JP2010098298A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010098298A5 JP2010098298A5 JP2009209150A JP2009209150A JP2010098298A5 JP 2010098298 A5 JP2010098298 A5 JP 2010098298A5 JP 2009209150 A JP2009209150 A JP 2009209150A JP 2009209150 A JP2009209150 A JP 2009209150A JP 2010098298 A5 JP2010098298 A5 JP 2010098298A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screen
- substrate processing
- processing apparatus
- control unit
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009209150A JP5522776B2 (ja) | 2008-09-18 | 2009-09-10 | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及びメンテナンス方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008238826 | 2008-09-18 | ||
| JP2008238826 | 2008-09-18 | ||
| JP2009209150A JP5522776B2 (ja) | 2008-09-18 | 2009-09-10 | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及びメンテナンス方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010098298A JP2010098298A (ja) | 2010-04-30 |
| JP2010098298A5 true JP2010098298A5 (enExample) | 2012-10-18 |
| JP5522776B2 JP5522776B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=42039346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009209150A Active JP5522776B2 (ja) | 2008-09-18 | 2009-09-10 | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及びメンテナンス方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5522776B2 (enExample) |
| WO (1) | WO2010032499A1 (enExample) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5841336B2 (ja) * | 2011-02-08 | 2016-01-13 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および情報管理方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08161007A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-21 | Canon Inc | 制御装置 |
| JP3954124B2 (ja) * | 1996-02-21 | 2007-08-08 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置 |
| JP4024888B2 (ja) * | 1996-10-17 | 2007-12-19 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置の制御装置 |
| JP4355193B2 (ja) * | 2003-11-10 | 2009-10-28 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体デバイスの製造方法及び半導体デバイス製造システム |
| JP4513102B2 (ja) * | 2006-02-06 | 2010-07-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置における処理器具の交換方法及び交換用プログラム |
| JP2007329345A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| JP4616798B2 (ja) * | 2006-06-12 | 2011-01-19 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び基板処理装置の表示方法 |
| JP5142353B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2013-02-13 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、基板処理装置の異常検出方法、基板処理システム、基板処理装置の異常検出プログラム及び半導体装置の製造方法 |
| JP2008147631A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-26 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| JP4447618B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2010-04-07 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置 |
-
2009
- 2009-03-05 WO PCT/JP2009/054141 patent/WO2010032499A1/ja not_active Ceased
- 2009-09-10 JP JP2009209150A patent/JP5522776B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2012232363A5 (ja) | ロボット制御システム及びロボットシステム | |
| EP2437649A4 (en) | IMAGE PROCESSING APPARATUS, ITS CONTROL METHOD AND COMPUTER PROGRAM | |
| WO2010122894A3 (en) | Imaging apparatus and imaging system, method thereof and program for the same | |
| PH12012000296A1 (en) | Information processing system, image processing apparatus, user device, control method, and storage medium | |
| EP2610841A3 (en) | Image processing apparatus, upgrade apparatus, display system including the same, and control method thereof | |
| JP2011054044A5 (enExample) | ||
| JP2008278362A5 (enExample) | ||
| JP2011041016A5 (enExample) | ||
| JP2013042229A5 (enExample) | ||
| JP2015153027A5 (enExample) | ||
| JP2012027901A5 (ja) | 画像処理装置、その制御方法及びプログラム | |
| JP2015172929A5 (enExample) | ||
| JP2016040905A5 (enExample) | ||
| GB2537855A8 (en) | Controlling transitions of devices between normal state and quiescent state | |
| JP2013183352A5 (enExample) | ||
| JP2015119540A5 (ja) | 電力制御システム、電力制御装置、電力制御方法及びプログラム | |
| EP2551764A3 (en) | Display controller, display control method and program | |
| JP2014116801A5 (ja) | 通信装置及びその制御方法とプログラム | |
| JP2013115487A5 (enExample) | ||
| JP2010257342A5 (enExample) | ||
| JP2010098298A5 (enExample) | ||
| JP2010039913A5 (enExample) | ||
| JP2005057738A5 (enExample) | ||
| JP2015072671A5 (enExample) | ||
| JP2011030216A5 (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法 |