JP2010098298A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2010098298A5
JP2010098298A5 JP2009209150A JP2009209150A JP2010098298A5 JP 2010098298 A5 JP2010098298 A5 JP 2010098298A5 JP 2009209150 A JP2009209150 A JP 2009209150A JP 2009209150 A JP2009209150 A JP 2009209150A JP 2010098298 A5 JP2010098298 A5 JP 2010098298A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
screen
substrate processing
processing apparatus
control unit
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009209150A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2010098298A (ja
JP5522776B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2009209150A priority Critical patent/JP5522776B2/ja
Priority claimed from JP2009209150A external-priority patent/JP5522776B2/ja
Publication of JP2010098298A publication Critical patent/JP2010098298A/ja
Publication of JP2010098298A5 publication Critical patent/JP2010098298A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5522776B2 publication Critical patent/JP5522776B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2009209150A 2008-09-18 2009-09-10 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及びメンテナンス方法 Active JP5522776B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009209150A JP5522776B2 (ja) 2008-09-18 2009-09-10 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及びメンテナンス方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008238826 2008-09-18
JP2008238826 2008-09-18
JP2009209150A JP5522776B2 (ja) 2008-09-18 2009-09-10 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及びメンテナンス方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2010098298A JP2010098298A (ja) 2010-04-30
JP2010098298A5 true JP2010098298A5 (enExample) 2012-10-18
JP5522776B2 JP5522776B2 (ja) 2014-06-18

Family

ID=42039346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009209150A Active JP5522776B2 (ja) 2008-09-18 2009-09-10 基板処理装置、基板処理装置の制御方法及びメンテナンス方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5522776B2 (enExample)
WO (1) WO2010032499A1 (enExample)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5841336B2 (ja) * 2011-02-08 2016-01-13 株式会社Screenホールディングス 基板処理装置および情報管理方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08161007A (ja) * 1994-12-09 1996-06-21 Canon Inc 制御装置
JP3954124B2 (ja) * 1996-02-21 2007-08-08 株式会社日立国際電気 半導体製造装置
JP4024888B2 (ja) * 1996-10-17 2007-12-19 株式会社日立国際電気 半導体製造装置の制御装置
JP4355193B2 (ja) * 2003-11-10 2009-10-28 株式会社ルネサステクノロジ 半導体デバイスの製造方法及び半導体デバイス製造システム
JP4513102B2 (ja) * 2006-02-06 2010-07-28 東京エレクトロン株式会社 処理装置における処理器具の交換方法及び交換用プログラム
JP2007329345A (ja) * 2006-06-08 2007-12-20 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP4616798B2 (ja) * 2006-06-12 2011-01-19 株式会社日立国際電気 基板処理装置及び基板処理装置の表示方法
JP5142353B2 (ja) * 2006-09-29 2013-02-13 株式会社日立国際電気 基板処理装置、基板処理装置の異常検出方法、基板処理システム、基板処理装置の異常検出プログラム及び半導体装置の製造方法
JP2008147631A (ja) * 2006-11-17 2008-06-26 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP4447618B2 (ja) * 2007-03-16 2010-04-07 株式会社日立国際電気 半導体製造装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012232363A5 (ja) ロボット制御システム及びロボットシステム
EP2437649A4 (en) IMAGE PROCESSING APPARATUS, ITS CONTROL METHOD AND COMPUTER PROGRAM
WO2010122894A3 (en) Imaging apparatus and imaging system, method thereof and program for the same
PH12012000296A1 (en) Information processing system, image processing apparatus, user device, control method, and storage medium
EP2610841A3 (en) Image processing apparatus, upgrade apparatus, display system including the same, and control method thereof
JP2011054044A5 (enExample)
JP2008278362A5 (enExample)
JP2011041016A5 (enExample)
JP2013042229A5 (enExample)
JP2015153027A5 (enExample)
JP2012027901A5 (ja) 画像処理装置、その制御方法及びプログラム
JP2015172929A5 (enExample)
JP2016040905A5 (enExample)
GB2537855A8 (en) Controlling transitions of devices between normal state and quiescent state
JP2013183352A5 (enExample)
JP2015119540A5 (ja) 電力制御システム、電力制御装置、電力制御方法及びプログラム
EP2551764A3 (en) Display controller, display control method and program
JP2014116801A5 (ja) 通信装置及びその制御方法とプログラム
JP2013115487A5 (enExample)
JP2010257342A5 (enExample)
JP2010098298A5 (enExample)
JP2010039913A5 (enExample)
JP2005057738A5 (enExample)
JP2015072671A5 (enExample)
JP2011030216A5 (ja) 画像処理装置及び画像処理方法