JP2010101689A - 円形孔の内径測定装置と測定方法 - Google Patents
円形孔の内径測定装置と測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010101689A JP2010101689A JP2008271990A JP2008271990A JP2010101689A JP 2010101689 A JP2010101689 A JP 2010101689A JP 2008271990 A JP2008271990 A JP 2008271990A JP 2008271990 A JP2008271990 A JP 2008271990A JP 2010101689 A JP2010101689 A JP 2010101689A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circular hole
- cross
- axis
- sectional shape
- distance sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【課題】測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する技術を提供する。
【解決方法】内径測定装置10は、距離センサ12と、回転機構38と、コンピュータ20を備えている。距離センサ12は、円形孔34の内部に配置され、円形孔34の内壁までの距離を測定する。回転機構38は、円形孔34の軸36に対して角度θを成す基準軸32を中心に距離センサ12と測定対象物16を相対回転させる。コンピュータ20は、距離センサ12によって各方向で測定された距離データから、円形孔34の軸36に垂直な断面形状を特定する断面特定機能と、断面特定機能によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出機能を併せ持っている。内径測定装置10は、算出された楕円形状の短径を円形孔34の内径とする。
【選択図】 図1
【解決方法】内径測定装置10は、距離センサ12と、回転機構38と、コンピュータ20を備えている。距離センサ12は、円形孔34の内部に配置され、円形孔34の内壁までの距離を測定する。回転機構38は、円形孔34の軸36に対して角度θを成す基準軸32を中心に距離センサ12と測定対象物16を相対回転させる。コンピュータ20は、距離センサ12によって各方向で測定された距離データから、円形孔34の軸36に垂直な断面形状を特定する断面特定機能と、断面特定機能によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出機能を併せ持っている。内径測定装置10は、算出された楕円形状の短径を円形孔34の内径とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する技術に関する。
様々な分野で素材に穴を形成する加工が行われる。最近では、穴加工に要求される精度が高まっており、そのため、加工した穴の軸に垂直な断面形状の測定が行われる。特に、軸に垂直な断面形状が真円である円形孔を形成した場合は、その円形孔の内径を正確に測定する必要がある。円形孔の内径を測定するためには、円形孔の軸に垂直な断面形状を測定しなければならない。円形孔の軸に垂直な断面形状を測定する場合、円形孔の軸方向を検出する必要がある。円形孔の軸方向を検出することで、円形孔の軸に垂直な断面形状を正確に特定することが可能となり、この断面形状から円形孔の内径を正確に測定することができる。
特許文献1、2に、光学的な手法を用いて円筒等に形成された円形孔の内径を測定する技術が開示されている。特に、特許文献2には、光学的な手法を用いて円形孔の軸方向を検出し、円形孔の内径を測定する技術が開示されている。特許文献2の技術では、距離センサを円形孔の内部に配置し、基準軸を中心に距離センサを回転させることによって、基準軸に垂直な穴の断面形状、つまり距離センサから円形孔の内壁までの距離を測定する。この技術では、この測定動作を基準軸上の異なる2測定点において実施し、この2測定点における測定結果と2測定点間の距離に基づいて円形孔の軸方向を検出するとともに、円形孔の内径を測定する技術が説明されている。
特許文献2の技術を用いて円形孔の内径を測定する場合、基準軸上の異なる2測定点における測定結果が必要とされる。そのために、2測定点に異なる2つの距離センサを配置し、それぞれの距離センサからの測定結果を取得する必要がある。2つの距離センサを準備する必要があり、装置が複雑化してしまう問題が生じていた。そのため、円形孔の内径を測定する測定技術では、1測定点における測定結果から、円形孔の内径を正確に検出することができる技術が必要とされている。
本発明は上記の課題を解決する。本発明は、1測定点における測定結果から、円形孔の内径を正確に測定することができる技術を提供することを目的とする。
本発明は上記の課題を解決する。本発明は、1測定点における測定結果から、円形孔の内径を正確に測定することができる技術を提供することを目的とする。
本発明は、測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する測定装置に具現化される。この断面形状測定装置は、距離センサと、回転手段と、断面特定手段と、短径算出手段を備えている。
距離センサは、円形孔の内部に配置され、円形孔の内壁までの距離を測定する。
回転手段は、円形孔の軸に対して角度を成す基準軸を中心に、距離センサと測定対象物を相対回転させる。
断面特定手段は、距離センサによって各方向で測定された距離データから、円形孔の基準軸に垂直な断面形状を特定する。
短径算出手段は、断面特定手段によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する。
距離センサは、円形孔の内部に配置され、円形孔の内壁までの距離を測定する。
回転手段は、円形孔の軸に対して角度を成す基準軸を中心に、距離センサと測定対象物を相対回転させる。
断面特定手段は、距離センサによって各方向で測定された距離データから、円形孔の基準軸に垂直な断面形状を特定する。
短径算出手段は、断面特定手段によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する。
距離センサを円形孔の内部に配置し、基準軸を中心に距離センサと測定対象物を相対回転させると、各方向で測定された距離データから円形孔の基準軸に垂直な断面形状を特定することができる。このとき、基準軸が円形孔の軸に対して角度を成している(傾いている)と、円形孔の基準軸に垂直な断面形状は、真円となる円形孔の軸に垂直な断面形状に対して、一方方向に拡大された楕円形状となる。詳しく言えば、円形孔の基準軸に垂直な断面形状は、真円となる円形孔の軸に垂直な断面形状に対して、基準軸が傾いている方向(即ち、この方向が長径方向となる)に拡大されたものとなる。その一方において、基準軸が傾いている方向と垂直な方向(即ち、この方向が短径方向となる)では、その寸法が維持されることになる。従って、楕円形状となる円形孔の基準軸に垂直な断面形状の短径は、基準軸の傾きの大きさにかかわらず、円形孔の軸に垂直な断面形状の内径に一致する。
本発明では、この関係を利用して円形孔の内径を測定する。即ち、本発明では、楕円形状となる円形孔の基準軸に垂直な断面形状から、その短径を円形孔の軸に垂直な断面形状の内径として算出する。ここで、距離センサと測定対象物を相対回転させる基準軸は、円形孔の軸に対して意図的に傾けられている。従って、円形孔の基準軸に垂直な断面形状は明確な楕円形状となり、その短径を容易かつ正確に算出することができる。本発明では、基準軸が円形孔の軸に対して傾いている大きさを特定する必要もなければ、その大きさを特定するために、基準軸上の異なる2測定点における断面形状を測定する必要もない。基準軸上の1測定点における断面形状を測定し、この断面形状のうち、円形孔の軸に垂直な断面形状である真円の形状が維持されている短径の寸法を算出することで、円形孔の内径を得ることができる。
本発明によると、1測定点における測定結果から、円形孔の内径を正確に測定することができる。
本発明によると、1測定点における測定結果から、円形孔の内径を正確に測定することができる。
上記した断面形状測定装置において、短径算出手段は、楕円形状の長径を特定し、特定した長径を用いて短径を算出することが好ましい。
楕円形状では、短径から長径まで、その径が周方向に亘って連続的に変化する。この楕円形状の径の変化は、短径となる位置の近傍よりも、長径となる位置の近傍の方が、その変化率が大きくなる。そのことから、楕円形状からその短径を算出する場合は、短径を直接的に求めるよりも、先ずは長径を特定し、その長径を利用して短径を求める方が、短径の寸法を正確に算出することができる。
楕円形状では、短径から長径まで、その径が周方向に亘って連続的に変化する。この楕円形状の径の変化は、短径となる位置の近傍よりも、長径となる位置の近傍の方が、その変化率が大きくなる。そのことから、楕円形状からその短径を算出する場合は、短径を直接的に求めるよりも、先ずは長径を特定し、その長径を利用して短径を求める方が、短径の寸法を正確に算出することができる。
本発明は、測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する測定方法にも具現化される。この測定方法は、少なくとも以下の4つの工程を備えている。
(1)円形孔の内壁までの距離を測定する距離センサを、円形孔の内部に配置する配置工程
(2)円形孔の軸に対して角度を成す基準軸を中心に距離センサと測定対象物を相対回転させる回転工程
(3)距離センサによって各方向で測定された距離データから、円形孔の基準軸に垂直な断面形状を特定する断面特定工程
(4)断面特定工程で特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出工程
この方法によっても、1測定点における測定結果から、円形孔の内径を正確に測定することができる。
(1)円形孔の内壁までの距離を測定する距離センサを、円形孔の内部に配置する配置工程
(2)円形孔の軸に対して角度を成す基準軸を中心に距離センサと測定対象物を相対回転させる回転工程
(3)距離センサによって各方向で測定された距離データから、円形孔の基準軸に垂直な断面形状を特定する断面特定工程
(4)断面特定工程で特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出工程
この方法によっても、1測定点における測定結果から、円形孔の内径を正確に測定することができる。
本発明によれば、1測定点における測定結果から、円形孔の内径を正確に測定することができ、円形孔の内径を用いて円形孔の加工精度を正確に確認することができる。
以下に説明する実施例の主要な特徴を整理する。
(特徴1) 内径測定装置は、コンピュータを用いて構成されている。コンピュータのハードウエアやソフトウエアによって、各処理を実行する構成が実現されている。
(特徴2) 内径測定装置は、測定対象物に対して距離センサを相対移動させる移動機構を備えている。
(特徴3) 距離センサは、基準軸に垂直な方向における円形孔の内壁までの距離を測定する。
(特徴4) 回転工程では、円形孔の軸に対して角度を成す基準軸を中心に距離センサと測定対象物を相対回転させながら、距離センサによって各方向における円形孔の内壁までの距離を測定する。
(特徴1) 内径測定装置は、コンピュータを用いて構成されている。コンピュータのハードウエアやソフトウエアによって、各処理を実行する構成が実現されている。
(特徴2) 内径測定装置は、測定対象物に対して距離センサを相対移動させる移動機構を備えている。
(特徴3) 距離センサは、基準軸に垂直な方向における円形孔の内壁までの距離を測定する。
(特徴4) 回転工程では、円形孔の軸に対して角度を成す基準軸を中心に距離センサと測定対象物を相対回転させながら、距離センサによって各方向における円形孔の内壁までの距離を測定する。
本発明を具現化した実施例について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施例の内径測定装置10を示す。内径測定装置10は、ステージ18の窪み50に測定対象物16を載置し、測定対象物16を貫通する円形孔34の軸36に垂直な断面形状である真円の内径を測定する装置である。
図1に示すように、内径測定装置10は、ステージ18と、支柱24と、移動機構26と、可動部28と、回転機構38と、連結軸30と、角度エンコーダ42と、測定ヘッド14と、距離センサ12と、コンピュータ20を備えている。
ステージ18の表面18aには、窪み50が形成されている。窪み50の表面50aはステージ18の表面18aに対して角度θ傾斜している。支柱24は、ステージ18に固定されている。移動機構26は、可動部28を基準軸32に沿って上下させるためのアクチュエータであり、支柱24に固定されている。可動部28には、連結軸30を介して測定ヘッド14が支持されている。そのため、可動部28の上下動に伴って測定ヘッド14が基準軸32に沿って上下動する。
ステージ18の表面18aには、窪み50が形成されている。窪み50の表面50aはステージ18の表面18aに対して角度θ傾斜している。支柱24は、ステージ18に固定されている。移動機構26は、可動部28を基準軸32に沿って上下させるためのアクチュエータであり、支柱24に固定されている。可動部28には、連結軸30を介して測定ヘッド14が支持されている。そのため、可動部28の上下動に伴って測定ヘッド14が基準軸32に沿って上下動する。
可動部28は、回転機構38を備えている。連結軸30は、回転機構38によって可動部28に対して回転可能に支持されている。距離センサ12は、基準軸32に垂直な方向における円形孔34の内壁までの距離を非接触で測定する光学式の距離センサであり、測定ヘッド14に固定されている。そのため、連結軸30の回転に伴って距離センサ12が基準軸32を中心に回転する。回転機構38は角度エンコーダ42を備えており、角度エンコーダ42は連結軸30の回転に伴って距離センサ12が回転した角度を測定する。
本発明の内径測定装置10は、コンピュータ20を備えている。コンピュータ20はケーブル22を通して可動部28に接続されているとともに、図示されていないケーブルを通して距離センサ12と角度エンコーダ42に接続されている。ケーブル22を通して、距離センサ12と角度エンコーダ42の測定値がコンピュータ20に入力される。
本発明の内径測定装置10は、コンピュータ20を備えている。コンピュータ20はケーブル22を通して可動部28に接続されているとともに、図示されていないケーブルを通して距離センサ12と角度エンコーダ42に接続されている。ケーブル22を通して、距離センサ12と角度エンコーダ42の測定値がコンピュータ20に入力される。
次に、内径測定装置10の動作について説明する。
図1は、可動部28が上限位置A1に停止しており、測定ヘッド14が測定対象物16の外部に位置する状態の内径測定装置10を示す。測定対象物16は、ステージ18の窪み50上に載置されている。円形孔34の軸36は測定対象物16の底面16bに垂直であり、基準軸32はステージ18の表面18aに垂直である。そのため、窪み50の表面50aのステージ18の表面18aに対する傾斜角θに対応して、測定ヘッド14の基準軸32は円形孔34の軸36に対して角度θ傾斜している。上記のように測定対象物16を載置し、可動部28を下降させると測定ヘッド14が測定対象物16に形成された円形孔34に挿入される。本実施例では、測定ヘッド14が円形孔34に挿入される際に、測定ヘッド14と測定対象物16が干渉しない位置関係で、ステージ18に窪み50が形成されている。
図1は、可動部28が上限位置A1に停止しており、測定ヘッド14が測定対象物16の外部に位置する状態の内径測定装置10を示す。測定対象物16は、ステージ18の窪み50上に載置されている。円形孔34の軸36は測定対象物16の底面16bに垂直であり、基準軸32はステージ18の表面18aに垂直である。そのため、窪み50の表面50aのステージ18の表面18aに対する傾斜角θに対応して、測定ヘッド14の基準軸32は円形孔34の軸36に対して角度θ傾斜している。上記のように測定対象物16を載置し、可動部28を下降させると測定ヘッド14が測定対象物16に形成された円形孔34に挿入される。本実施例では、測定ヘッド14が円形孔34に挿入される際に、測定ヘッド14と測定対象物16が干渉しない位置関係で、ステージ18に窪み50が形成されている。
本実施例の内径測定装置10では、測定を開始すると移動機構26が可動部28を下降させる。図2に示すように、測定ヘッド14は円形孔34の内部に挿入され、可動部28が下限位置A2に位置したときに下降を停止する。次に、回転機構38が矢印40に示すように測定ヘッド14を、基準軸32を中心に回転させる。距離センサ12は、単位角度毎に距離センサ12と円形孔34の内壁との間の距離rを測定する。角度エンコーダ42は、距離センサ12が初期角度から回転した角度φを測定する。距離センサ12と角度エンコーダ42によって、距離センサ12と円形孔34の内壁との間の距離rが距離センサ12の回転角φに対応付けて測定される。距離センサ12が基準軸32を中心に一周することで、下限位置A2における基準軸32に垂直な円形孔34の断面形状が特定される。特定された断面形状は、ケーブル22を通してコンピュータ20に格納される。コンピュータ20は、回転角φに対応付けて測定された距離rの極座標データ(r,φ)を、変換式x=r・cosφ、y=r・sinφを用いて、直交座標データ(x,y)に変換する。これにより、特定された円形孔34の断面形状は、下限位置A2を原点とするxy直交座標系で表現される。
図3に示すように、基準軸32が円形孔34の軸36に対して角度θ傾いていると、距離センサ12によって測定された断面形状F1は、円形孔34の軸36に垂直な断面形状F2に対して、基準軸32が傾いている方向(図3では、紙面左右方向)に拡大される。その一方、基準軸32が傾いている方向に垂直な方向(図3では、紙面前後方向)では、断面形状F1は断面形状F2に対してその寸法が維持される。即ち、図4に示すように、断面形状F1は真円である断面形状F2を基準軸32が傾いている方向に拡大した楕円形状となる。図4では、楕円形状の長径方向D1が、基準軸32が傾いている方向に相当する。また、短径方向D2が、基準軸32が傾いている方向に垂直な方向に相当する。長径方向D1と短径方向D2は直交する。断面形状F1は、円形孔34の軸36に垂直な断面形状F2に対して、基準軸32が傾いている方向(即ち、長径方向D1)に1/cosθ倍に拡大されている。なお、図3では、説明の便宜上、基準軸32の傾きを誇張して示してある。
図5は、コンピュータ20で行われる演算の流れを示すフローチャートである。コンピュータ20は、図4に示した断面形状F1の中心点Oを検出するとともに、検出した中心点Oを用いて短径の寸法Sを算出し、この短径の寸法Sを円形孔34として出力する。以下、図5を用いて、コンピュータ20で行われる演算処理を詳細に説明する。
ステップS10では、断面形状F1から中心点Oを検出する(図4参照)。
断面形状F1の中心点Oを検出する際には、断面形状F1の直交座標データ(x,y)を楕円の方程式に当てはめることによって中心点Oを検出してもよい。あるいは、測定された断面形状F1から画像処理技術を用いて中心点Oを検出してもよい。さらには、下記に説明する方法によって中心点Oを検出してもよい。
断面形状F1の中心点Oを検出する際には、断面形状F1の直交座標データ(x,y)を楕円の方程式に当てはめることによって中心点Oを検出してもよい。あるいは、測定された断面形状F1から画像処理技術を用いて中心点Oを検出してもよい。さらには、下記に説明する方法によって中心点Oを検出してもよい。
図6と図7を参照し、ステップS10において断面形状F1の中心点Oを検出する一手段を説明する。
図6に示すように、お互いに等しい傾きを持つ2本の直線P1、P2を設定する。直線P1、P2は、断面形状F1と交わる。断面形状F1と直線P1との交点をp11、p12とし、その中間点をp13とする。断面形状F1と直線P2との交点をp21、p22とし、その中間点をp23とする。すると、図6に示すように、中間点p13、p23を結ぶ直線M1は断面形状F1の中心点Oを通る。
図7に示すように、直線P1、P2と異なる傾きを持ち、かつお互いに傾きが等しい2本の直線Q1、Q2を設定する。直線Q1、Q2も、断面形状F1と交わる。断面形状F1と直線Q1との交点をq11、q12とし、その中間点をq13とする。断面形状F1と直線Q2との交点をq21、q22とし、その中間点をq23とする。すると、中間点p13、p23の場合と同様に、中間点q13、q23を結ぶ直線M2も断面形状F1の中心点Oを通る。
そのため、中間点p13、p23と、中間点q13、q23を求め、直線M1と直線M2の交わる交点を求めることで断面形状F1の中心点Oを求めることができる。
図6に示すように、お互いに等しい傾きを持つ2本の直線P1、P2を設定する。直線P1、P2は、断面形状F1と交わる。断面形状F1と直線P1との交点をp11、p12とし、その中間点をp13とする。断面形状F1と直線P2との交点をp21、p22とし、その中間点をp23とする。すると、図6に示すように、中間点p13、p23を結ぶ直線M1は断面形状F1の中心点Oを通る。
図7に示すように、直線P1、P2と異なる傾きを持ち、かつお互いに傾きが等しい2本の直線Q1、Q2を設定する。直線Q1、Q2も、断面形状F1と交わる。断面形状F1と直線Q1との交点をq11、q12とし、その中間点をq13とする。断面形状F1と直線Q2との交点をq21、q22とし、その中間点をq23とする。すると、中間点p13、p23の場合と同様に、中間点q13、q23を結ぶ直線M2も断面形状F1の中心点Oを通る。
そのため、中間点p13、p23と、中間点q13、q23を求め、直線M1と直線M2の交わる交点を求めることで断面形状F1の中心点Oを求めることができる。
次に、ステップS20では、図4に示す断面形状F1の長径方向D1を特定する。
本実施例では、測定ヘッド14の基準軸32を円形孔34の軸36に対して角度θ傾斜しており、断面形状F1は、円形孔34の軸36に垂直な断面形状F2(真円)に対して長径方向D1に1/cosθ倍に拡大している。その一方、短径方向D2には断面形状F2(真円)の寸法が維持されている。つまり、断面形状F1では、長径の寸法Lが、短径の寸法Sに対して1/cosθ倍に拡大した楕円形状となっている。断面形状F1の中心点Oを通る径は、短径から長径まで周方向において連続的に変化している。
このステップS20では、先のステップS10で検出された中心点Oを用い、断面形状F1の中心点Oを通る径を全周に亘って算出していく。そして、算出した径が最大となった方向を、断面形状F1の長径方向D1として特定する。また、その最大となった径を、断面形状F1の長径の寸法Lとして特定する。
本実施例では、測定ヘッド14の基準軸32を円形孔34の軸36に対して角度θ傾斜しており、断面形状F1は、円形孔34の軸36に垂直な断面形状F2(真円)に対して長径方向D1に1/cosθ倍に拡大している。その一方、短径方向D2には断面形状F2(真円)の寸法が維持されている。つまり、断面形状F1では、長径の寸法Lが、短径の寸法Sに対して1/cosθ倍に拡大した楕円形状となっている。断面形状F1の中心点Oを通る径は、短径から長径まで周方向において連続的に変化している。
このステップS20では、先のステップS10で検出された中心点Oを用い、断面形状F1の中心点Oを通る径を全周に亘って算出していく。そして、算出した径が最大となった方向を、断面形状F1の長径方向D1として特定する。また、その最大となった径を、断面形状F1の長径の寸法Lとして特定する。
次に、ステップS30では、ステップS10で検出した中心点OとステップS20で特定した長径方向D1を用いて、図4に示す断面形状F1の短径の寸法Sを算出する。楕円形状である断面形状F1の長径方向D1と短径方向D2は直交する。そのため、中心点Oから長径方向D1と直交する方向であり、中心点Oを通る断面形状F1の直径の寸法を計算することで、短径の寸法Sを算出することができる。
次に、ステップS40では、ステップS30で検出した短径の寸法Sを、円形孔34の内径として出力する。これによって、円形孔34の内径を得ることができる。
次に、ステップS40では、ステップS30で検出した短径の寸法Sを、円形孔34の内径として出力する。これによって、円形孔34の内径を得ることができる。
本実施例の内径測定装置10は、基準軸32上の1点における基準軸32の回りの断面形状F1を特定することで、円形孔34の内径を正しく測定することができる。複数の距離センサ12を用いる必要もなければ、基準軸32と円形孔34の軸36の傾斜角θを算出する必要もない。円形孔34の内径の測定が容易となる。また、本実施例によれば、内径測定装置10の基準軸32を円形孔34の軸36に対して意図的に傾斜させ、特定される基準軸32に垂直な断面形状F1を明確な楕円形状とすることで、円形孔34の内径を容易に、かつ正確に算出することができる。これによって、測定時間を短縮することができるとともに、測定精度を向上させることができる。
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
例えば、距離センサ12と測定対象物16を基準軸32を中心に相対回転させる場合には、測定対象物16を固定して距離センサ12を基準軸32を中心に回転させてもよければ、距離センサ12を固定して測定対象物16を基準軸32を中心に回転させてもよければ、測定対象物16と距離センサ12をお互いに基準軸32を中心に回転させることによって、測定対象物16に対して距離センサ12を相対回転させてもよい。
同様に、距離センサ12を上限位置から下限位置A2に相対移動させる場合には、測定対象物16を固定して距離センサ12を移動させてもよければ、距離センサ12を固定して測定対象物16を移動させてもよければ、測定対象物16に対して距離センサ12をお互いに移動させることによって、測定対象物16に対して距離センサ12を相対移動させてもよい。
例えば、距離センサ12と測定対象物16を基準軸32を中心に相対回転させる場合には、測定対象物16を固定して距離センサ12を基準軸32を中心に回転させてもよければ、距離センサ12を固定して測定対象物16を基準軸32を中心に回転させてもよければ、測定対象物16と距離センサ12をお互いに基準軸32を中心に回転させることによって、測定対象物16に対して距離センサ12を相対回転させてもよい。
同様に、距離センサ12を上限位置から下限位置A2に相対移動させる場合には、測定対象物16を固定して距離センサ12を移動させてもよければ、距離センサ12を固定して測定対象物16を移動させてもよければ、測定対象物16に対して距離センサ12をお互いに移動させることによって、測定対象物16に対して距離センサ12を相対移動させてもよい。
また、「下限位置A2」は測定対象物16の円形孔34の内部に限定されない。基準軸32の回りの円形孔34の断面形状F1を測定することができれば、円形孔34の外部に設定されても構わない。また、「距離センサ12」も特に限定されない。光学式の距離センサを用いてもよければ、接触式の距離センサを用いてもよい。
また、楕円形状である断面形状F1の短径の寸法Sを求める際に、中心点Oや長径方向D1を必ずしも算出する必要がない。コンピュータ20は、断面形状F1の直交座標データ(x,y)を楕円の方程式に当てはめる等の処理を用いて短径の寸法Sを直接的に算出するようにプログラムされていても構わない。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
10:内径測定装置
12:距離センサ
14:測定ヘッド
16:測定対象物
18:ステージ
20:コンピュータ
24:支柱
26:移動機構
28:可動部
30:連結軸
32:基準軸
34:円形孔
36:円形孔34の軸
38:回転機構
42:角度エンコーダ
50:窪み
A1:上限位置
A2:下限位置
F1:断面形状
F2:断面形状
D1:長径方向
D2:短径方向
L:長径の寸法
S:短径の寸法
O:中心点
12:距離センサ
14:測定ヘッド
16:測定対象物
18:ステージ
20:コンピュータ
24:支柱
26:移動機構
28:可動部
30:連結軸
32:基準軸
34:円形孔
36:円形孔34の軸
38:回転機構
42:角度エンコーダ
50:窪み
A1:上限位置
A2:下限位置
F1:断面形状
F2:断面形状
D1:長径方向
D2:短径方向
L:長径の寸法
S:短径の寸法
O:中心点
Claims (3)
- 測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する測定装置であって、
前記円形孔の内部に配置され、前記円形孔の内壁までの距離を測定する距離センサと、
前記円形孔の軸に対して角度を成す基準軸を中心に前記距離センサと前記測定対象物を相対回転させる回転手段と、
前記距離センサによって各方向で測定された距離データから、前記円形孔の前記基準軸に垂直な断面形状を特定する断面特定手段と、
断面特定手段によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出手段と、
を備える測定装置。 - 前記短径算出手段は、前記楕円形状となる断面形状の長径を特定し、特定した前記長径を用いて前記短径を算出することを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する測定方法であって、
前記円形孔の内壁までの距離を測定する距離センサを、前記円形孔の内部に配置する配置工程と、
前記円形孔の軸に対して角度を成す基準軸を中心に前記距離センサと前記測定対象物を相対回転させる回転工程と、
前記距離センサによって各方向で測定された距離データから、前記円形孔の前記基準軸に垂直な断面形状を特定する断面特定工程と、
前記断面特定工程で特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出工程と、
を備える測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008271990A JP2010101689A (ja) | 2008-10-22 | 2008-10-22 | 円形孔の内径測定装置と測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008271990A JP2010101689A (ja) | 2008-10-22 | 2008-10-22 | 円形孔の内径測定装置と測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010101689A true JP2010101689A (ja) | 2010-05-06 |
Family
ID=42292463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008271990A Pending JP2010101689A (ja) | 2008-10-22 | 2008-10-22 | 円形孔の内径測定装置と測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010101689A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011043475A (ja) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Nissan Motor Co Ltd | テーパー状座面測定装置およびその測定方法 |
KR101329107B1 (ko) | 2012-11-12 | 2013-11-15 | 대우조선해양 주식회사 | 파이프 진원도 측정장치 및 측정방법 |
KR20150006130A (ko) * | 2013-07-08 | 2015-01-16 | 대우조선해양 주식회사 | 파이프 진원도 측정장치 및 측정방법 |
JPWO2013118912A1 (ja) * | 2012-02-09 | 2015-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
KR101531294B1 (ko) * | 2013-07-05 | 2015-06-24 | 삼성중공업(주) | 배관 계측 장치 |
CN105180866A (zh) * | 2015-10-28 | 2015-12-23 | 昆山康斯特精密机械有限公司 | 第一、二代轮毂内圈自动两段式内径尺寸及圆度检测机构 |
KR101744415B1 (ko) * | 2015-11-06 | 2017-06-07 | 김진용 | 캠샤프트용 홀 어레이 검사 장치 및 방법 |
CN108507444A (zh) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 上海金艺检测技术有限公司 | 工件特殊位置內孔直径的检测装置及方法 |
CN113701696A (zh) * | 2020-05-20 | 2021-11-26 | 豪夫迈·罗氏有限公司 | 样品容器弹簧检查设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06347248A (ja) * | 1993-06-08 | 1994-12-20 | Kajima Corp | アンカー孔の内空面形状計測装置 |
JP2003194506A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Belltail:Kk | シリンダボアゲージ並びにシリンダボア計測方法 |
JP2004245778A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Y E Data Inc | レーザビーム径の測定方法 |
JP2008157635A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Daido Gakuen | 光学式測定装置及び光学式測定方法 |
-
2008
- 2008-10-22 JP JP2008271990A patent/JP2010101689A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06347248A (ja) * | 1993-06-08 | 1994-12-20 | Kajima Corp | アンカー孔の内空面形状計測装置 |
JP2003194506A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-09 | Belltail:Kk | シリンダボアゲージ並びにシリンダボア計測方法 |
JP2004245778A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Y E Data Inc | レーザビーム径の測定方法 |
JP2008157635A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Daido Gakuen | 光学式測定装置及び光学式測定方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011043475A (ja) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Nissan Motor Co Ltd | テーパー状座面測定装置およびその測定方法 |
JPWO2013118912A1 (ja) * | 2012-02-09 | 2015-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
KR101329107B1 (ko) | 2012-11-12 | 2013-11-15 | 대우조선해양 주식회사 | 파이프 진원도 측정장치 및 측정방법 |
KR101531294B1 (ko) * | 2013-07-05 | 2015-06-24 | 삼성중공업(주) | 배관 계측 장치 |
KR20150006130A (ko) * | 2013-07-08 | 2015-01-16 | 대우조선해양 주식회사 | 파이프 진원도 측정장치 및 측정방법 |
KR101971975B1 (ko) | 2013-07-08 | 2019-04-24 | 대우조선해양 주식회사 | 파이프 진원도 측정장치 및 측정방법 |
CN105180866A (zh) * | 2015-10-28 | 2015-12-23 | 昆山康斯特精密机械有限公司 | 第一、二代轮毂内圈自动两段式内径尺寸及圆度检测机构 |
KR101744415B1 (ko) * | 2015-11-06 | 2017-06-07 | 김진용 | 캠샤프트용 홀 어레이 검사 장치 및 방법 |
CN108507444A (zh) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 上海金艺检测技术有限公司 | 工件特殊位置內孔直径的检测装置及方法 |
CN113701696A (zh) * | 2020-05-20 | 2021-11-26 | 豪夫迈·罗氏有限公司 | 样品容器弹簧检查设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010101689A (ja) | 円形孔の内径測定装置と測定方法 | |
JP5014152B2 (ja) | 真円度測定装置及び先端子良否判定方法 | |
JP2009092488A (ja) | 三次元形状測定方法 | |
JP5024555B2 (ja) | ウエハのアライメント方法及び装置 | |
AU2012360750A2 (en) | Device for measuring an internal or external profile of a tubular component | |
JP5571007B2 (ja) | 球体形状測定装置 | |
JP2008286535A (ja) | 真円度測定装置、真円度測定方法、及び真円度測定プログラム | |
JP2008286709A (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP2007071852A (ja) | 深穴測定装置および深穴測定方法 | |
JP5435450B2 (ja) | 回転角度検出装置及び回転角度検出方法 | |
JP6717305B2 (ja) | エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、回転情報取得方法及び回転情報取得プログラム | |
WO2018013715A2 (en) | Methods and systems for measurement and inspection of tubular goods | |
JP2010048731A (ja) | 断面形状の測定装置と測定方法 | |
JP2010032474A (ja) | 形状測定装置、及び形状測定方法 | |
JP3682027B2 (ja) | モータコア内径測定装置及び方法 | |
JP5018591B2 (ja) | 判定基準データを作成する装置、方法、及びプログラム | |
JP2011185675A (ja) | 形状測定機の公差検出方法及び装置 | |
JP6131610B2 (ja) | 円形ワークの径測定方法 | |
JP2009300325A (ja) | 断面形状の測定装置と測定方法。 | |
JP2001091244A (ja) | 真円度測定方法および装置 | |
TWI640752B (zh) | 旋轉感測裝置及旋轉感測方法 | |
JP2010271047A (ja) | 光学式やタッチプローブ型の測定機構部及び軸体支持機構部を有する軸体測定装置及び該装置による軸体の諸元及び精度の測定方法 | |
JP2015219154A (ja) | 寸法測定装置 | |
KR101366413B1 (ko) | 파이프 조정관 형상 측정을 위한 포터블 다관절 계측장치 | |
WO2020232041A1 (en) | On-machine thread inspection apparatus and method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20121002 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20121009 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20130219 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |