JP2010114458A - 化学蒸着システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】化学蒸着システム10は、入口30及び出口32を備えたハウジング12を備え、下側及び上側ハウジング部分16,18によって構成される堆積チャンバ14を有し、下側及び上側ハウジング部分16,18の水平結合部にシールアセンブリ22を備え、水平結合部は前記入口30及び出口32の双方よりも高い位置にあり、前記入口30は、コーティングされるガラスシート基板Gをチャンバ14に導入し、前記出口32は該コーティングガラスシート基板をチャンバ14から出す。
【選択図】図1
Description
Claims (12)
- 化学蒸着システムであって、
内包された堆積チャンバを構成し、互いに水平結合部を備えた下側及び上側部分を含むハウジングと、
前記水平結合部で前記下側及び上側ハウジング部分の間に延びるシールアセンブリと、 前記堆積チャンバ内に配置され、前記シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下のコンベヤ平面でコンベヤ送りの方向に沿ってガラスシート基板をコンベヤ移送するためのロールコンベヤと、
前記堆積チャンバ内に配置され、前記コンベヤ移送されるガラスシート基板上に化学蒸着のコーティングを行うために、ロールコンベヤの上に配置された化学気相分配器と、を有し、
前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされるガラスシート基板を堆積チャンバ内に導入する入口を含み、
前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされたガラスシート基板を堆積チャンバから出す出口を含む、
ことを特徴とするシステム。 - 請求項1に記載の化学蒸着システムが更に、堆積チャンバ内を真空に引くための真空ソースを有し、
前記下側及び上側ハウジング部分の間のシールアセンブリが、堆積チャンバとその周りの環境との間に配置され、真空が堆積チャンバよりも低くなるように引かれる中間シールスペースを構成するために、互いに間隔が隔てられた内側及び外側シール部材と、内側シール部材又は外側シール部材のいずれの漏れを検知するため、シールスペース内の圧力を検知するためのセンサとを含む、
ことを特徴とするシステム。 - シールアセンブリが、下側及び上側ハウジング部分に下側及び上側シールフランジを有し、内側及び外側シール部材が、下側及び上側ハウジングの間を密封するために下側及び上側シールフランジの間に延び、上側ハウジング部分を下側ハウジング部分に固定するために下側及び上側シールフランジの間に延びるクランプとを有する、
ことを特徴とする請求項2に記載の化学蒸着システム。 - 各クランプが、下側及び上側シールフランジの間を安全に固定するために油圧シリンダを含むことを特徴とする請求項3に記載の化学蒸着システム。
- 請求項1に記載の化学蒸着システムが、
ハウジング内に配置されたオーブンを含み、
コンベヤ移送されるガラスシート基板を加熱し、コンベヤ移送の方向に対して側方の基板の温度変化を制御するために、側方に間隔が隔てられたバンクに、コンベヤ移送の方向に沿って延びた細長いヒータを有する、
ことを特徴とするシステム。 - 各細長いヒータが、加熱を提供するために電気が通る電気抵抗エレメントを含み、各ヒータが前記電気抵抗エレメントが中を通って延びる細長い石英管を含む、ことを特徴とする請求項5に記載の化学蒸着システム。
- ロールコンベヤが、
オーブンの中にのび、ハウジング内にそこから外側に突き出た端を備えたロールと、
ハウジング内でオーブンの外側でロール端を回転駆動する駆動機構と、
を有することを特徴とする、請求項5に記載の化学蒸着システム。 - ガラスシート基板の破損を捕捉するために、ロールコンベヤの下に配置されたスクリーンを更に有することを特徴とする、請求項5に記載の化学蒸着システム。
- スクリーンが、ステンレス鋼で出来ており、補強材を包含することを特徴とする、請求項6に記載の化学蒸着システム。
- 化学蒸着システムであって、
内包された堆積チャンバを構成し、互いに水平な接合部を備えた下側及び上側部分を含むハウジングを有し、下側及び上側ハウジング部分が、下側及び上側ハウジング部分の水平接合部で下側及び上側シールフランジをそれぞれ備え、
前記堆積チャンバ内を真空に引くための真空ソースと、
下側及び上側ハウジング部分の水平結合部でその間を密封するために、下側及び上側ハウジング部分の下側及び上側シールフランジの間にのびる内側及び外側シール部材を備えたシールアセンブリとを有し、内側及び外側シール部材が、中間シールスペースを構成するために互いに間隔が隔てられ、該中間シールスペースが堆積チャンバとその周りの環境との間で真空に引かれ、
内側シール部材又は外側シール部材のいずれの漏れも検知するために、シールスペース内の圧力を検知するためのセンサと、
シールアセンブリが配置された、下側及び上側ハウジング部分の水平接合部の下で、コンベヤ移送の平面でコンベヤ移送の方向に沿ってガラスシート基板をコンベヤ移送するために、堆積チャンバ内に配置されたロールコンベヤとを有し、
コンベヤ移送されるガラスシート基板上のコーティングの化学蒸着を行うために、ロールコンベヤの上で、堆積チャンバ内に配置された化学蒸着分配器と、
を有し
前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされるガラスシート基板が堆積チャンバ内に導入される入口を備え、
前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされたガラスシート基板を堆積チャンバから出す出口を備えたことを特徴とする化学蒸着システム。 - 化学蒸着システムであって、
互いに水平結合部を備えた下側及び上側部分を含み、内包された堆積チャンバを構成するハウジングを有し、下側及び上側ハウジング部分が、下側及び上側ハウジング部分の水平結合部で下側及び上側シールフランジをそれぞれ備え、
堆積チャンバ内を真空に引く真空ソースと、
下側及び上側ハウジング部分の水平結合部でその間を密封するために、下側及び上側ハウジング部分の下側及び上側シールフランジの間にのびる内側及び外側シール部材を備えたシールアセンブリとを有し、内側及び外側シール部材が、中間シールスペースを構成するために互いに間隔が隔てられ、該中間シールスペースが堆積チャンバとその周りの環境との間で真空に引かれ、
内側シール部材又は外側シール部材のいずれの漏れも検知するために、シールスペース内の圧力を検知するためのセンサと、
シールアセンブリが配置された、下側及び上側ハウジング部分の水平接合部の下で、コンベヤ移送の平面でコンベヤ移送の方向に沿ってガラスシート基板をコンベヤ移送するためのロールを供え、堆積チャンバ内に配置されたロールコンベヤとを有し、
ガラスシート基板をコンベヤ移送するロールコンベヤを備えたハウジング内に配置されたオーブンとを有し、該オーブンが、コンベヤ移送されるガラスシート基板を加熱するために側方に間隔が隔てられたバンクでコンベヤ移送の方向に沿って延び、コンベヤ移送の方向に対して側方に基板の温度差を制御する細長いヒータを備え、各細長いヒータが、加熱させるために電気が通る電気抵抗エレメントを含み、各ヒータが、前記電気抵抗エレメントを通す細長い石英管を含み、
コンベヤ移送されるガラスシート基板上にコーティングの化学蒸着を行うために、ロールコンベヤの上で堆積チャンバ内に配置された化学蒸着分配器と、を有し、
前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされるガラスシート基板が堆積チャンバ内に導入される入口を備え、
前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされたガラスシート基板を堆積チャンバから出す出口を備えたことを特徴とする化学蒸着システム。 - 化学蒸着システムであって、
互いに水平結合部を備えた下側及び上側部分を含み、内包された堆積チャンバを構成するハウジングを有し、下側及び上側ハウジング部分が、下側及び上側ハウジング部分の水平結合部で下側及び上側シールフランジをそれぞれ備え、
堆積チャンバ内を真空に引く真空ソースと、
下側及び上側ハウジング部分の水平結合部でその間を密封するために、下側及び上側ハウジング部分の下側及び上側シールフランジの間にのびる内側及び外側シール部材を備えたシールアセンブリとを有し、内側及び外側シール部材が、中間シールスペースを構成するために互いに間隔が隔てられ、該中間シールスペースが堆積チャンバとその周りの環境との間で真空に引かれ、
前記した側及び上側シールフランジを互いに安全に固定するために油圧シリンダを互いに含むクランプと、
内側シール部材又は外側シール部材のいずれの漏れも検知するために、シールスペース内の圧力を検知するためのセンサと、
シールアセンブリが配置された、下側及び上側ハウジング部分の水平接合部の下で、コンベヤ移送の平面でコンベヤ移送の方向に沿ってガラスシート基板をコンベヤ移送するためのロールを供え、堆積チャンバ内に配置されたロールコンベヤとを有し、
破損したガラスシート基板を捕捉するためにロールコンベヤの下に配置されたスクリーンと、
ガラスシート基板をコンベヤ移送するロールコンベヤを備えたハウジング内に配置されたオーブンとを有し、該オーブンが、コンベヤ移送されるガラスシート基板を加熱するために側方に間隔が隔てられたバンクでコンベヤ移送の方向に沿って延び、コンベヤ移送の方向に対して側方に基板の温度差を制御する細長いヒータを備え、各細長いヒータが、加熱させるために電気が通る電気抵抗エレメントを含み、各ヒータが、前記電気抵抗エレメントを通す細長い石英管を含み、
コンベヤ移送されるガラスシート基板上にコーティングの化学蒸着を行うために、ロールコンベヤの上で堆積チャンバ内に配置された化学蒸着分配器と、を有し、
前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされるガラスシート基板が堆積チャンバ内に導入される入口を備え、
前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされたガラスシート基板を堆積チャンバから出す出口を備えたことを特徴とする化学蒸着システム。
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