スイッチング素子にパルス信号を出力して前記フラッシュランプの発光をオンオフ制御して基板に複数回の光照射を行わせる制御手段と、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項7記載の熱処理装置において、
前記スイッチング素子は絶縁ゲートバイポーラトランジスタであり、
前記制御手段は、前記絶縁ゲートバイポーラトランジスタのゲートに複数のパルスを含むパルス信号を出力することによって前記フラッシュランプの発光をチョッパ制御することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項8記載の熱処理装置において、
前記フラッシュランプに付設されたトリガー電極と、
前記パルス信号がオンになるタイミングと同期して前記トリガー電極にトリガー電圧を印加するトリガー回路と、
をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項8記載の熱処理装置において、
前記フラッシュランプに付設されたトリガー電極と、
前記トリガー電極に一定間隔でトリガー電圧を印加するトリガー回路と、
をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。
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