JP2010060385A - 液膜厚の測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を回転させながら処理液によって処理した後、その基板上の液膜の厚さを測定する液膜厚の測定装置であって、基板上に残留する処理液によって発生する干渉縞の色階調変化を検出する撮像カメラ7と、撮像カメラによって検出された色階調変化から光回折の式(2ndcosθ=mλ)を用いて基板上の処理液の厚さを算出する処理装置8を具備する。
(ただし、式中、nは処理液の屈折率、dは液膜の厚さ、θは処理液への光の入射角、mは整数、λは光の波長である。)
【選択図】 図1
Description
特許文献1に示された方法は測定対象物に対してレーザ光源から出射されたレーザ光を照射し、その測定対象物上の液膜から反射したレーザ光と、液膜を透過して測定対象物の上面で反射したレーザ光の2つの反射光をリニアイメージセンサで受光し、これらの反射光のリニアイメージセンサ上の位置に基いて測定対象物上の液膜の厚さを測定するようにしている。
基板上に残留する処理液によって発生する干渉縞の色階調変化を検出する検出手段と、
この検出手段によって検出された色階調変化から光回折の式(2ndcosθ=mλ)を用いて上記基板上の処理液の厚さを算出する算出制御手段と
を具備したことを特徴とする液膜厚の測定装置にある。
複数の光の波長において、上記mの値を任意に変化させたときの液膜の厚さを上記光回折の式から算出し、算出された各波長の光強度のピーク位置と上記検出手段によって検出された干渉縞の色階調変化の関係から上記mの値を決定することが好ましい。
基板上に残留する処理液によって発生する干渉縞の色階調変化を検出する工程と、
検出された色階調変化から光回折の式(2ndcosθ=mλ)を用いて上記基板上の処理液の厚さを算出する工程と
を具備したことを特徴とする液膜厚の測定方法にある。
図1乃至図5はこの発明の第1の実施の形態であって、図1は基板Wを処理液Lによって処理する処理装置としてのスピン処理装置1を示している。このスピン処理装置1はカップ体2を備えている。このカップ体2内には回転テーブル3が設けられている。この回転テーブル3は駆動源4によって回転駆動されるようになっている。
2ndcosθ=mλ …(1)式
で示される。上記(1)式において、nは処理液の屈折率、dは液膜の厚さ、θは処理液への光の入射角、mは整数、λは光の波長である。
なお、第4の実施の形態は第2、第3の実施の形態にも適用することができること、勿論である。
Claims (6)
- 基板を回転させながら処理液によって処理した後、その基板上の液膜の厚さを測定する液膜厚の測定装置であって、
基板上に残留する処理液によって発生する干渉縞の色階調変化を検出する検出手段と、
この検出手段によって検出された色階調変化から光回折の式(2ndcosθ=mλ)を用いて上記基板上の処理液の厚さを算出する算出制御手段と
を具備したことを特徴とする液膜厚の測定装置。
(ただし、上記式中、nは処理液の屈折率、dは液膜の厚さ、θは処理液への光の入射角、mは整数、λは光の波長である。) - 複数の光の波長において、上記mの値を任意に変化させたときの液膜の厚さを上記光回折の式から算出し、算出された各波長の光強度のピーク位置と上記検出手段によって検出された干渉縞の色階調変化の関係から上記mの値を決定することを特徴とする請求項1記載の液膜厚の測定装置。
- 上記基板上の液膜の厚さと時間の関係をレーザ変位計によって所定の厚さまで検出し、それ以下の液膜の厚さは、上記mの値を任意に設定したときの液膜の厚さと時間との関係を上記検出手段によって検出された干渉縞の色階調変化から求め、色階調変化から求められた液膜の厚さと時間との関係が上記レーザ変位計によって検出された液膜の厚さと時間との関係に適合したときに上記mの値を決定して求めることを特徴とする請求項1記載の液膜厚の測定装置。
- 上記基板上の液膜の厚さの変化を質量の変化から測定し、その質量の変化と、上記mの値を任意に変化させたときに上記光回折の式から算出される液膜の厚さとの関係から上記mの値を決定することを特徴とする請求項1記載の液膜厚の測定装置。
- 上記検出手段はハーフミラーを介して上記基板の緩衝縞の色階調変化を検出することを特徴とする請求項1記載の液膜厚の測定装置。
- 基板を回転させながら処理液によって処理した後、その基板上の液膜の厚さを測定する液膜厚の測定方法であって、
基板上に残留する処理液によって発生する干渉縞の色階調変化を検出する工程と、
検出された色階調変化から光回折の式(2ndcosθ=mλ)を用いて上記基板上の処理液の厚さを算出する工程と
を具備したことを特徴とする液膜厚の測定方法。
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