JP2010107661A - レーザ光発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外部共振器15内のナイフエッジ153a,153bを、誘電体により構成する。これにより、レーザ光の吸収による熱発生に起因した、ナイフエッジ153a,153bの経時的変化が抑えられる。また、ナイフエッジ153a,153bにおけるレーザ光の入射面(透過面)S1,S21等が、互いに非平行な光学平滑面となっていると共に、それら光学平滑面への入射レーザ光(レーザビームLB)の少なくとも一部が屈折されるようにする。これにより、散乱光に起因した外部共振器15内の光学素子(波長変換結晶152等)の経時劣化が抑えられる。
【選択図】図1
Description
次に、本発明の変形例について説明する。なお、上記実施の形態と同様の構成要素については、同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
Claims (7)
- 光源と、
誘電体からなるナイフエッジを含んで構成され、前記光源からの入射光を共振させることにより、出力レーザ光を発生させる共振器と
を備え、
前記ナイフエッジは、前記共振器内のレーザ光が透過すると共に互いに非平行な複数の光学平滑面を有し、それら光学平滑面への入射レーザ光の少なくとも一部を屈折させることにより、その屈折光を主ビームと互いに分離させる
レーザ光発生装置。 - 前記ナイフエッジが、前記入射レーザ光の波長領域において1%/mm以下の光吸収係数を有する酸化物、ガラスまたはフッ化物により構成されている
請求項1に記載のレーザ光発生装置。 - 前記ナイフエッジが、石英、サファイア、フッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウムにより構成されている
請求項2に記載のレーザ光発生装置。 - 前記ナイフエッジが、光学スリットまたは光学アパーチャとして機能するように構成されている
請求項1に記載のレーザ光発生装置。 - 前記共振器は、前記ナイフエッジからの屈折光を取り込むための光学部材を有する
請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のレーザ光発生装置。 - 前記光源が、励起光を射出する励起光源であり、
前記共振器が、前記ナイフエッジおよびレーザ結晶を含んで構成され、前記励起光を共振させて前記出力レーザ光を発生させるレーザ共振器である
請求項1に記載のレーザ光発生装置。 - 前記光源が、基本波としてのレーザ光を射出する基本波光源であり、
前記共振器が、前記ナイフエッジおよび波長変換結晶を含んで構成され、前記基本波を共振させて波長変換を行うことにより前記出力レーザ光を発生させる波長変換器である
請求項1に記載のレーザ光発生装置。
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