JP2010088993A - エアフィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】超高清浄度が要求されるクリーンルームにも使用できるスタビライザ付きエアフィルタを提供することである。
【解決手段】櫛歯状のスタビライザ３を樹脂で形成し、スタビライザ３の背面側に沿わせて取り付けた金属製の補強部材４を、枠体２の対向する枠２ａ間に差し渡して、その両端部を枠２ａに加締めピン５で締結することにより、スタビライザ３からの紙粉の発生をなくすとともに、アウトガスを発生させる恐れのある接着剤を用いずにスタビライザ３を装着し、超高清浄度が要求されるクリーンルームにも使用できるようにした。
【選択図】図２

Description

本発明は、プリーツ状に折り曲げられたシート状の濾材に、濾材のプリーツと直交方向に櫛歯状のスタビライザを装着したエアフィルタに関する。

プリーツ状に折り曲げられたシート状の濾材を、エアが流入、流出する前後面が開口した矩形状の枠体に収納したエアフィルタでは、濾材のプリーツ間隔を一定に保持して、濾材の濾過面を有効に活用できるように、濾材の前後面の少なくとも一方で、濾材のプリーツと直交方向に櫛歯状のスタビライザを装着したものがある（例えば、特許文献１−３参照）。特許文献１に記載されたものは、櫛歯をプリーツの谷底近くまで、特許文献２に記載されたものは、櫛歯をプリーツの中間部まで、特許文献３に記載されたものは、櫛歯をプリーツの山部近傍のみに挿入している。なお、スタビライザは、濾材の前後面両側に装着されることが多い。

このようなエアフィルタでは、シート状の濾材には不織布が多く用いられ、スタビライザには、板紙を櫛歯状に打ち抜いて適宜重ね合わせた紙製のものが多く用いられて、櫛歯の端面が接着剤で濾材に接着されている（例えば、特許文献２参照）。

実開平３−５４７１１号公報 特開平６−３４３８０４号公報 特開２０００−１１７０３４号公報

電子機器や通信機器等に使用される半導体の生産量は年々増加しており、これらの半導体を製造したり、検査したりするクリーンルームも増加している。このような半導体用のクリーンルームは、非常に高い超高清浄度が要求され、わずかな紙粉の浮遊はもとより、アウトガスを発生させる恐れのある化学物質の存在も不可とされる。

このため、上述した紙製のスタビライザを接着剤で濾材に接着する従来のスタビライザ付きエアフィルタは、スタビライザから紙粉が発生するとともに、化学物質としての接着剤がアウトガスを発生させる恐れもあるので、超高清浄度が要求される半導体用等のクリーンルームには使用できない問題がある。

そこで、本発明の課題は、超高清浄度が要求されるクリーンルームにも使用できるスタビライザ付きエアフィルタを提供することである。

上記の課題を解決するために、本発明は、プリーツ状に折り曲げられたシート状の濾材を、エアが流入、流出する前後面が開口した矩形状の枠体に収納し、この濾材の前後面の少なくとも一方で、濾材のプリーツと直交方向に櫛歯状のスタビライザを装着したエアフィルタにおいて、前記櫛歯状のスタビライザを樹脂で形成し、このスタビライザを前記枠体の対向する枠間に差し渡して、その両端部を差し渡した枠に機械的締結手段で締結した構成を採用した。

すなわち、櫛歯状のスタビライザを樹脂で形成し、このスタビライザを枠体の対向する枠間に差し渡して、その両端部を差し渡した枠に機械的締結手段で締結することにより、スタビライザからの紙粉の発生をなくすとともに、アウトガスを発生させる恐れのある接着剤を用いずにスタビライザを装着し、超高清浄度が要求されるクリーンルームにも使用できるようにした。機械的締結手段としては、ねじ結合、加締めピン、クランプ等による締結手段を採用することができる。

前記スタビライザの少なくとも両端部に、前記櫛歯と背面側でＴ字状に直交する直交部を設け、この直交部を前記差し渡した枠に締結することにより、直交部を枠体の枠に重ね合わせて容易に締結することができる。

前記スタビライザの全長に亙って、前記櫛歯と背面側でＴ字状に直交する直交部を設け、この全長に亙る直交部の背面側に沿わせて金属製の補強部材を取り付けて、この補強部材の両端部を前記差し渡した枠に締結することによっても、補強部材を枠体の枠に重ね合わせて容易に締結することができる。この場合は、補強部材によって、風圧等によるスタビライザの撓みも抑制することができる。

前記補強部材の前記直交部が沿わされる側と反対側の背面側の幅方向中央部を凸状に突出させることにより、風圧等に対する補強部材の剛性を高めることができる。

前記補強部材に、前記スタビライザの直交部を、幅方向の両側から抱え込んで長手方向にスライド可能に係止する係止溝を設け、この係止溝の一端側から前記直交部を差し込んで前記補強部材を取り付けることにより、補強部材を容易にスタビライザに取り付けることができる。

前記スタビライザを長手方向に複数に分割して、分割したスタビライザの前記直交部を個別に前記係止溝に差し込むことにより、スタビライザが差し渡される枠体の枠間寸法が異なるエアフィルタにも分割したスタビライザを使用可能とし、スタビライザの汎用性を高めることができる。

前記スタビライザを１つずつの櫛歯に分割し、これらの分割した各櫛歯の間でスペース用のピースを前記係止溝に差し込むことにより、櫛歯のピッチを可変とすることができる。

本発明のエアフィルタは、櫛歯状のスタビライザを樹脂で形成し、このスタビライザを枠体の対向する枠間に差し渡して、その両端部を差し渡した枠に機械的締結手段で締結するようにしたので、スタビライザからの紙粉の発生をなくすとともに、アウトガスを発生させる恐れのある接着剤を用いずにスタビライザを装着し、超高清浄度が要求されるクリーンルームにも使用可能とすることができる。

以下、図面に基づき、本発明の実施形態を説明する。図１乃至図４は、第１の実施形態を示す。このエアフィルタは半導体用のクリーンルームに使用されるものであり、図１および図２に示すように、不織布で形成され、プリーツ状に折り曲げられたシート状の濾材１が、エアが流入、流出する前後面が開口した矩形状の枠体２に収納され、濾材１の前後面の両側で、濾材１のプリーツと直交方向に櫛歯状のスタビライザ３が装着され、その櫛歯３ａがプリーツ間に挿入されている。

前記スタビライザ３は樹脂で形成されて、櫛歯３ａと背面側でＴ字状に直交する直交部３ｂが全長に亙って設けられ、直交部３ｂの背面側に沿わせて金属製の補強部材４が取り付けられており、枠体２の対向する枠２ａ間に差し渡された補強部材４の両端部が、加締めピン５で枠２ａに締結されている。

図３（ａ）、（ｂ）に示すように、前記スタビライザ３の直交部３ｂは、幅方向両側に段違いの張り出し部３ｃが設けられるとともに、背面側の幅方向中央部に突条３ｄが設けられている。また、補強部材４は、背面側の幅方向中央部がＶ字状に突出し、スタビライザ３の直交部３ｂが沿わされる正面側に、張り出し部３ｃを両側から抱え込む鍔部４ａを有し、突条３ｄが入り込むＶ字状の係止溝４ｂが設けられており、係止溝４ｂの一端側から直交部３ｂを長手方向にスライドさせて差し込むことにより、補強部材４を容易にスタビライザ３に取り付けることができるようになっている。

図４（ａ）、（ｂ）に示すように、前記補強部材４は、スタビライザ３に取り付けられたのち、両端部を扁平に加工されてスタビライザ３が抜け止めされるとともに、両端部に取り付け孔４ｃを開けられ、枠体２の対向する枠２ａに重ねられて、加締めピン５で締結される。

図５は、前記スタビライザ３の第１の変形例を示す。このスタビライザ３は長手方向に複数に分割され、直交部３ｂが個別に補強部材４の係止溝４ｂに差し込まれるようになっている。したがって、この変形例では、スタビライザが差し渡される枠体２の枠２ａ間寸法が異なるエアフィルタにも分割したスタビライザ３を使用することができる。

図６は、前記スタビライザ３の第２の変形例を示す。このスタビライザ３は、櫛歯３ａが１つずつに分割され、これらの各櫛歯３ａの間で、スペース用のピース３ｆが係止溝４ｂに差し込まれるようになっている。したがって、この変形例では、ピース３ｆの幅や個数を変更することにより、櫛歯３ａのピッチを可変とすることができる。

図７（ａ）、（ｂ）は、第2の実施形態を示す。このエアフィルタは、基本的な構成は第１の実施形態のものと同じであり、前記スタビライザ３の補強部材４がなく、スタビライザ３の全長に亙って櫛歯３ａとＴ字状に直交する直交部３ｂが設けられ、直交部３ｂの扁平に形成された両端部に、枠体２の枠２ａへの取り付け孔３ｅが設けられ、両端部を除く部分が背面側へＶ字状に突出する断面とされており、直交部３ｂの両端部が枠体２の対向する枠２ａに、直接加締めピン５で締結されるようになっている点が異なる。図示は省略するが、その他の部分は第１の実施形態のものと同じである。

上述した各実施形態では、スタビライザまたはその補強部材の両端部を、加締めピンで枠体の枠に締結したが、ねじ結合、クランプ等の機械的締結手段で締結することもできる。

また、上述した各実施形態では、スタビライザを濾材の前後面の両側に１箇所ずつ装着したが、スタビライザは濾材の前後面の複数箇所に装着することもでき、前後面のいずれか一方のみに装着することもできる。

第１の実施形態のエアフィルタを示す外観斜視図 図１の横断面図 ａは図１のスタビライザの分解斜視図、ｂはａのスタビライザの横断面図 ａは図３のスタビライザに補強部材を取り付けた状態を示す斜視図、ｂはａの補強部材を枠体の枠に締結した状態を示す断面図 図３のスタビライザの第１の変形例を示す分解斜視図 図３のスタビライザの第２の変形例を示す分解斜視図 ａは第２の実施形態のエアフィルタのスタビライザを示す斜視図、ｂはａのスタビライザを枠体の枠に締結した状態を示す断面図

符号の説明

１ 濾材
２ 枠体
２ａ 枠
３ スタビライザ
３ａ 櫛歯
３ｂ 直交部
３ｃ 張り出し部
３ｄ 突条
３ｅ 取り付け孔
３ｆ ピース
４ 補強部材
４ａ 鍔部
４ｂ 係止溝
４ｃ 取り付け孔
５ 加締めピン

Claims (7)

1. プリーツ状に折り曲げられたシート状の濾材を、エアが流入、流出する前後面が開口した矩形状の枠体に収納し、この濾材の前後面の少なくとも一方で、濾材のプリーツと直交方向に櫛歯状のスタビライザを装着したエアフィルタにおいて、前記櫛歯状のスタビライザを樹脂で形成し、このスタビライザを前記枠体の対向する枠間に差し渡して、その両端部を差し渡した枠に機械的締結手段で締結したことを特徴とするエアフィルタ。
2. 前記スタビライザの少なくとも両端部に、前記櫛歯と背面側でＴ字状に直交する直交部を設け、この直交部を前記差し渡した枠に締結した請求項１に記載のエアフィルタ。
3. 前記スタビライザの全長に亙って、前記櫛歯と背面側でＴ字状に直交する直交部を設け、この全長に亙る直交部の背面側に沿わせて金属製の補強部材を取り付けて、この補強部材の両端部を前記差し渡した枠に締結した請求項１に記載のエアフィルタ。
4. 前記補強部材の前記直交部が沿わされる側と反対側の背面側の幅方向中央部を凸状に突出させた請求項３に記載のエアフィルタ。
5. 前記補強部材に、前記スタビライザの直交部を、幅方向の両側から抱え込んで長手方向にスライド可能に係止する係止溝を設け、この係止溝の一端側から前記直交部を差し込んで前記補強部材を取り付けるようにした請求項３または４に記載のエアフィルタ。
6. 前記スタビライザを長手方向に複数に分割して、分割したスタビライザの前記直交部を個別に前記係止溝に差し込んだ請求項５に記載のエアフィルタ。
7. 前記スタビライザを１つずつの櫛歯に分割し、これらの分割した各櫛歯の間でスペース用のピースを前記係止溝に差し込んだ請求項６に記載のエアフィルタ。

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