JP2010095775A - 銅めっきにおけるウィスカーの抑制方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電源電圧反転法を用いた銅めっき処理に際して、電解条件として次の〔条件1〕、〔条件2〕を採用するとともに、さらに被めっき物のX軸、Y軸方向の揺動条件も規定した。
〔条件1〕印加する直流電源
(i)正電解時 電流値=0.5〜20A/dm2、通電時間=0.1〜1000ms
(ii)逆電解時 電流値=0.5〜60A/dm2 、通電時間=0.01〜100ms
(iii)電流比 正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1〜1:3
(iv)通電時間比 正電解の通電時間:逆電解の通電時間=20:1〜100:1
〔条件2〕電極間距離=3〜300mm
【選択図】 なし
Description
(1) 近年、プリント配線基板の高密度化に伴って配線板の薄膜化が進んでいる。そのため、基板表面の機械研磨処理が省略されることもある。基板表面が酸化皮膜などで汚れていた場合、機械研磨処理が省かれると、添加剤の吸着ムラを生じてしまう可能性がある。添加剤の吸着ムラが生じた場合、析出電位が異なり、析出速度が異常に速くなってしまう箇所にヒゲ状のウィスカーが発生する。
(2) 酸性銅めっき浴中に、含りん銅とは異なる銅金属やイオンが混入され、それが核となってヒゲ状のウィスカーとなる。
(a) 作業電流密度を下げ、めっきの析出速度を均一にする。
(b) 酸性銅めっき浴中への添加剤の添加量を多くし、吸着されにくい基板表面にも添加剤を吸着させるようにする。
(c) レべリング作用の高い添加剤を使用する。
(d) 不溶解性アノードを使用する。
(e) ON−OFF電源を用いたり、印加する直流電源の極性を正負反転させながらめっきを行なう(特許文献1参照)。
などの方法で或る程度は可能である。しかしながら、どれも完全ではない。例えば、(a)の方法では生産能力が低下してしまう懸念があり、(b)の方法では銅めっき皮膜の物性が低下してしまう懸念がある。また、(c)の方法ではピットが発生しやすいなど、プリント配線基板の性能が低下してしまうおそれがある。
カソード、アノード間に印加する直流電源の条件は、次の通りとする。
(i)正電解時
電流値=0.5〜20A/dm2(好ましくは1〜5A/dm2)
通電時間=0.1〜1000ms(好ましくは10〜100ms)
(ii)逆電解時
電流値=0.5〜60A/dm2(好ましくは1〜15A/dm2)
通電時間=0.01〜100ms(好ましくは0.1〜100ms)
(iii)電流比
正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1〜1:3
なお、電流比が1:1、すなわち1を超えるとウィスカーが発生し、電流比が1:3、すなわち1/3≒0.333未満になると光沢外観が得られなくなる。
(iv)通電時間比
正電解の通電時間:逆電解の通電時間=20:1〜100:1
なお、通電時間比が20:1、すなわち20/1=20未満になると光沢外観が得られなくなり、通電時間比が100:1、すなわち100/1=100を超えるとウィスカーが発生する。
電極間距離(アノードとカソード間の距離)の条件は、次の通りとする。
電極間距離=3〜300mm(好ましくは20〜100mm)
なお、電極間距離が3mm未満では、現実的に装置の施工が困難である。300mmを超えるとウィスカーが発生する。
被めっき物のX軸揺動条件は、次の通りとする。なお、「X軸揺動」とは、被めっき物(例えば、プリント配線基板)がアノードに向かって近づいたり遠ざかったりする向きの往復運動をいう。
揺動ストローク=±5〜50mm(好ましくは±10〜30mm)
揺動速度=0.1〜10cm/sec(好ましくは1〜5cm/sec)
被めっき物のY軸揺動条件は、次の通りとする。なお、「Y軸揺動」とは、被めっき物(例えば、プリント配線基板)とアノードとを結ぶ軸線(X軸)に対して直交する向きの往復運動をいう。
揺動ストローク=±5〜50mm(好ましくは±10〜30mm)
揺動速度=0.1〜10cm/sec(好ましくは1〜5cm/sec)
被めっき物のX−Y軸揺動条件は、次の通りとする。なお、「X−Y軸揺動」とは、上記X軸揺動とY軸揺動を同時に行なう往復運動をいう。
X軸揺動:上記X軸揺動条件に同じ
Y軸揺動:上記Y軸揺動条件に同じ
柱状の無酸素銅を硫酸銅めっき浴1L当たり2dm2の負荷で24時間漬け込んだ。そのめっき液に添加剤を添加し、被めっき物に電気めっき処理を行なった。電気めっき後、被めっき物を取り出し、表面に発生したウィスカーの個数を実態顕微鏡にて数えた。その結果を表1に示す。なお、比較のため、従来方法の結果も示す。
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=5A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=20:1
電極間距離=100mm
アノード:板状含りん銅(0.5dm2)
揺動:X軸揺動(揺動ストローク=±10mm、揺動速度=0.05cm/sec)
めっき槽:0.5L槽(幅120mm×縦65mm×高さ120mm)
被めっき面積:0.5dm2
電解方法:直流電解法(電源極性の反転なし)
正電解電流値=5A/dm2
電極間距離=350mm
アノード:板状含りん銅(0.5dm2)
揺動:X軸揺動(揺動ストローク=±10mm、揺動速度:0.05cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:0.5dm2
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=5A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=20:1
電極間距離=350mm
アノード:板状含りん銅(0.5dm2)
揺動:X軸揺動(揺動ストローク=±10mm、揺動速度=0.05cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:0.5dm2
試験方法は、第1の実施の形態と同様である。添加剤として、CU−BRITE 31(荏原ユージライト(株)製)を使用した。その結果を表2に示す。なお、比較のため、従来方法の結果も示す。
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=5A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=20:1
電極間距離=100mm
アノード:板状含りん銅(0.5dm2)
揺動:Y軸揺動(揺動ストローク=±20mm、揺動速度=0.05cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:0.5dm2
電解方法:直流電解法(電源極性の反転なし)
正電解電流値=5A/dm2
電極間距離=100mm
アノード:板状含りん銅(0.5dm2)
揺動:Y軸揺動(揺動ストローク=±20mm、揺動速度:0.05cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:0.5dm2
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=5A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=20:1
電極間距離=350mm
アノード:板状含りん銅(0.5dm2)
揺動:Y軸揺動(揺動ストローク=±20mm、揺動速度=0.05cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:0.5dm2
試験方法は、第2の実施の形態と同様である。アノードとして板状の不溶解性IrO2/Tiを使用した。その結果を表3に示す。なお、比較のため、従来方法の結果も示す。
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=10A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:2
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=80:1
電極間距離=50mm
アノード:不溶解性IrO2/Ti(6.25dm2)
揺動:Y軸揺動(揺動ストローク=±20mm、揺動速度=0.05cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:6.25dm2
電解方法:直流電解法(電源極性の反転なし)
正電解電流値=5A/dm2
電極間距離=50mm
アノード:不溶解性IrO2/Ti(6.25dm2)
揺動:Y軸揺動(揺動ストローク=±20mm、揺動速度:0.05cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:6.25dm2
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=10A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:2
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=80:1
電極間距離=350mm
アノード:不溶解性IrO2/Ti(6.25dm2)
揺動:Y軸揺動(揺動ストローク=±20mm、揺動速度=0.05cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:6.25dm2
試験方法は、第1の実施の形態と同様である。その結果を表4に示す。なお、比較のため、従来方法の結果も示す。
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=7.5A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1.5
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=40:1
電極間距離=300mm
アノード:板状含りん銅(0.5dm2)
揺動:X+Y軸揺動(X,Yともに、揺動ストローク=±10mm、揺動速度=2cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:0.5dm2
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=7.5A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1.5
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=40:1
電極間距離=350mm
アノード:板状含りん銅(0.5dm2)
揺動:X+Y軸揺動(X,Yともに、揺動ストローク=±10mm、揺動速度=2cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:0.5dm2
電解方法:ON−OFF電解法(ON時間(ms):OFF時間(ms)=10:1)
正電解電流値=5A/dm2
電極間距離=100mm
アノード:板状含りん銅(0.5dm2)
揺動:X+Y軸揺動(X,Yともに、揺動ストローク=±10mm、揺動速度=2cm/sec)
めっき槽:0.5L槽(幅120mm×縦65mm×高さ120mm)
被めっき面積:0.5dm2
試験方法は、第3の実施の形態と同様である。その結果を表5に示す。なお、比較のため、従来方法の結果も示す。
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=6A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1.2
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=40:1
電極間距離=300mm
アノード:不溶解性IrO2/Ti(6.25dm2)
揺動:Y軸揺動(揺動ストローク=±10mm、揺動速度=2cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:6.25dm2
電解方法:電源電圧反転法
正電解電流値=5A/dm2
逆電解電流値=6A/dm2
電流比=正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1.2
通電時間比=正電解時間(ms):逆電解時間(ms)=40:1
電極間距離=350mm
アノード:不溶解性IrO2/Ti(6.25dm2)
揺動:Y軸揺動(揺動ストローク=±10mm、揺動速度=2cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:6.25dm2
電解方法:ON−OFF電解法(ON時間(ms):OFF時間(ms)=10:1)
正電解電流値=5A/dm2
電極間距離=100mm
アノード:不溶解性IrO2/Ti(6.25dm2)
揺動:Y軸揺動(揺動ストローク=±10mm、揺動速度=2cm/sec)
めっき槽:80L槽(幅500mm×縦500mm×高さ500mm)
被めっき面積:6.25dm2
Claims (7)
- カソードとアノード間に印加する直流電源電圧の極性を正負反転可能とし、被めっき物をカソードとする通常の正電解と、被めっき物をアノードとする逆電解とを交互に切り替えながら銅めっき処理を行なうようにしためっき方法において、銅めっきの電解条件として、下記の〔条件1〕+〔条件2〕を採用したことを特徴とする銅めっきにおけるウィスカーの抑制方法。
〔条件1〕印加する直流電源
(i)正電解時
電流値=0.5〜20A/dm2
通電時間=0.1〜1000ms
(ii)逆電解時
電流値=0.5〜60A/dm2
通電時間=0.01〜100ms
(iii)電流比
正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1〜1:3
(iv)通電時間比
正電解の通電時間:逆電解の通電時間=20:1〜100:1
〔条件2〕電極間距離=3〜300mm - カソードとアノード間に印加する直流電源電圧の極性を正負反転可能とし、被めっき物をカソードとする通常の正電解と、被めっき物をアノードとする逆電解とを交互に切り替えながら銅めっき処理を行なうようにしためっき方法において、銅めっきの電解条件として、下記の〔条件1〕+〔条件3〕を採用したことを特徴とする銅めっきにおけるウィスカーの抑制方法。
〔条件1〕印加する直流電源
(i)正電解時
電流値=0.5〜20A/dm2
通電時間=0.1〜1000ms
(ii)逆電解時
電流値=0.5〜60A/dm2
通電時間=0.01〜100ms
(iii)電流比
正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1〜1:3
(iv)通電時間比
正電解の通電時間:逆電解の通電時間=20:1〜100:1
〔条件3〕被めっき物のX軸揺動
揺動ストローク=±5〜50mm
揺動速度=0.1〜10cm/sec - カソードとアノード間に印加する直流電源電圧の極性を正負反転可能とし、被めっき物をカソードとする通常の正電解と、被めっき物をアノードとする逆電解とを交互に切り替えながら銅めっき処理を行なうようにしためっき方法において、銅めっきの電解条件として、下記の〔条件1〕+〔条件4〕を採用したことを特徴とする銅めっきにおけるウィスカーの抑制方法。
〔条件1〕印加する直流電源
(i)正電解時
電流値=0.5〜20A/dm2
通電時間=0.1〜1000ms
(ii)逆電解時
電流値=0.5〜60A/dm2
通電時間=0.01〜100ms
(iii)電流比
正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1〜1:3
(iv)通電時間比
正電解の通電時間:逆電解の通電時間=20:1〜100:1
〔条件4〕被めっき物のY軸揺動
揺動ストローク=±5〜50mm
揺動速度=0.1〜10cm/sec - カソードとアノード間に印加する直流電源電圧の極性を正負反転可能とし、被めっき物をカソードとする通常の正電解と、被めっき物をアノードとする逆電解とを交互に切り替えながら銅めっき処理を行なうようにしためっき方法において、銅めっきの電解条件として、下記の〔条件1〕+〔条件5〕を採用したことを特徴とする銅めっきにおけるウィスカーの抑制方法。
〔条件1〕印加する直流電源
(i)正電解時
電流値=0.5〜20A/dm2
通電時間=0.1〜1000ms
(ii)逆電解時
電流値=0.5〜60A/dm2
通電時間=0.01〜100ms
(iii)電流比
正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1〜1:3
(iv)通電時間比
正電解の通電時間:逆電解の通電時間=20:1〜100:1
〔条件5〕被めっき物のX−Y軸揺動
X軸揺動:揺動ストローク=±5〜50mm
揺動速度=0.1〜10cm/sec
Y軸揺動:揺動ストローク=±5〜50mm
揺動速度=0.1〜10cm/sec - カソードとアノード間に印加する直流電源電圧の極性を正負反転可能とし、被めっき物をカソードとする通常の正電解と、被めっき物をアノードとする逆電解とを交互に切り替えながら銅めっき処理を行なうようにしためっき方法において、銅めっきの電解条件として、下記の〔条件1〕+〔条件2〕+〔条件3〕を採用したことを特徴とする銅めっきにおけるウィスカーの抑制方法。
〔条件1〕印加する直流電源
(i)正電解時
電流値=0.5〜20A/dm2
通電時間=0.1〜1000ms
(ii)逆電解時
電流値=0.5〜60A/dm2
通電時間=0.01〜100ms
(iii)電流比
正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1〜1:3
(iv)通電時間比
正電解の通電時間:逆電解の通電時間=20:1〜100:1
〔条件2〕電極間距離=3〜300mm
〔条件3〕被めっき物のX軸揺動
揺動ストローク=±5〜50mm
揺動速度=0.1〜10cm/sec - カソードとアノード間に印加する直流電源電圧の極性を正負反転可能とし、被めっき物をカソードとする通常の正電解と、被めっき物をアノードとする逆電解とを交互に切り替えながら銅めっき処理を行なうようにしためっき方法において、銅めっきの電解条件として、下記の〔条件1〕+〔条件2〕+〔条件4〕を採用したことを特徴とする銅めっきにおけるウィスカーの抑制方法。
〔条件1〕印加する直流電源
(i)正電解時
電流値=0.5〜20A/dm2
通電時間=0.1〜1000ms
(ii)逆電解時
電流値=0.5〜60A/dm2
通電時間=0.01〜100ms
(iii)電流比
正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1〜1:3
(iv)通電時間比
正電解の通電時間:逆電解の通電時間=20:1〜100:1
〔条件2〕電極間距離=3〜300mm
〔条件4〕被めっき物のY軸揺動
揺動ストローク=±5〜50mm
揺動速度=0.1〜10cm/sec - カソードとアノード間に印加する直流電源電圧の極性を正負反転可能とし、被めっき物をカソードとする通常の正電解と、被めっき物をアノードとする逆電解とを交互に切り替えながら銅めっき処理を行なうようにしためっき方法において、銅めっきの電解条件として、下記の〔条件1〕+〔条件2〕+〔条件5〕を採用したことを特徴とする銅めっきにおけるウィスカーの抑制方法。
〔条件1〕印加する直流電源
(i)正電解時
電流値=0.5〜20A/dm2
通電時間=0.1〜1000ms
(ii)逆電解時
電流値=0.5〜60A/dm2
通電時間=0.01〜100ms
(iii)電流比
正電解の電流値:逆電解の電流値=1:1〜1:3
(iv)通電時間比
正電解の通電時間:逆電解の通電時間=20:1〜100:1
〔条件2〕電極間距離=3〜300mm
〔条件5〕被めっき物のX−Y軸揺動
X軸揺動:揺動ストローク=±5〜50mm
揺動速度=0.1〜10cm/sec
Y軸揺動:揺動ストローク=±5〜50mm
揺動速度=0.1〜10cm/sec
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