JP2010087177A - 搬送機構の制御方法、基板処理装置、及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロードポートと、ロードポートに接続された搬入出室と、搬入出室に接続されたロードロック室と、ロードロック室に接続された搬送室と、搬送室に接続された複数の処理室と、搬送室に設けられ、被処理基板を搬送する搬送機構と、を備えた基板処理装置の搬送機構の制御方法であって、被処理基板がロードポートに到着した後、かつ、被処理基板が搬送室に移送される前に、搬送機構を微少駆動させる。
【選択図】図3
Description
前記プログラムは、実行時に、上記第1の態様に係る搬送機構の制御方法が行われるように、コンピュータに前記基板処理装置を制御させる。
Claims (13)
- ロードポートと、
前記ロードポートに接続された搬入出室と、
前記搬入出室に接続されたロードロック室と、
前記ロードロック室に接続された搬送室と、
前記搬送室に接続された複数の処理室と、
前記搬送室に設けられ、被処理基板を搬送する搬送機構と、を備えた基板処理装置の前記搬送機構の制御方法であって、
前記被処理基板が前記ロードポートに到着した後、かつ、前記被処理基板が前記搬送室に移送される前に、前記搬送機構を微少駆動させることを特徴とする搬送機構の制御方法。 - 前記搬送機構が、前記被処理基板を保持するホルダを複数備えていることを特徴とする請求項1に記載の搬送機構の制御方法。
- 前記搬送機構が、
ハウジングと、
一端及び他端を有し、前記一端が前記ハウジングの外側に突出され、前記他端を前記ハウジングの内側に収容された回転軸と、
前記回転軸の一端側に接続されたアームと、
前記回転軸の他端側に接続され、前記回転軸を回転駆動する駆動機構と、
前記回転軸と前記ハウジングとの間に設けられ、前記ハウジングの内側と外側とをシールするメカニカルシールと、
を備えていることを特徴とする請求項1に記載の搬送機構の制御方法。 - 前記回転軸が複数あり、
前記複数の回転軸各々に、前記アームが接続されており、
前記複数の回転軸各々接続された前記アームの先端各々に、前記被処理基板を保持するホルダが設けられていることを特徴とする請求項3に記載の搬送機構の制御方法。 - 前記複数の回転軸が中空の回転軸を含み、この中空の回転軸を外軸とし、前記中空の回転軸の内部に挿入された回転軸を内軸とし、前記外軸及び前記内軸の回転中心が同軸である同軸回転軸構造を持つことを特徴とする請求項4に記載の搬送機構の制御方法。
- 前記メカニカルシールが、前記外軸と前記ハウジングとの間、及び前記外軸と前記内軸との間に設けられていることを特徴とする請求項5に記載の搬送機構の制御方法。
- 前記メカニカルシールが、オイルシールを含むことを特徴とする請求項3乃至請求項6いずれか一項に記載の搬送機構の制御方法。
- 前記搬送室が大気圧よりも低い圧力に減圧可能であり、
前記ハウジングの内側が、前記搬送室の圧力よりも高い状態に保持可能であることを特徴とする請求項3乃至請求項7いずれか一項に記載の搬送機構の制御方法。 - 前記微少駆動が、前記搬送機構の停止時間が基準時間を超えたか否かに基づいて実行されることを特徴とする請求項1乃至請求項8いずれか一項に記載の搬送機構の制御方法。
- 前記微少駆動の前に、前記搬送機構を駆動する駆動機構の許容トルク値を通常時に設定される許容トルク値よりも上昇させることを特徴とする請求項1に記載の搬送機構の制御方法。
- 前記微少駆動の前に、前記搬送機構を駆動する駆動機構の駆動トルクを通常時に設定される駆動トルクよりも上昇させることを特徴とする請求項1に記載の搬送機構の制御方法。
- ロードポートと、
前記ロードポートに接続された搬入出室と、
前記搬入出室に接続されたロードロック室と、
前記ロードロック室に接続された搬送室と、
前記搬送室に接続された複数の処理室と、
前記搬送室内に設けられた搬送機構と、
請求項1乃至請求項11いずれか一項に記載の搬送機構の制御方法を実行する制御装置と、
を具備することを特徴とする基板処理装置。 - コンピュータ上で動作し、基板処理装置を制御するプログラムが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、
前記プログラムは、実行時に、前記請求項1乃至請求項11いずれか一項に記載の搬送機構の制御方法が行われるように、コンピュータに前記基板処理装置を制御させることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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