JP2004245778A - レーザビーム径の測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザビームを斜に照射した場合でもレーザビーム径を楽に測定できる方法を提供する。
【解決手段】レーザビーム２をワーク配置面Ａに斜めに照射するレーザ光源１から照射されたレーザビーム２の投射位置にワーク配置面Ａ上に設けた不透明又は半透明の蛍光板４を設置し、前記蛍光板４の表面又は裏面に現れた前記レーザビーム２の径をＣＣＤカメラ３で撮像し、前記ＣＣＤカメラ３で撮像したデジタル画像は画像処理装置５により画像処理をしてレーザビーム２の径を測定する。
【選択図】 図２
【解決手段】レーザビーム２をワーク配置面Ａに斜めに照射するレーザ光源１から照射されたレーザビーム２の投射位置にワーク配置面Ａ上に設けた不透明又は半透明の蛍光板４を設置し、前記蛍光板４の表面又は裏面に現れた前記レーザビーム２の径をＣＣＤカメラ３で撮像し、前記ＣＣＤカメラ３で撮像したデジタル画像は画像処理装置５により画像処理をしてレーザビーム２の径を測定する。
【選択図】 図２
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザビームを用いた露光装置や、バーコード又は、２次元コードの検出装置など、レーザビームを用いた装置における精度や解像度の重要なファクターであるレーザビーム径の測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
レーザビームを用いた装置は、一般に図１の（ａ）に示すように、ワーク配置面Ａにレーザビーム２をレーザ光源１から垂直に照射するようにしている。
【０００３】
そして、ワークの内容に応じて、レーザビーム２の径を調節する必要があるが、その調節方法はレーザビーム２の光軸に垂直にＣＣＤカメラ３を置き、そのＣＣＤカメラ３でレーザビーム２を受け画像処理装置（図示せず）によりそのレーザビームの径を測定し、レーザビーム径の調節を行うようにしている。
【０００４】
ところが、レーザビーム２を図１の（ｂ）のようにワークに斜に照射する装置の場合は、前述の従来のレーザビーム径の測定方法では、レーザビーム２とＣＣＤカメラ３の光軸を一致させることは非常に困難であるため測定ができず、その解決方法が望まれていた（非特許文献１参照。）。
【０００５】
【非特許文献１】
秋葉稔光著，「レーザ技術読本」，初版，日刊工業新聞社，昭和６０年１０月２１日，ｐ．１５９−１９６
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、レーザビームを斜に照射した場合でもレーザビーム径を楽に測定できる方法を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、レーザビーム投射位置に不透明又は半透明蛍光板を設置し、前記蛍光板の表面又は裏面に現れたレーザビーム径をＣＣＤカメラで撮像して、画像処理装置によりレーザビーム径を測定することを特徴とするレーザビーム径の測定方法である。
【０００８】
しかして、ＣＣＤカメラを設ける位置は、蛍光板が半透明の場合は蛍光板の上側でも下側でもよく、蛍光板が不透明の場合は上側、即ち、レーザ光源側に設ける。
【０００９】
半透明の蛍光板を用いる場合は、蛍光板をＣＣＤカメラに支持部材で固定したものとすると、使い勝手が良い。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図２は本発明の実施態様を示すもので、１はレーザビーム２をワーク配置面Ａに斜めに照射するレーザ光源、３はワーク配置面Ａの下方に光軸を垂直にして設けたＣＣＤカメラ、４はワーク配置面Ａ上に設けた蛍光板で、実施例ではレーザ波長に対して発光のピークが出る様に活性元素を調合して成る（株）住田光学ガラス製の蛍光ガラス板を使用したが、半透明のアクリル板製蛍光板でも良い。
【００１１】
ＣＣＤカメラ３で撮像したデジタル画像は画像処理装置５で画像処理され、長径と短径が共に計算され数値で表示される。なお、ディスプレイ６を設けて方眼目盛と共に画像を表示する場合もある。
【００１２】
ディスプレイ６上に表示される画像は、蛍光ガラス板４に現れるレーザビーム２の楕円画像が方眼目盛と共に拡大表示されるので、その長径及び短径を測定し得るので、レーザビーム２の太さをワークの内容に適合した大きさに容易に調整することが可能となる。
【００１３】
以上の実施例は、半透明ガラス板４の下面に見えるレーザビーム２の断面形状をＣＣＤカメラ３で計測するものであるが、点線図示のうようにＣＣＤカメラを配置しても同様にレーザビーム２の径を計測し得ることは自明である。
【００１４】
又、前記の実施例では蛍光板４をワーク配置面Ａ状に置きＣＣＤカメラ３でレーザビーム２の径を測定するようにしたが、ＣＣＤカメラ３に支持部材７を介して半透明蛍光板４を固定したものとすれば、半透明蛍光板４の位置がワーク配置面Ａに一致しない場合でもレーザビーム２の径の測定は可能であるから、測定作業、特にＣＣＤカメラの配置が非常に楽になり、使い勝手が良くなる。
【００１５】
【発明の効果】
本発明によればレーザビーム２をワークに斜めに照射する装置の場合でも容易にレーザビーム２の径の測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のレーザビーム径の測定方法の説明図。
【図２】本発明の実施例のブロック図。
【符号の説明】
１ レーザ光源
２ レーザビーム
３ ＣＣＤカメラ
４ 蛍光板
５ 画像処理装置
６ ディスプレイ
７ 支持部材
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザビームを用いた露光装置や、バーコード又は、２次元コードの検出装置など、レーザビームを用いた装置における精度や解像度の重要なファクターであるレーザビーム径の測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
レーザビームを用いた装置は、一般に図１の（ａ）に示すように、ワーク配置面Ａにレーザビーム２をレーザ光源１から垂直に照射するようにしている。
【０００３】
そして、ワークの内容に応じて、レーザビーム２の径を調節する必要があるが、その調節方法はレーザビーム２の光軸に垂直にＣＣＤカメラ３を置き、そのＣＣＤカメラ３でレーザビーム２を受け画像処理装置（図示せず）によりそのレーザビームの径を測定し、レーザビーム径の調節を行うようにしている。
【０００４】
ところが、レーザビーム２を図１の（ｂ）のようにワークに斜に照射する装置の場合は、前述の従来のレーザビーム径の測定方法では、レーザビーム２とＣＣＤカメラ３の光軸を一致させることは非常に困難であるため測定ができず、その解決方法が望まれていた（非特許文献１参照。）。
【０００５】
【非特許文献１】
秋葉稔光著，「レーザ技術読本」，初版，日刊工業新聞社，昭和６０年１０月２１日，ｐ．１５９−１９６
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、レーザビームを斜に照射した場合でもレーザビーム径を楽に測定できる方法を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、レーザビーム投射位置に不透明又は半透明蛍光板を設置し、前記蛍光板の表面又は裏面に現れたレーザビーム径をＣＣＤカメラで撮像して、画像処理装置によりレーザビーム径を測定することを特徴とするレーザビーム径の測定方法である。
【０００８】
しかして、ＣＣＤカメラを設ける位置は、蛍光板が半透明の場合は蛍光板の上側でも下側でもよく、蛍光板が不透明の場合は上側、即ち、レーザ光源側に設ける。
【０００９】
半透明の蛍光板を用いる場合は、蛍光板をＣＣＤカメラに支持部材で固定したものとすると、使い勝手が良い。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図２は本発明の実施態様を示すもので、１はレーザビーム２をワーク配置面Ａに斜めに照射するレーザ光源、３はワーク配置面Ａの下方に光軸を垂直にして設けたＣＣＤカメラ、４はワーク配置面Ａ上に設けた蛍光板で、実施例ではレーザ波長に対して発光のピークが出る様に活性元素を調合して成る（株）住田光学ガラス製の蛍光ガラス板を使用したが、半透明のアクリル板製蛍光板でも良い。
【００１１】
ＣＣＤカメラ３で撮像したデジタル画像は画像処理装置５で画像処理され、長径と短径が共に計算され数値で表示される。なお、ディスプレイ６を設けて方眼目盛と共に画像を表示する場合もある。
【００１２】
ディスプレイ６上に表示される画像は、蛍光ガラス板４に現れるレーザビーム２の楕円画像が方眼目盛と共に拡大表示されるので、その長径及び短径を測定し得るので、レーザビーム２の太さをワークの内容に適合した大きさに容易に調整することが可能となる。
【００１３】
以上の実施例は、半透明ガラス板４の下面に見えるレーザビーム２の断面形状をＣＣＤカメラ３で計測するものであるが、点線図示のうようにＣＣＤカメラを配置しても同様にレーザビーム２の径を計測し得ることは自明である。
【００１４】
又、前記の実施例では蛍光板４をワーク配置面Ａ状に置きＣＣＤカメラ３でレーザビーム２の径を測定するようにしたが、ＣＣＤカメラ３に支持部材７を介して半透明蛍光板４を固定したものとすれば、半透明蛍光板４の位置がワーク配置面Ａに一致しない場合でもレーザビーム２の径の測定は可能であるから、測定作業、特にＣＣＤカメラの配置が非常に楽になり、使い勝手が良くなる。
【００１５】
【発明の効果】
本発明によればレーザビーム２をワークに斜めに照射する装置の場合でも容易にレーザビーム２の径の測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のレーザビーム径の測定方法の説明図。
【図２】本発明の実施例のブロック図。
【符号の説明】
１ レーザ光源
２ レーザビーム
３ ＣＣＤカメラ
４ 蛍光板
５ 画像処理装置
６ ディスプレイ
７ 支持部材
Claims (2)
- レーザビーム投射位置に不透明又は半透明蛍光板を設置し、前記蛍光板の表面又は裏面に現れたレーザビーム径をＣＣＤカメラで撮像して、画像処理装置によりレーザビーム径を測定することを特徴とするレーザビーム径の測定方法。
- ＣＣＤカメラに支持部材で蛍光板を取付けたことを特徴とする請求項１記載のレーザビーム径の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003038151A JP2004245778A (ja) | 2003-02-17 | 2003-02-17 | レーザビーム径の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003038151A JP2004245778A (ja) | 2003-02-17 | 2003-02-17 | レーザビーム径の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004245778A true JP2004245778A (ja) | 2004-09-02 |
Family
ID=33022754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003038151A Pending JP2004245778A (ja) | 2003-02-17 | 2003-02-17 | レーザビーム径の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004245778A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010101689A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Toyota Motor Corp | 円形孔の内径測定装置と測定方法 |
| ES2401627R1 (es) * | 2011-10-06 | 2013-11-27 | Univ Huelva | Dispositivo de deteccion de particulas de alta energia |
| DE112017007786T5 (de) | 2017-07-27 | 2020-05-14 | Canare Electric Co., Ltd. | Laserstrahlprofil-Messvorrichtung |
-
2003
- 2003-02-17 JP JP2003038151A patent/JP2004245778A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010101689A (ja) * | 2008-10-22 | 2010-05-06 | Toyota Motor Corp | 円形孔の内径測定装置と測定方法 |
| ES2401627R1 (es) * | 2011-10-06 | 2013-11-27 | Univ Huelva | Dispositivo de deteccion de particulas de alta energia |
| DE112017007786T5 (de) | 2017-07-27 | 2020-05-14 | Canare Electric Co., Ltd. | Laserstrahlprofil-Messvorrichtung |
| US11067438B2 (en) | 2017-07-27 | 2021-07-20 | Canare Electric Co., Ltd. | Laser beam profile measurement device |
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