JP2010071873A - イオンエネルギーの分光方法および分光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオンビームを被測定物に照射して散乱または反跳されるイオンのエネルギースペクトルを偏向電磁石およびイオン検出器を用いて計測するイオンエネルギーの分光方法で、イオンビームが、分光対象とする元素よりも質量が大きい元素のイオンであり、偏向電磁石の出側に偏向電極を設けて、散乱または反跳されたイオンの軌道を曲げて分離し、かつイオン検出器の前面にイオン分離用薄膜を設けて、イオン検出器に入射するイオンを分離して選別するようにした。それにより、1MeV以下の低い入射イオンエネルギーの領域で、軽元素の濃度分布を高感度かつ高精度で計測することが可能となる。
【選択図】図1
Description
P.Goppelt-Langer,et.al:Nucl.Instr.Meth.Phys.Res,vol.B118(1996),P.251
なお、前記検出角θaを小さくすることによって、前記位置検出器17で、散乱イオンとともに反跳イオンも検出することができる。
4:加速管 5:加速器ターミナル 6:イオンガス用容器
7:イオンビーム 8:ウイーンフィルタ 9スリット
10:静電Qレンズ 11:分析チャンバ 12:試料(被測定物)
13:検出ポート 14:ヨーク 15:電磁マグネットコイル
16:偏向電磁石 17:位置検出器 18:偏向電極
19:イオン分離手段 19a:マイラー膜 20:枠
21:支持台 22:真空容器 23:ゲート弁
24:真空排気口 25:膜交換空間部 25a:開口部
26:トランスファロッド 27:開閉用ボルト 28:蓋
Claims (11)
- イオン発生装置から出射されるイオンビームを被測定物に照射して散乱、または散乱および反跳されるイオンのエネルギースペクトルを、偏向電磁石およびイオン検出器を用いて計測するイオンエネルギーの分光方法において、前記イオンビームが、分光対象とする元素よりも質量が大きい元素のイオンであり、前記偏向電磁石の出側に偏向電極を設けて、この偏向電極により形成される電場によって散乱、または散乱および反跳されたイオンを偏向させて分離し、かつ前記イオン検出器の前面に、イオン分離用の薄膜を設けて、前記イオン検出器に入射するイオンを分離して選別することを特徴とするイオンエネルギーの分光方法。
- イオン発生装置から出射されるイオンビームを被測定物に照射して反跳されるイオンのエネルギースペクトルを、偏向電磁石およびイオン検出器を用いて計測するイオンエネルギーの分光方法において、この分光方法の対象となる元素が原子番号1〜9のいずれかの軽元素であり、前記イオンビームが、分光対象とする元素よりも質量が大きい元素のイオンであり、前記被測定物の照射面を前記イオンビームの照射方向に対して傾斜させ、前記偏向電磁石の出側に偏向電極を設けて、この偏向電極により形成される電場によって反跳されたイオンを偏向させて分離し、かつ前記イオン検出器の前面に、イオン分離用の薄膜を設けて、前記イオン検出器に入射するイオンを分離して選別することを特徴とするイオンエネルギーの分光方法。
- 前記イオン検出器が、マルチチャンネルプレートを用いた位置検出器または位置検出が可能なアレイタイプの半導体検出器であることを特徴とする請求項1または2に記載のイオンエネルギーの分光方法。
- 前記イオンビームのイオンエネルギーが1MeV以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のイオンエネルギーの分光方法。
- 前記イオンビームのイオンが、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)の希ガス元素、または窒素(N)、酸素(O)の気体元素、または炭素(C)の中のいずれかのイオンであることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のイオンエネルギーの分光方法。
- イオン源と、高電圧発生装置によりイオンを加速する加速管を備えたイオン発生装置から出射されるイオンビームを被測定物に照射して散乱、または散乱および反跳されるイオンのエネルギースペクトルを、偏向電磁石およびイオン検出器を用いて計測するイオンエネルギーの分光装置において、前記偏向電磁石の出側に偏向電極を設け、前記イオン検出器の前にイオン分離用の薄膜を設けて、散乱、または散乱および反跳イオンから計測対象とするイオンを分離して選別するようにしたことを特徴とするイオンエネルギーの散乱分光装置。
- イオン源と、高電圧発生装置によりイオンを加速する加速管を備えたイオン発生装置から出射されるイオンビームを被測定物に照射して反跳されるイオンのエネルギースペクトルを、偏向電磁石およびイオン検出器を用いて計測するイオンエネルギーの分光装置において、前記被測定物の照射面を前記イオンビームの照射方向に対して傾斜させて保持する手段を備え、前記偏向電磁石の出側に偏向電極を設け、かつ前記イオン検出器の前にイオン分離用の薄膜を設けて、反跳イオンおよび前記イオンビームの散乱イオンから、計測対象とする反跳イオンを分離して選別するようにしたことを特徴とするイオンエネルギーの分光装置。
- 前記イオン検出器が、マルチチャンネルプレートを用いた位置検出器または位置検出が可能なアレイタイプの半導体検出器であることを特徴とする請求項6または7に記載のイオンエネルギーの分光装置。
- 前記高電圧発生装置が、イオン発生装置から出射されるイオンビームの最大エネルギーが1MeVである発電容量を備えたことを特徴とする請求項6から8のいずれかに記載のイオンエネルギーの分光装置。
- 前記イオン分離用薄膜が、膜構成元素および組成が、既知の軽元素で構成される極薄膜であることを特徴とする請求項6から9のいずれかに記載のイオンエネルギーの分光装置。
- 前記極薄膜が、その外周に沿った取り付け枠に装着され、前記位置検出器が配置された真空容器がゲート弁を介して真空排気が可能な、トランスファロッドを備えた膜交換空間部に接続され、膜交換時に、真空に保持した状態で、前記トランスファロッドによりマイラー膜を膜交換空間部に移動させ、前記真空ゲート弁で前記真空容器を真空に保持しながら、膜交換空間部を大気開放してマイラー膜を大気中に取り出して交換し、交換したマイラー膜を膜交換空間部に装入した後にこの膜交換空間部を真空排気し、前記真空ゲート弁を開放して、トランスファロッドにより、交換したマイラー膜を真空状態に保持した真空容器に配置するようにしたことを特徴とする請求項10に記載のイオンエネルギーの分光装置。
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