JP5571007B2 - 球体形状測定装置 - Google Patents
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Description
回転テーブルと、
該回転テーブルと平行な面上での被検球体輪郭を、回転テーブルの回転に伴い測定するプローブと、
前記回転テーブル上に載置され、被検球体を保持する被検球体保持手段と、を備え、
前記被検球体保持手段は、被検球体の中心を前記回転テーブルの回転軸上に位置させ、かつ該被検球体を前記回転テーブル面に対して、正弦が1/√3となる角度を中心として±5度の範囲で傾けた傾斜軸線上で回転可能に保持することを特徴とする。
また、本発明において、被検球体を傾斜軸線上で120度ずつ回転させ被検球体赤道面上での輪郭測定を行うことで、被検球体の直交する2ないし3赤道面での輪郭測定を行うことが可能となり、簡易に真球度測定を行うことができる。
図1は本発明にかかる球体形状測定装置10の概略図が示されている。
同図に示す測定装置10は、真円度測定機をベースにしており、基台12上に回転可能に設置された回転テーブル14と、前記基台12上に立設した支柱16と、該支柱16に上下動自在に設置されたスライダ18と、スライダ18に対して進退自在に保持されたクランク状アーム20と、該アーム20先端に設けられたプローブ22とを備える。
そして、前記回転テーブル14上に、本発明において特徴的な被検球体保持手段24が載置されている。
同図に示すように、被検球体保持手段24は、回転テーブル14に設置される設置台26と、該設置台26に設けられた回転部27と、該回転部27より斜め上方に伸張する回転アーム28を備え、該回転アーム28の先端に被検球体30が設置される。前記回転アーム28のテーブル14に対する角度は、正弦が1/√3となる角度、すなわち約35.3度としている。
本実施形態において、被検球体30の中心点32を原点としてXYZ座標系が仮想的に設定しており、さらに回転アーム28の傾斜回転軸34も前記中心点32を通るように設定されている。
そして、前記XYZ座標系のZ軸は回転テーブル14の回転中心36を通る。
本実施形態において、前記被検球体保持手段24は回転テーブル14より取り外し可能になっており、まず、被検球体保持手段24に被検球体30を設置し、これを回転テーブル14に載置する。
そして、プローブ22の操作により、図2に示す状態で、プローブ22の先端38を被検球体30の最大径部分(球体30の中心位置高さ)に位置させるとともに、該被検球体30の中心を回転テーブル14の垂直回転軸線上に配置させる。この最大径部分はXY平面での被検球体30の赤道平面に相当し、この状態で回転テーブル14を回転させると、プローブ22によりXY平面での輪郭が測定されることになる。
そして、この状態で回転テーブル14を回転させるとZX平面での輪郭が測定されることとなる。
以上の操作により、被検球体30は、それぞれ直交するXY平面、ZX平面、YZ平面で輪郭測定することができ、真球度の測定が行われたことになる。
これらのXY平面、ZX平面、YZ平面は、被検球体30に対しそれぞれ直交する赤道平面であるから、これら各面上で輪郭測定することで、「互いに直交する3赤道平面上で被検球体30の輪郭を測定した」こととなるのである。
以上の内容を数式によって説明する。
さらに、傾斜軸の角度、傾斜軸線上での回転角度を任意に変更することにより、必ずしも直交しない任意の断面形状を測定することも可能である。
14 回転テーブル
24 被検球体保持手段
28 回転アーム
30 被検球体
34 傾斜回転軸
Claims (2)
- 回転テーブルと、
該回転テーブルと平行な赤道面上での被検球体輪郭を、回転テーブルの回転に伴い測定するプローブと、
前記回転テーブル上に載置され、被検球体を保持する被検球体保持手段と、を備え、
前記被検球体保持手段は、被検球体の中心を前記回転テーブルの回転軸上に位置させ、かつ該被検球体を前記回転テーブル面に対して、正弦が1/√3となる角度を中心として±5度の範囲で傾けた傾斜軸線上で回転可能に保持することを特徴とする球体形状測定装置。 - 請求項1記載の装置において、前記被検球体保持手段は、被検球体を傾斜軸線上で120度ずつ回転させ、各回転位置での被検球体赤道面上での輪郭測定を行い、被検球体の真球度を測定することを特徴とする球体形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011009524A JP5571007B2 (ja) | 2010-01-20 | 2011-01-20 | 球体形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010009805 | 2010-01-20 | ||
JP2010009805 | 2010-01-20 | ||
JP2010182096 | 2010-08-17 | ||
JP2010182096 | 2010-08-17 | ||
JP2011009524A JP5571007B2 (ja) | 2010-01-20 | 2011-01-20 | 球体形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012063338A JP2012063338A (ja) | 2012-03-29 |
JP5571007B2 true JP5571007B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=43755112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011009524A Active JP5571007B2 (ja) | 2010-01-20 | 2011-01-20 | 球体形状測定装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8356417B2 (ja) |
EP (1) | EP2357455B1 (ja) |
JP (1) | JP5571007B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4968600B1 (ja) * | 2011-01-13 | 2012-07-04 | 株式会社東京精密 | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 |
EP2747648B1 (en) * | 2011-10-17 | 2015-01-07 | Koninklijke Philips N.V. | A device for monitoring a user and a method for calibrating the device |
JP6126359B2 (ja) * | 2012-11-15 | 2017-05-10 | 株式会社ミツトヨ | 球体形状測定装置 |
TWI504476B (zh) * | 2013-01-16 | 2015-10-21 | Tongtai Machine & Tool Co Ltd | 加工機旋轉中心的檢知方法 |
NL2010667C2 (en) * | 2013-04-19 | 2014-10-21 | Holding Prodim Systems B V | A method of determining a target spatial coordinate using an apparatus comprising a movable hand-held probe and a portable base unit, and a related apparatus. |
JP6448242B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2019-01-09 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の測定誤差の補正方法及び形状測定装置 |
JP6519784B2 (ja) * | 2015-05-11 | 2019-05-29 | 株式会社東京精密 | 真円度測定装置及びその測定対象物固定治具 |
JP6518146B2 (ja) * | 2015-06-29 | 2019-05-22 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の原点ゲージ |
CN110186405B (zh) * | 2019-05-30 | 2021-02-02 | 华中科技大学无锡研究院 | 叶片截面接触式扫描探针测球三维半径补偿及交叉补偿点纠正方法 |
CN113251888A (zh) * | 2021-05-12 | 2021-08-13 | 常熟建华模具科技股份有限公司 | 玻璃模具外圆检测装置及其检测玻璃模具外圆的方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3125811A (en) * | 1964-03-24 | Machine for measuring roundness | ||
US2785474A (en) * | 1953-10-21 | 1957-03-19 | Mages Sporting Goods Co | Precision spherical surface gauge |
DE2940633C2 (de) * | 1979-10-06 | 1986-01-02 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Verfahren zur Bestimmung der Drehachse eines Rundtisches in Mehrkoordinaten-Meßgeräten |
US4414748A (en) * | 1982-02-16 | 1983-11-15 | The Unites States Of America As Represented By The Department Of Energy | Ball mounting fixture for a roundness gage |
DE3719838A1 (de) * | 1987-06-13 | 1988-12-22 | Daimler Benz Ag | Formverkoerperung zur genauigkeitsueberpruefung von koordinatenmessgeraeten |
US5359784A (en) * | 1991-05-02 | 1994-11-01 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Method of centering in roundness measuring instrument and system therefor |
GB2294327A (en) * | 1994-10-18 | 1996-04-24 | Rank Taylor Hobson Ltd | Roundness measuring |
GB9612383D0 (en) * | 1995-12-07 | 1996-08-14 | Rank Taylor Hobson Ltd | Surface form measurement |
JP2000292138A (ja) | 1999-04-06 | 2000-10-20 | Nok Corp | 真球度測定装置及び真球度測定方法 |
US6314655B1 (en) * | 1999-12-02 | 2001-11-13 | United States Golf Association | Automatic ball sizing device |
US6546640B2 (en) * | 2000-01-18 | 2003-04-15 | Mitutoyo Corporation | Traverse linearity compensation method and rotational accuracy compensation method of measuring device |
JP4163545B2 (ja) * | 2003-04-11 | 2008-10-08 | 株式会社ミツトヨ | 真円度測定機用基準治具 |
JP2005037353A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-02-10 | Mitsutoyo Corp | 幅測定方法および表面性状測定機 |
US7036238B2 (en) * | 2003-12-22 | 2006-05-02 | Mitutoyo Corporation | Width-measuring method and surface texture measuring instrument |
JP2006125924A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度/円柱形状測定装置 |
DE102005008055B4 (de) * | 2005-02-22 | 2009-01-02 | Deckel Maho Pfronten Gmbh | Verfahren zum Vermessen einer programmgesteuerten Werkzeugmaschine |
GB0525306D0 (en) * | 2005-12-13 | 2006-01-18 | Renishaw Plc | Method of machine tool calibration |
JP4480769B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2010-06-16 | パナソニック株式会社 | 形状測定方法 |
DE102008028986A1 (de) * | 2008-06-20 | 2009-12-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Halteeinrichtung zum Halten eines Kalibrierkörpers und Verfahren zum Kalibrieren eines Messsensors eines Koordinatenmessgeräts |
JP4958078B2 (ja) | 2008-06-25 | 2012-06-20 | 日本電気硝子株式会社 | プラズマディスプレイパネル用材料、プラズマディスプレイパネル用背面ガラス基板の製造方法及びその方法で製造されてなるプラズマディスプレイパネル用背面ガラス基板。 |
JP5453825B2 (ja) | 2009-02-05 | 2014-03-26 | 日本電気株式会社 | プログラム並列実行システム、マルチコアプロセッサ上のプログラム並列実行方法 |
-
2011
- 2011-01-19 EP EP11151453.5A patent/EP2357455B1/en active Active
- 2011-01-19 US US13/009,227 patent/US8356417B2/en active Active
- 2011-01-20 JP JP2011009524A patent/JP5571007B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8356417B2 (en) | 2013-01-22 |
JP2012063338A (ja) | 2012-03-29 |
US20110173830A1 (en) | 2011-07-21 |
EP2357455A1 (en) | 2011-08-17 |
EP2357455B1 (en) | 2017-07-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131203 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140606 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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