JP2010092982A - 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キャビティと、複数個のポットとが設けられた金型を用い、半導体素子を樹脂で封止して半導体装置を製造する方法であって、キャビティに基板を載置した後、キャビティにおける樹脂の流れが巨視的に見て円弧状となるように、複数個のポットのうちの一部からキャビティに樹脂を供給する。これにより、エアーが滞留しにくくなり、エアーの巻き込み等により発生する樹脂未充填やボイド等を抑制することができ、半導体素子の樹脂封止体の品質及び生産性を向上することができる。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造装置による樹脂封止工程(半導体素子を樹脂で封止する工程)において、モールド成形用金型(金型)に基板を配置した状態を示す平面図であり、図2は、上記樹脂封止工程において、モールド成形用金型に基板を配置した状態を示す図1のX−X線矢視断面図である。
以下、本発明の他の実施の形態に係る半導体装置の製造装置及び製造方法について、図5に基づいて説明する。
以下、本発明のさらに他の実施の形態に係る半導体装置の製造装置及び製造方法について、図6に基づいて説明する。
1A 上型
1B 下型
2、102 モールド樹脂タブレット注入用ポット(ポット)
3、103 ランナ
4、104 ゲート
5、105 キャビティ
6 ダミーポット(ポット)
7 第2のエアーベント
107 エアーベント
8 第1のエアーベント
9 第2の連通路
10 第1の連通路
20、120 基板
21、121 モールド領域
22、122 デバイス領域
40,140 半導体素子
A モールド溶融樹脂の巨視的な流れ方向
B 一つのデバイス領域
C1 、C 2 エアーの巻き込み等により発生する樹脂未充填やボイド
Claims (16)
- 半導体素子が実装された基板が載置されるキャビティと、当該キャビティに樹脂を供給可能な複数個のポットとが設けられた金型を用い、上記半導体素子を上記樹脂で封止して半導体装置を製造する方法であって、
上記キャビティに上記基板を載置した後、
上記キャビティにおける樹脂の流れが巨視的に見て円弧状となるように、上記複数個のポットのうちの一部から上記キャビティに樹脂を供給することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 上記半導体素子の各辺に対する樹脂の流れが巨視的に見て上記各辺に沿うように、上記樹脂を供給することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記複数個のポットのうちの一部を、樹脂が供給されないダミーポットとし、上記キャビティの空気を上記ダミーポットへ移動させながら樹脂を供給することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記金型には、ダミーポットの空気を金型外部へ排出する第1のエアーベントが設けられており、当該第1のエアーベントを介して空気を排出しながら樹脂を供給することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ポットのうちの複数個をダミーポットとし、上記金型には、ダミーポット間を相互に連通する第1の連通路が設けられていることを特徴とする請求項3または4に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ポットのうちの複数個がキャビティに樹脂を供給するポットであり、上記金型には、樹脂を供給する当該ポット間を相互に連通する第2の連通路が設けられていることを特徴とする請求項1ないし5の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記金型には、キャビティの空気を金型外部へ排出する第2のエアーベントが設けられており、当該第2のエアーベントを介して空気を排出しながら樹脂を供給することを特徴とする請求項1ないし6の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記金型には、上記キャビティが複数個形成されていることを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体素子をモールド成形することを特徴とする請求項1から8の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体素子が実装された基板が載置されるキャビティと、当該キャビティに樹脂を供給可能な複数個のポットとが設けられた金型を備え、上記半導体素子を上記樹脂で封止する半導体装置の製造装置であって、
上記複数個のポットのうちの一部は、樹脂が供給されないダミーポットであり、上記金型には、ダミーポットの空気を金型外部へ排出する第1のエアーベントが設けられていることを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 上記金型には、キャビティにおける樹脂の流れが巨視的に見て円弧状となるような位置に、上記ダミーポットが配置されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造装置。
- 上記半導体素子の各辺に対して、樹脂の流れが巨視的に見て前記各辺に沿うような位置に、樹脂を供給するポットが配置されていることを特徴とする請求項10または11に記載の半導体装置の製造装置。
- 上記ポットのうちの複数個がダミーポットであり、上記金型には、ダミーポット間を相互に連通する第1の連通路が設けられていることを特徴とする請求項10ないし12の何れか1項に記載の半導体装置の製造装置。
- 上記ポットのうちの複数個がキャビティに樹脂を供給するポットであり、上記金型には、樹脂を供給する当該ポット間を相互に連通する第2の連通路が設けられていることを特徴とする請求項10ないし13の何れか1項に記載の半導体装置の製造装置。
- 上記金型には、キャビティの空気を金型外部へ排出する第2のエアーベントが設けられていることを特徴とする請求項10ないし14の何れか1項に記載の半導体装置の製造装置。
- 上記金型には、上記キャビティが複数個形成されていることを特徴とする請求項10ないし15の何れか1項に記載の半導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008259894A JP5148445B2 (ja) | 2008-10-06 | 2008-10-06 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
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JP5148445B2 JP5148445B2 (ja) | 2013-02-20 |
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JP (1) | JP5148445B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9431272B2 (en) | 2013-04-09 | 2016-08-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Printed circuit board including through region and semiconductor package formed by using the same |
JP2020021800A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置、電力変換装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2022039811A (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-10 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09148354A (ja) * | 1995-11-22 | 1997-06-06 | Nec Corp | 半導体樹脂封止用金型 |
JPH11168114A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Matsushita Electron Corp | 半導体チップ用の樹脂封止装置 |
JP2001044229A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Sharp Corp | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
JP2003077946A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09148354A (ja) * | 1995-11-22 | 1997-06-06 | Nec Corp | 半導体樹脂封止用金型 |
JPH11168114A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Matsushita Electron Corp | 半導体チップ用の樹脂封止装置 |
JP2001044229A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Sharp Corp | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
JP2003077946A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9431272B2 (en) | 2013-04-09 | 2016-08-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Printed circuit board including through region and semiconductor package formed by using the same |
JP2020021800A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置、電力変換装置及び半導体装置の製造方法 |
JP7065722B2 (ja) | 2018-07-31 | 2022-05-12 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置、電力変換装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2022039811A (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-10 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法 |
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