JP4024888B2 - 半導体製造装置の制御装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置の性能データを測定する測定器を有する半導体製造装置の制御装置に係り、特にSEMI(半導体製造装置及び材料に関する国際規格)のE−10(装置の信頼性、利用性、整備性の定義と測定におけるガイドライン)に基づく装置の性能を示す指標を自動的に出力できる半導体製造装置の制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造装置には、生産開始と、その終了と、故障発生等とを報告する機構が設けられており、制御装置がこの報告を受信して、記録している。
また、制御装置には、時刻を記録するために、タイマが設けられており、生産開始時刻、生産終了時刻、故障発生時刻等を記録して、ディスプレイ等に出力している。
ここで、生産時間とは、装置が測定されている時間(総時間)から装置が故障のために停止している時間の合計を差し引いたものであり、装置サイクルとは、ウエハのロードの有無に関わらず製造装置システム又はサブシステムの加工、製造及びテスト段階を含めた完全な稼働シーケンスをいう。
【0003】
一方、SEMIのE−10では、半導体製造装置の装置性能を示す指標として、平均故障間隔内生産時間(MTBF)と、平均故障間隔内装置サイクル(MCBF)と、平均修理時間(MTTR)と、平均修理オフライン時間(MTOL)と、装置稼働利用性と、装置総合利用性とを定めている。
ここで、MTBFとは、生産時間を故障回数で割ったものであり、MCBFとは、装置サイクルを故障回数で割ったものであり、MTTRとは、全修理時間を故障回数で割ったものであり、MTOLとは、装置ダウンタイムの総和をダウンタイム発生回数で割ったものであり、装置稼働利用性とは、稼働時間に対する生産時間の比を百分率で表したものであり、装置総合利用性とは、総時間に対する生産時間の比を百分率で表したものである。
【0004】
従来の半導体製造装置の制御装置について図面を参照しながら説明する。
従来の半導体製造装置の制御装置は、図14に示すように複数の半導体製造装置をLAN(Local Area Network)を介して制御するようなものである。図14は、従来の半導体製造システムの概略を表す説明図である。
従来の半導体製造システムは、ユーザからの入力を受け付けて半導体製造装置を制御する情報をLANに出力し、LANを介して受信した半導体製造装置の測定情報をディスプレイ等に表示する制御装置1′と、半導体製造装置から測定情報を受信してLANを介して制御装置1′に送信し、また、LANを介して制御装置1′から受信した制御情報を半導体製造装置に送信するターミナルサーバである装置制御部2とから構成されている。
【0005】
従来は、ユーザが制御装置1′のディスプレイに出力される測定情報をもとにして、MTBF等の値を計算によって求めていた。例えば、MTBFの計算では、ディスプレイ表示されている生産時間を別に記録された故障回数でわり算して求めていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の半導体製造装置の制御装置では、SEMIのE−10に示された指標を自動的に計算することができず、記録の誤り等による計算の誤りが起こりやすいという問題点があった。
【0007】
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、自動的にSEMIのE−10に示された指標を計算することができる半導体製造装置の制御装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、半導体製造装置の制御装置において、日時を計時するタイマ管理部と、複数の半導体製造装置から送信される装置の情報に基づいて、1日ごとに、前記タイマ管理部から入力される日時を利用して、生産時間と、全修理時間と、装置ダウンタイムの総和とを計時し、故障回数と、ダウンタイムの発生回数と、完全な稼働シーケンスが行われた回数である装置サイクルの回数とをカウントする装置データ収集部と、前記計時された時間と、カウントされた回数とを格納する装置データ・入力データ格納メモリと、前記装置データ・入力データ格納メモリに格納されている情報を用いて、半導体製造装置及び材料に関する国際規格の装置の信頼性、利用性、整備性の定義と測定におけるガイドラインに掲げられた各数値を計算によって求める画面制御部と、を有することを特徴としている。
また、本発明は、上記制御装置において、計算される数値は、生産時間を故障回数で割ったMTBF、装置サイクルを故障回数で割ったMCBF、全修理時間を故障回数で割ったMTTR、装置ダウンタイムの総和をダウンタイム発生回数で割ったMTOLの内の少なくとも1つを含むことを特徴としている。
また、本発明は、上記制御装置において、画面表示・入力部を有し、計算によって求められる数値を画面に表示することを特徴としている。
また、本発明は、半導体製造装置において、上記制御装置のデータ収集部に装置の情報を送信することを特徴としている。
また、本発明は、半導体製造システムにおいて、上記制御装置と、該制御装置のデータ収集部に装置の情報を送信する複数の半導体製造装置とで構成されることを特徴としている。
また、本発明は、半導体製造装置の装置性能の計算方法において、複数の半導体製造装置から送信される装置の情報に基づいて、1日ごとに、生産時間と、全修理時間と、装置ダウンタイムの総和とを計時し、故障回数と、ダウンタイムの発生回数と、完全な稼働シーケンスが行われた回数である装置サイクルの回数とをカウントし、前記計時された時間と、カウントされた回数とに基づいて、半導体製造装置及び材料に関する国際規格の装置の信頼性、利用性、整備性の定義と測定におけるガイドラインに掲げられた各数値を計算によって求めることを特徴としている。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
本発明に係る半導体製造装置の制御装置(本装置)は、従来の半導体製造装置の制御装置に置き換えられ、受信した測定情報を記録し、それをもとにしてSEMIのE−10に示された指標を自動的に計算するものである。
本装置を図1を使って説明する。図1は本装置の構成ブロック図である。
【0010】
本装置は、図1に示すように、装置データ収集部11と、システム管理部12と、共有メモリ13と、画面制御部14と、画面表示・入力部15と、タイマ管理部16と、装置通信部17と、メモリ18と、装置データ・入力データ格納メモリ19とから構成されている。
また、本実施の形態に係る制御装置1は、タッチパネルのような、キーパッドとディスプレイ装置を備えたスクリーン4と、LANを介して、装置制御部2と接続されており、さらに、装置制御部2は複数の半導体製造装置3に接続されている。
【0011】
以下の説明において、ダウンタイムとは、製造装置が計画された機能を果たせない状態にある時間のことであり、レシピとは、製品となる材料(シリコンウエハ等)の処理条件のことである。
また、装置モードとは、初期状態に復帰する状態を示す「RESET」と、生産準備状態に移行する状態を示す「GO_STANDBY」と、生産準備状態にあることを示す「STANDBY」と、生産状態にあることを示す「RUN」と、生産終了状態に移行する状態を示す「GO_END」と、生産終了状態を示す「END」と、故障等人の介入を必要とする状態を示す「MANUAL」と、生産の一時停止等生産準備状態にあることを示す「IDOL」と、装置の電源が切れている等装置がダウン状態にあることを示す「装置ダウン」のどれかの状態をいう。
【0012】
装置ステートとは、半導体製造装置が「生産時間」か、「エンジニアリング時間」か、「準備時間」か、「非計画時間」かを示すものである。
そして、「ステート更新処理」とは、最新ステートの入力を受けて、装置データ及び入力データ格納メモリ19の「制御レコード」の最新ステートに入力された最新ステートを、最新ステート変化日時に現在の日時をそれぞれ格納し、メモリ18の「最新装置データ」の最新装置ステートにも入力された最新ステートを格納する処理を示すものである。
そして、「計時処理」とは、装置データ及び入力データ格納メモリ19の「制御レコード」の最新ステート変化日時を参照し、現在の日時との差を求めて、「データレコード」の該当するステートの合計時間に加算して格納する処理を示すものである。
【0013】
次に、各部を具体的に説明する。
装置通信部17は、図2に示すように、LANを介して装置制御部2から受信したデータの種類を判別して、それが、SEMIのE−10に示された指標を計算するために必要なデータならば、装置データ収集部11にそのデータを受け渡すものである。図2は、装置通信部17の動作を表すフローチャート図である。
【0014】
具体的には、装置通信部17は、装置からのデータの受信を待って待機し(101)、装置からのデータを受信すると、共有メモリ13に受信したデータを格納する(102)。そして、その受信データがSEMIのE−10に示された指標を計算するために必要なデータであるかどうかを判別し(103)、それが必要なデータならば、その受信データをメイルに編集して(104)、装置データ収集部11に送信する(105)。そして、装置からのデータの受信待機に戻る。また、処理103において、受信したデータが指標を計算するために必要なデータでないならば、装置からのデータの受信待機に戻るものである。
尚、装置から装置通信部17に送信されるデータは、ヘッダ等の情報によって、そのデータが何を表すものなのかが分かるようになっている。
【0015】
そして、処理104において編集されるメイルは、装置通信部17が装置から受信したデータ内容によって異なるものである、そこで次に、装置モード変化データを受信した場合と、装置イベント変化データを受信した場合と、装置アラーム発生/解除データを受信した場合と、メンテナンスデータを受信した場合とに分けて説明する。
【0016】
まず、装置モード変化データを受信した場合は、変化した後の装置モードの値に、装置モード変化を表すヘッダを付加して、装置データ収集部11に送信する。
そして、メンテナンス入力データを受信した場合は、入力されたメンテナンスデータにメンテナンス入力データ受信のヘッダを付加して、装置データ収集部11に送信する。
また、装置イベント変化データを受信した場合、装置アラーム発生/解除データを受信した場合には、それぞれの内容を表すヘッダのみを有するメイルを編集して装置データ収集部11に送信する。
【0017】
さらに、装置通信部17は、システム管理部12から初期化要求のデータの入力を受けると、初期化要求を表すヘッダのみを有するメイルを編集して、装置データ収集部11に送信する。また、システム管理部12から終了要求のデータの入力を受けると、終了要求を表すヘッダのみを有するメイルを編集して、装置データ収集部11に送信する。
【0018】
タイマ管理部16は、時刻を計時して、システム管理部12と、装置データ収集部11とに時刻を出力するものであり、また、午前0時(一日の終わり)に一日の終わりを表すタイムアウトをメイルに編集して、装置データ収集部11に送信するものである。
【0019】
装置データ収集部11は、図3に示すように、装置通信部17からメイルを受信して、その内容に適応した処理を行うものである。図3は、装置データ収集部11の動作を表すフローチャート図である。また、装置データは、入力されるメンテナンスのうち予定内のものをあらかじめ設定し、記憶しているものである。
【0020】
具体的には、装置データ収集部11は、メイルを受信するまで待機しており(110)、メイルを受信すると、そのヘッダを解析して、その内容に適応して分岐する(111)。メイルが装置モード/イベント変化を表すものであれば、装置モード/イベント変化受信処理を行い(112)、装置アラーム発生/解除を表すものであれば、装置アラーム発生/解除受信処理を行い(113)、メンテナンス入力を表すものであれば、メンテナンス入力データ受信処理を行い(114)、一日の終わりを表すタイムアウトを通知するものであれば、タイムアウト通知受信処理を行い(115)、初期化要求であれば、初期化要求受信処理を行う(116)ものである。
【0021】
また、処理S111において、メイルが終了要求又は、午前0時のものではないタイムアウトを通知するものであれば、メモリ18にシステムダウン日時を格納し(117)、メイルが終了要求であったかどうかを判断し(118)、終了要求であったならば、処理を終了する。また、処理118において、メイルが終了要求でなかったならば、メイル受信の待機状態に戻るものである。
【0022】
尚、これらの、装置モード/イベント変化受信処理と、装置アラーム発生/解除受信処理と、メンテナンス入力データ受信処理と、タイムアウト通知受信処理と、初期化要求受信処理の各処理の動作は、後に詳しく説明する。
【0023】
システム管理部12は、画面表示・入力部15を介して入力されるユーザからの指示に従って、内蔵するシステムパラメータ格納部(図示せず)のデータを共有メモリ13に複写して格納し、また、装置通信部17を介して制御情報をLAN上のターミナルサーバ2と、装置データ収集部11に送信するものである。
【0024】
共有メモリ13は、システム管理部12が格納する接続されている装置の数等のシステムに関する情報と、各装置毎の装置モード情報と、処理するウエハ枚数と、装置内に移載したウエハ枚数等を別々に格納しているものである。
【0025】
画面制御部14は、装置データ・入力データ格納メモリに格納されている情報と共有メモリに格納されている情報から表示すべき情報を選択して画面表示・入力部15に出力し、また、それらの情報を用いて計算を行い、性能情報を画面表示・入力部15に出力するものである。
画面表示・入力部15は、画面制御部14から入力された情報を画面に表示するとともに、ユーザから入力された情報をシステム管理部12に出力するものである。
【0026】
メモリ18は、電源を切っても、その内容を保持している不揮発性のRAMであり、各半導体製造装置について、最新の装置モードと、実行中のメンテナンス数と、最新の装置ステートと、ウエハ枚数を取得したかどうかを表すウエハ枚数取得フラグとからなる「最新装置データ」と、システムダウン日時と、レシピの指定の有無等を表す「生産外RUN時間パラメータ」とを格納しているものである。また、メモリ18は、装置データ収集部11のワークエリアとしても用いられるものである。
【0027】
装置データ・入力データ格納メモリ19は、図12に示すように、各装置毎に「制御レコード」と、一日分の装置データを格納する「データレコード」とから構成されているものである。図12は、装置データ・入力データ格納メモリ19の内容を表す概念図である。
「制御レコード」は、各半導体製造装置について、現在記録しようとしている「データレコード」の番号である現在レコードと、最新の状態と、最新の状態に変化した日時と、現在加工しているウエハの枚数を格納する着工枚数退避エリア等とからなるものであり、「データレコード」は、着工枚数の合計と、装置サイクルの合計と、故障回数の合計と、ダウンタイム発生回数の合計と、生産時間の合計と、エンジニアリング時間の合計と、システムダウン時間の合計等とからなるものである。なお、「データレコード」は、図12のように、何日分かをあらかじめ確保しておいてもよい。また、以下で単に「データレコード」という場合には、「制御レコード」の現在レコードに格納されている番号に対応する「データレコード」をいうものとする。
【0028】
次に、装置データ収集部11で行われる各処理について順に説明する。
まず、装置モード/イベント変化受信処理について図4と図5とを用いて説明する。図4及び図5は、装置データ収集部11の装置モード/イベント変化受信処理を表すフローチャート図である。
【0029】
装置データ収集部11は、装置モード/イベント変化受信処理において、まず、受信したメイルがモード変化を示すものか、イベント変化を示すものかを判定し(120)、モード変化を表すものであれば、メイルに内包されている装置モードの値をメモリ18の「最新装置データ」の最新の装置のモードを表すエリアに格納する。そして、装置モードを装置ステートに変換する処理(121)を行って、処理121によって得られた装置ステートをメモリ18のワークエリアに格納する。
尚、処理121の装置モードを装置ステートに変換する処理については、後で説明する。
【0030】
そして、装置データ収集部11は、メモリ18の「最新装置データ」と、処理121で変換され、メモリ18のワークエリアに格納されている装置ステートとを参照して、最新ステートが変化したかどうかを調べる(122)。もし、最新ステートが変化していれば、装置データ及び入力データ格納メモリ19を参照して、最新ステートが初期値であるかどうかを判別する(123)。もし、最新ステートが初期値であれば、装置データ及び入力データ格納メモリ19の最新ステートを処理121で得られた、現在のステートに更新する(145)。そして、同様にメモリ18の「最新装置データ」の最新ステートも更新して(133)、図3の処理110に戻る。ここで、初期値とは、ステートが1度も更新されていない状態(電源ONした最初の処理の状態)をいうものである。
【0031】
また、処理123において、最新ステートが初期値でなければ、「計時処理」を行い、現在の日時を「制御レコード」に最新の状態に変化した日時として格納する(124)。 そして、装置データ収集部11は、メモリ18の「最新装置データ」に格納されている装置モードが「END」であり、共有メモリ13に格納されている装置モードが「RUN」である(装置モードがRUNからENDに変わった、すなわちレシピが正常終了した)かどうかを判定し(125)、もし、そうであるならば、「データレコード」の装置サイクルに「1」を加え(126)、生産時間が終了したかどうかを判定し(127)、もし、生産時間が終了していれば、「制御レコード」の着工枚数退避エリアの値を「データレコード」の着工枚数エリアに加算して格納する(128)。
【0032】
そして、装置データ収集部11は、共有メモリ13に格納されている装置モードが「RUN」であり、メモリ18の「最新装置データ」に格納されている装置モードが「RUN」でない(レシピが終了した)かどうかを判定し(129)、そうであるならば、「制御レコード」の着工枚数退避エリアの値を「0」にする(クリアする)(130)。一方、処理129において、レシピが終了していないならば、なにもしない。
【0033】
そして、装置データ収集部11は、メモリ18の「最新装置データ」のウエハ枚数取得フラグを「未取得」にする(131)。
一方、処理125において、レシピが正常終了していないならば、これら処理126から処理131までの処理は行われない。また、処理127において、生産時間が終了していないならば、処理128から処理131までの処理は行われない。
【0034】
そして、装置データ収集部11は、処理121で得られた現在のステートで「ステート更新処理を行って(132),(133)、図3の処理110に戻る。
【0035】
また、一方、処理120において、メイルがイベント変化を表すものであるならば(A)、図5に示すように、メモリ18の「最新装置データ」の最新ステートを参照し、それが、生産時間であるかどうかを判定し(140)、そうであるならば、メモリ18の「最新装置データ」のウエハ枚数取得フラグが「取得済」になっているかどうかを判定し(141)、「未取得」であるならば、レシピ実行中プロセスウエハ枚数処理を実行する(142)。レシピ実行中プロセスウエハ枚数処理とは、共有メモリ13に格納されているウエハ枚数を参照・加算して、システム全体で1装置サイクルあたりに処理されるウエハ枚数を求めるものである。
【0036】
そして、装置データ収集部11は、処理142において、エラーが起きたかどうかを判定し(143)、エラーが起きなかったならば、ウエハ枚数取得フラグを未取得にする(144)。
また、処理143において、エラーが起きたならば、処理144は行われない。
【0037】
一方、処理140において、最新ステートが生産時間でない場合には、処理141から処理143の処理は行われない。また、処理141において、ウエハ枚数取得フラグが「取得済」になっている場合には、処理140から処理143の処理は行われない(B)。
【0038】
そして、処理データ収集部11は、メモリ18の「最新装置データ」の最新ステートを処理121で得られた現在のステートに更新して(133)、図3の処理110に戻る。
【0039】
次に、処理142におけるレシピ実行中プロセスウエハ枚数処理について、図6を用いて説明する。図6は、装置データ収集部11のレシピ実行中プロセスウエハ枚数処理の動作を表すフローチャート図である。
【0040】
レシピ実行中プロセスウエハ枚数処理において、装置データ収集部11は、まず、共有メモリ13に格納されている各装置で処理されるウエハ枚数をメモリ18のワークエリアに複写/格納する(150)。
【0041】
そして、装置データ収集部11は、共有メモリ13のウエハ移載枚数を参照して、すべてのプロセスロットのウエハが移載済であるかどうかを判定し(151)、移載済(YES)であれば、メモリ18に格納された各装置のウエハ枚数の総和を求め(152)、それを「制御レコード」の着工枚数退避エリアに格納し(153)、エラーがなかったことを処理143に戻す(154)。
ここで、処理151において、移載済でない(NO)ならば、エラーを処理143に戻す(155)。
【0042】
次に、装置データ収集部11における装置アラーム発生/解除受信処理について図7を用いて説明する。
図7は、装置データ収集部11の装置アラーム発生/解除受信処理の動作を表すフローチャート図である。
【0043】
まず、装置データ収集部11は、装置アラームの内容が、装置ダウンを知らせるものであるかどうかを判定する(160)。もし、装置アラームの内容が装置ダウンを知らせるものであるならば、その装置アラームが装置ダウンの発生を知らせるものであるか、解除を知らせるものであるかを判定する(161)。もし、装置アラームが装置ダウンの発生を知らせるものであるならば、メモリ18の「最新装置データ」のアラームを知らせた装置のデータの最新装置モードを「装置ダウン」にする(162)。
【0044】
そして、装置データ収集部11は、その装置モードを装置ステートに変換する処理を行い(163)、メモリ18の「最新装置データ」の最新装置ステートを参照して、それらが異なるものかどうか(最新装置ステートが変化したかどうか)を判定する(164)。
【0045】
もし、最新装置ステートが変化した(YES)ならば、装置データ収集部11は、「計時処理」を行い(165)、処理163で求められた装置ステートで「ステート更新処理」を行う(166),(167)。
また、処理161において、アラームが解除である場合と、処理164において、最新ステートが変化していない(NO)場合には、その時点で処理を終了する。
【0046】
次に、装置データ収集部11のメンテナンス入力データ受信処理における動作について図8と図9とを用いて説明する。図8及び図9は、装置データ収集部11のメンテナンス入力データ受信処理における動作を表すフローチャート図である。
【0047】
まず、装置データ収集部11は、受信したメイルから入力されたメンテナンスデータを取得する(170)。そして、それが、メンテナンスの開始を表すものかどうかを判定する(171)。
【0048】
もし、処理171において、メンテナンスの開始を表すものであるならば、装置データ収集部11は、メモリ18の「最新装置データ」を参照し、メンテナンス入力のあった装置が現在実行されているメンテナンスの数を読出し、それが「0」であるかどうか判断する(172)。
【0049】
もし、処理172において、実行中のメンテナンスの数が「0」である(メンテナンスがなにも行われていない)ならば、「計時処理」を行う(173)。そして、装置データ収集部11は、「エンジニアリング時間」で「ステート更新処理」を行う(174),(175)。
また、処理172において、実行中メンテナンスの数が「0」でない(現在、何かのメンテナンスが行われている)ならば、処理173から処理175までの処理は行われない。
【0050】
そして、装置データ収集部11は、入力されたメンテナンスが「予定外」のものであるか、「予定内」のものであるかを、あらかじめ設定されている情報をもとに判別する(176)。もし、それが「予定内」のものであるならば、装置データ及び入力データメモリ19の「データレコード」に格納されている故障回数に「1」を加えて格納する(177)。一方、処理176において、入力されたメンテナンスが「予定外」のものであるならば、処理177は行われない。
【0051】
そして、装置データ収集部11は、装置データ及び入力データメモリ19の「データレコード」に格納されているダウンタイム発生回数に「1」を加えて格納し(178)、メモリ18の「最新装置データ」に格納されている実行中メンテナンス数に「1」を加えて格納して(179)、メンテナンス入力データ受信処理を終了する。
【0052】
一方、処理171において、入力されたデータがメンテナンスの終了を表すものであるならば(C)、装置データ収集部11は、図9に示すように、メモリ18の「最新装置データ」に格納されている実行中メンテナンス数から「1」を引いて格納し(180)、その結果の実行中メンテナンス数が「0」であるかどうかを判定する(181)。
【0053】
もし、実行中メンテナンス数が「0」であるならば、装置データ及び入力データ格納メモリ19の「制御レコード」の最新ステート変化日時を参照し、現在の日時との差を求めて、「データレコード」の該当するステートの合計時間に加算して格納する(182)(D)。
【0054】
そして、装置データ収集部11は、メモリ18の「最新装置データ」のメンテナンスの入力を受けた装置の最新装置モードを参照し(183)、その装置モードを装置ステートに変換する処理を行う(184)。そして、装置データ収集部11は、その装置ステートで「ステート更新処理」を行って(185),(186)、終了する。
【0055】
また、処理181において、実行中メンテナンス数が「0」でないならば、そのまま終了する。
【0056】
次に、装置データ収集部11のタイムアウト通知受信処理について図10を用いて説明する。図10は、装置データ収集部11のタイムアウト通知受信処理を表すフローチャート図である。
【0057】
装置データ収集部11は、一日の終わりを表す(午前0時の)タイムアウト通知を受信すると、メモリ18の「最新装置データ」の最新ステートを参照して、現在の装置ステートを求め(190)、その装置ステートで「計時処理」を行って(191)、装置データ及び入力データ格納メモリ19の「制御レコード」の現在レコードに「1」を加えて格納する(192)。
【0058】
そして、装置データ収集部11は、新しい「制御レコード」の現在レコードの値に対応する「データレコード」の日付に現在の日付を格納し(193)、「制御レコード」の最新ステート変化日時に現在の日時を格納して(194)、処理を終了する。
尚、以下の説明で、この処理192から処理194の動作を「日付更新処理」として参照する。
【0059】
次に、装置データ収集部11の初期化要求受信処理について図11を用いて説明する。図11は、装置データ収集部11の初期化要求受信処理を示すフローチャート図である。
【0060】
装置データ収集部11は、まず、メモリ18の「最新装置データ」を初期化し(200)、タイマ管理部16から現在日時を取得して(201)、メモリ18のワークエリアに格納する。そして、メモリ18の「システムダウン日時」と、処理201で得られた現在の日時との差を求める(202)。そして、「システムダウン日時」の日付が現在の日付と異なるかどうかを判定する(203)。もし、それが異なるならば、システムダウンが行われた際の日付に対応する「データレコード」のシステムダウン時間にその差を格納し(204)、「日付更新処理」を行う(205)。一方、「システムダウン日時」の日付が現在の日付と異ならないならば、装置データ及び入力データ格納メモリの「制御レコード」の最新ステート変化日時にメモリ18のワークエリアに格納された日時を格納する(206)。
【0061】
次に、装置データ収集部11の装置モードを装置ステートに変換する処理について、図13を用いて説明する。図13は、装置データ収集部11の装置モードを装置ステートに変換する処理を表すフローチャート図である。
【0062】
装置データ収集部11は、装置モードが何であるかを判別して(210)、それが「RESET」、「END」、「MANUAL」、または、「装置ダウン」のときは、装置ステートを非計画時間とする(211)。また、処理210において、装置モードが「IDOL」、「STANDBY」、または、「GO_STANDBY」の場合には、装置ステートを準備時間とする(212)。また、処理210において、装置モードが「RUN」または、「GO_END」の場合には、メモリ18の「生産外RUN時間パラメータ」を参照して、レシピが指定されているかどうかを判定する(213)。
【0063】
もし、レシピが指定されていれば、共有メモリ13の当該装置のデータが、あらかじめ設定されているデータの範囲にあるかどうか(装置の動作を阻害する、故障等が起きていないかどうか)を確認する(214)。そして、故障等が起きていなければ、装置ステートは、生産時間となる(215)。一方、エラーが起きていれば、装置ステートはエンジニアリング時間となる(216)。
【0064】
また、処理213において、レシピが指定されていなければ、装置ステートは、生産時間となる(215)。
【0065】
さらに、処理210において、装置モードが上記のどれでもない場合(何らかのエラーが起きた場合)、装置データ収集部11は、メモリ18の「最新装置データ」の装置ステートを参照し(217)、それを装置ステートとする(218)。
【0066】
次に、本装置の動作を装置モードがRUNからGO_ENDに変化する場合を例にとって説明する。
まず、半導体製造装置3が装置制御部2を介して、制御装置1の装置通信部17に装置モードが変化したという情報を送信する。装置モード変化情報は、装置通信部17で、解析され、新しい装置モード(変化後の装置モード)が、共有メモリ13に格納される。そして、装置モード変化情報は、装置通信部17で装置データ収集部に通知が必要とされるものであると判定され、装置モード/イベント変化のヘッダと新しい装置モードとがメイルとして、装置データ収集部11に送信される。
【0067】
メイルは、装置データ収集部11によって、受信され、そのヘッダが解釈され、それが装置モード/イベント変化を意味するものであると解される。そして、装置モード/イベント変化受信処理が行われる。
【0068】
装置データ収集部11が、装置モードから装置ステートに変換し、装置モード/イベント変化受信処理によって、メモリ18に格納されている「最新装置データ」の装置ステートを変化させる。同時に、古い装置ステート(変化前の装置ステート)に該当する、装置データ及び入力データ格納メモリ19の「データレコード」に書き込まれている、当該ステートにとどまっていた時間は、「計時処理」によって更新され、各ステートにあった時間が自動的に記録される。
【0069】
そして、画面制御部14によって、装置データ及び入力データ格納メモリ19から、生産時間と、故障回数と、装置サイクルと、全修理時間と、装置ダウンタイムの総和と、ダウンタイムの発生回数と、稼働時間と、総時間が取出される。
【0070】
そして、画面制御部14が、生産時間を故障回数で割ってMTBFを求め、装置サイクルを故障回数で割ってMCBFを求め、全修理時間を故障回数で割ってMTTRを求め、装置ダウンタイムの総和をダウンタイム発生回数で割ってMTOLを求め、生産時間を稼働時間で割り、それに「100」をかけて装置稼働利用性を求め、生産時間を総時間で割り、それに「100」をかけて装置総合利用性を求めて画面表示・入力部15に出力する。
【0071】
そして、画面表示・入力部15が、画面制御部14から入力された情報をスクリーン4に表示する。
【0072】
本発明の半導体製造装置の制御装置によれば、自動的に情報を収集し、それを用いて計算をリアルタイムにしているので、記録の誤りと、計算の誤りが発生しにくいという効果がある。
【0073】
【発明の効果】
本発明によれば、装置データ収集部が、複数の半導体製造装置から送信される装置の情報に基づいて、1日ごとに、タイマ管理部から入力される日時を利用して、生産時間と、全修理時間と、装置ダウンタイムの総和とを計時し、故障回数と、ダウンタイムの発生回数と、完全な稼働シーケンスが行われた回数である装置サイクルの回数とをカウントし、装置データ・入力データ格納メモリが、計時された各時間と故障回数を格納し、画面制御部が、格納された情報を用いて半導体製造装置及び材料に関する国際規格の装置の信頼性、利用性、整備性の定義と測定におけるガイドラインに掲げられた各数値を計算によって求める半導体製造装置の制御装置としているので、自動的に性能情報が収集され、計算され、リアルタイムに表示され、記録と、計算とに誤りがなく、かつ精度よく行われるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本装置の構成ブロック図である。
【図2】装置通信部17の動作を表すフローチャート図である。
【図3】装置データ収集部11の動作を表すフローチャート図である。
【図4】装置データ収集部11の装置モード/イベント変化受信処理を表すフローチャート図である。
【図5】装置データ収集部11の装置モード/イベント変化受信処理を表すフローチャート図である。
【図6】装置データ収集部11のレシピ実行中プロセスウエハ枚数処理の動作を表すフローチャート図である。
【図7】装置データ収集部11の装置アラーム発生/解除受信処理の動作を表すフローチャート図である。
【図8】装置データ収集部11のメンテナンス入力データ受信処理における動作を表すフローチャート図である。
【図9】装置データ収集部11のメンテナンス入力データ受信処理における動作を表すフローチャート図である。
【図10】装置データ収集部11のタイムアウト通知受信処理を表すフローチャート図である。
【図11】装置データ収集部11の初期化要求受信処理を示すフローチャート図である。
【図12】装置データ・入力データ格納メモリ19の内容を表す概念図である。
【図13】装置データ収集部11の装置モードを装置ステートに変換する処理を表すフローチャート図である。
【図14】従来の半導体製造システムの概略を表す説明図である。
【符号の説明】
1、1′…制御装置、 2…装置制御部、 3…半導体製造装置、 4…スクリーン、 11…装置データ収集部、 12…システム管理部、 13…共有メモリ、 14…画面制御部、 15…画面表示入力部、 16…タイマ管理部、17…装置通信部、 18…メモリ、 19…装置データ入力データ格納メモリ
Claims (6)
- 日時を計時するタイマ管理部と、
複数の半導体製造装置から送信される装置の情報に基づいて、1日ごとに、前記タイマ管理部から入力される日時を利用して、生産時間と、全修理時間と、装置ダウンタイムの総和とを計時し、故障回数と、ダウンタイムの発生回数と、完全な稼働シーケンスが行われた回数である装置サイクルの回数とをカウントする装置データ収集部と、
前記計時された時間と、カウントされた回数とを格納する装置データ・入力データ格納メモリと、
前記装置データ・入力データ格納メモリに格納されている情報に基いて、半導体製造装置及び材料に関する国際規格の装置の信頼性、利用性、整備性の定義と測定におけるガイドラインに掲げられた各数値を計算によって求める画面制御部と、を有することを特徴とする半導体製造装置の制御装置。 - 計算される数値は、生産時間を故障回数で割ったMTBF、装置サイクルを故障回数で割ったMCBF、全修理時間を故障回数で割ったMTTR、装置ダウンタイムの総和をダウンタイム発生回数で割ったMTOLの内の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1記載の半導体製造装置の制御装置。
- 画面表示・入力部を有し、計算によって求められる数値を画面に表示することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の制御装置。
- 請求項1記載の制御装置のデータ収集部に装置の情報を送信することを特徴とする半導体製造装置。
- 請求項1記載の制御装置と、該制御装置のデータ収集部に装置の情報を送信する複数の半導体製造装置とで構成されることを特徴とする半導体製造システム。
- 複数の半導体製造装置から送信される装置の情報に基づいて、1日ごとに、生産時間と、全修理時間と、装置ダウンタイムの総和とを計時し、故障回数と、ダウンタイムの発生回数と、完全な稼働シーケンスが行われた回数である装置サイクルの回数とをカウントし、
前記計時された時間と、カウントされた回数とに基づいて、半導体製造装置及び材料に関する国際規格の装置の信頼性、利用性、整備性の定義と測定におけるガイドラインに掲げられた各数値を計算によって求めることを特徴とする半導体製造装置の装置性能の計算方法。
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JP27515196A JP4024888B2 (ja) | 1996-10-17 | 1996-10-17 | 半導体製造装置の制御装置 |
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- 1996-10-17 JP JP27515196A patent/JP4024888B2/ja not_active Expired - Lifetime
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