JP2010086587A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の垂直磁気記録媒体100は、ディスク基体110上に少なくとも第1軟磁性層114aと、非磁性のスペーサ層114bと、第2軟磁性層114cと、磁気記録層122とをこの順に備え、第1軟磁性層114a及び第2軟磁性層114cが反強磁性交換結合を構成する垂直磁気記録媒体100であって、第1軟磁性層114aおよび第2軟磁性層114cには希土類金属が含まれていることを特徴としている。
【選択図】図1
Description
本発明にかかる垂直磁気記録媒体の実施形態について説明する。図1は、本実施形態にかかる垂直磁気記録媒体100の構成を説明する図である。図1に示す垂直磁気記録媒体100は、ディスク基体110、付着層112、第1軟磁性層114a、スペーサ層114b、第2軟磁性層114c、前下地層116、第1下地層118a、第2下地層118b、非磁性グラニュラー層120、第1磁気記録層122a、第2磁気記録層122b、補助記録層124、媒体保護層126、潤滑層128で構成されている。なお第1軟磁性層114a、スペーサ層114b、第2軟磁性層114cは、あわせて軟磁性層114を構成する。第1下地層118aと第2下地層118bはあわせて下地層118を構成する。第1磁気記録層122aと第2磁気記録層122bとはあわせて磁気記録層122を構成する。
ディスク基体110は、アモルファスのアルミノシリケートガラスをダイレクトプレスで円板状に成型したガラスディスクを用いることができる。なおガラスディスクの種類、サイズ、厚さ等は特に制限されない。ガラスディスクの材質としては、例えば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラス、又は、結晶化ガラス等のガラスセラミックなどが挙げられる。このガラスディスクに研削、研磨、化学強化を順次施し、化学強化ガラスディスクからなる平滑な非磁性のディスク基体110を得ることができる。
上述した基体成型工程で得られたディスク基体110上に、DCマグネトロンスパッタリング法にて付着層112、軟磁性層114、前下地層116、下地層118、非磁性グラニュラー層120、磁気記録層122、補助記録層124を順次成膜を行い、媒体保護層126はCVD法により成膜する。この後、潤滑層128をディップコート法により成膜する。なお、生産性が高いという点で、インライン型成膜方法を用いることも好ましい。以下、各層の構成および製造方法について説明する。
ディスク基体110上に、真空引きを行った成膜装置を用いて、DCマグネトロンスパッタリング法にてAr雰囲気中で、付着層112から補助記録層124まで順次成膜を行った。付着層112は、CrTiとした。軟磁性層114は、第1軟磁性層114a、第2軟磁性層114cの組成はCoFeNdZr(Ndの含有率は約3atom%とした)とし、スペーサ層114bの組成はRuとした。前下地層116の組成はfcc構造のNiW合金とした。下地層118は、第1下地層118aは低圧Ar下でRuを成膜し、第2下地層118bは高圧Ar下でRuを成膜した。非磁性グラニュラー層120の組成は非磁性のCoCr−SiO2とした。第1磁気記録層122aの組成は、CoCrPt−Cr2O3とし、第2磁気記録層122bの組成は、CoCrPt−SiO2−TiO2とした。補助記録層124の組成はCoCrPtBとした。媒体保護層126はCVD法によりC2H4を用いて成膜し、同一チャンバ内で、窒素を導入して窒化処理を行った。潤滑層128はディップコート法によりPFPEを用いて形成した。
110 …ディスク基体
112 …付着層
114 …軟磁性層
114a …第1軟磁性層
114b …スペーサ層
114c …第2軟磁性層
116 …前下地層
118 …下地層
118a …第1下地層
118b …第2下地層
120 …非磁性グラニュラー層
122 …磁気記録層
122a …第1磁気記録層
122b …第2磁気記録層
124 …補助記録層
126 …媒体保護層
128 …潤滑層
Claims (5)
- 基体上に少なくとも第1軟磁性層と、非磁性のスペーサ層と、第2軟磁性層と、磁気記録層とをこの順に備え、前記第1軟磁性層及び第2軟磁性層が反強磁性交換結合を構成する垂直磁気記録媒体において、
前記第1軟磁性層および第2軟磁性層には希土類金属が含まれていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記希土類金属の含有率は、8atom%以下であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記希土類金属は、Ndであることを特徴とする請求項1または2に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第1軟磁性層および第2軟磁性層には、Feが含まれていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第2軟磁性層の上に、NiWを含む層をさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
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JP2008253048A JP2010086587A (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 垂直磁気記録媒体 |
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JP2008253048A JP2010086587A (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 垂直磁気記録媒体 |
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JP2004118977A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
JP2006092721A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-04-06 | Showa Denko Kk | 垂直磁気記録媒体用基板、その製造方法、および垂直磁気記録媒体 |
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2008
- 2008-09-30 JP JP2008253048A patent/JP2010086587A/ja active Pending
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