JP2010102765A - 磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主表面と、前記主表面の中央部に形成された円孔と、前記円孔の内周に形成されたチャンファ面と、を有し、前記主表面は、内周端部において凸部が形成されており、前記内周端部において、スキージャンプ値が0μm以下であり、前記主表面と前記チャンファ面との境界から前記主表面側へ1.6mmだけ離れた点とを結ぶ直線を基準線分としたとき、前記基準線分からの前記凸部の最大高さが0.2〜9nmであり、前記主表面と前記チャンファ面との境界から前記凸部の高さが最大となる位置までの離隔距離が0.7mm以下である。
【選択図】 図2
Description
図1は、本発明の実施の形態に係るガラス基板の上面および側断面を模式的に示した図である。図1に示すように、本実施の形態に係るガラス基板1は、主表面1aと、外周端面1bと、主表面1aの中央部に形成された円孔1cと、円孔1cの内周に形成された内周端面1dと、外周および円孔1cの内周に形成されたチャンファ面1eとを有し、ドーナツ状の形状を有している。ガラス基板1の大きさは所定の製品規格を満たすように形成されており、たとえば外径が2.5インチ(65mm)、内径が約20mm、厚さが635μm±10μmである。なお、ガラス基板1は、主表面1aの裏側にも他の主表面を有するが、2つの主表面は同一の形状であるので、以下では主表面1aについてのみ説明する。
ここで、この精密研磨工程において、片面あたりの研磨量を0.3〜0.7μmと少なくする。その結果、ガラス基板9の主表面を所望の面精度に仕上げることができるとともに、端部の面ダレを少し起こす傾向になり、内周端部のスキージャンプ値が負となり、凸部の最大高さが0.2〜9nmに小さくなるとともに、主表面とチャンファ面との境界から凸部の高さが最大となる位置までの離隔距離が適度に離れる。その結果、本実施の形態に係るガラス基板1を製造できる。
実施例1〜6として、リドロー法を用いてアルミノシリケートガラスからなるガラス板を製造し、このガラス板をコアリングしてドーナツ状のガラス基板を成形し、さらに内外周にチャンファ面を形成し、外径が65mm、円孔の内径が20mm、円孔の近傍の厚さが643μmのガラス基板を製造した。
一方、比較例1、2として、実施例1〜6とほぼ同様の方法でガラス基板を製造した。ただし、比較例1に係るガラス基板を製造する際には、凸部の最大高さが大きくなるように、精密研磨工程における精密研磨量を調整した。また、比較例2に係るガラス基板を製造する際には、凸部が形成されないように粗研磨工程における粗研磨量を調整するとともに、精密研磨工程後に化学強化プロセスを行ない、ガラス基板を強化処理した。
1a 主表面
1b 外周端面
1c 円孔
1d 内周端面
1e チャンファ面
2 固定部材
3 上定盤
4 下定盤
5 研磨パッド
6 キャリアー
7 太陽車
8 インターナルギア
10 両面同時研磨機
C 凸部
D、X 離隔距離
d 凸部の最大高さ
L1 基準面
L2 基準線分
P1〜P4 点
s スキージャンプ
S101〜S105 ステップ
Claims (6)
- 主表面と、
前記主表面の中央部に形成された円孔と、
前記円孔の内周に形成されたチャンファ面と、
を有し、前記主表面は、内周端部において凸部が形成されており、前記内周端部において、スキージャンプ値が0μm以下であり、前記主表面と前記チャンファ面との境界から前記主表面側へ1.6mmだけ離れた点とを結ぶ直線を基準線分としたとき、前記基準線分からの前記凸部の最大高さが0.2〜9nmであり、前記主表面と前記チャンファ面との境界から前記凸部の高さが最大となる位置までの離隔距離が0.7mm以下であることを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板。 - 請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
ガラス板からドーナツ状のガラス基板を成形するガラス基板成形工程と、
粒径が0.1〜1.0μmの大径研磨砥粒を含む研磨液と研磨パッドとを用いて前記成形したガラス基板を研磨する粗研磨工程と、
粒径が0.01〜0.1μmの小径研磨砥粒を含む研磨液と軟質研磨パッドとを用いて前記研磨したガラス基板をさらに研磨する精密研磨工程と、
を含むことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記粗研磨工程における片面あたりの粗研磨量を8〜10μmとし、前記精密研磨工程における片面あたりの精密研磨量を0.3〜0.7μmとすることを特徴とする請求項2に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記研磨パッドはウレタンまたは発泡ウレタンからなり、前記軟質研磨パッドは発泡ウレタンからなることを特徴とする請求項2または3に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記大径研磨砥粒は酸化セリウムからなり、前記小径研磨砥粒はコロイダルシリカからなることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1つに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記ガラス板は、母材ガラス板を加熱して軟化し所望の厚さに延伸するリドロー法を用いて製造したものであることを特徴とする請求項2〜5のいずれか1つに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
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JP2004063062A (ja) * | 2002-06-05 | 2004-02-26 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及びその製造方法で製造された情報記録媒体用ガラス基板 |
JP2006082138A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスク用ガラス基板、並びに、磁気ディスクの製造方法及び磁気ディスク |
WO2008111427A1 (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Konica Minolta Opto, Inc. | 情報記録装置、並びにその情報記録装置に用いる情報記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 |
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2008
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