JP2010060317A - 半導体検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体デバイスSに対し、パルスレーザ光の照射によって発生する電磁波を利用して無バイアス状態で検査を行うとともに、半導体デバイスSのレイアウト情報を参照して検査範囲を設定し、その範囲内でパルスレーザ光の検査光L1による2次元走査を行う。また、半導体デバイスSの検査範囲を光学系の光軸に対して所定位置に配置し、半導体デバイスSに対して固浸レンズ36を設置した状態で、走査手段であるガルバノメータスキャナ30により、固浸レンズ36を介して半導体デバイスSの検査範囲内を検査光L1によって2次元走査するとともに、半導体デバイスSから出射された電磁波を光伝導素子40で検出する。
【選択図】 図1
Description
20…パルスレーザ光源、21…SHG素子、22…反射ミラー、23…ハーモニックセパレータ、24…変調装置、25…波形発生器、26…ビームエキスパンダ、27…波長板、28…偏光ビームスプリッタ、29…光ファイバ、30…ガルバノメータスキャナ、31…波長板、32…レンズ、33…ハーフミラー、34…ITO膜付き光学板、35…対物レンズ、36…固浸レンズ、37…レンズ、
40…光伝導素子、41…時間遅延光学系、42…時間遅延ステージ、43、44、45…反射ミラー、46…遅延ステージ駆動装置、47…レンズ、50…画像取得装置、51…電流アンプ、52…ロックインアンプ、
60…検査制御装置、61…検査処理制御部、62…検査ステージ制御部、63…走査制御部、64…画像取得制御部、65…遅延ステージ制御部、71…検査範囲設定部、72…不良解析部、73…断線箇所推定部、80…レイアウト情報処理装置、81…入力装置、82…表示装置。
Claims (15)
- 検査対象となる無バイアス状態の半導体デバイスを保持する検査ステージと、
前記半導体デバイスに対し、パルスレーザ光を検査光として照射するレーザ光源と、
前記検査光を前記レーザ光源から前記半導体デバイスへと導くとともに、前記検査光の光路を制御して前記半導体デバイスに対して設定された検査範囲内を前記検査光によって2次元走査する走査手段を有する検査光導光光学系と、
前記半導体デバイス及び前記検査光導光光学系の間に設置され、前記検査光導光光学系からの前記検査光を前記半導体デバイスへと集光しつつ照射する固浸レンズと、
前記検査光の照射によって前記半導体デバイスで発生し、前記固浸レンズを介して出射された電磁波を検出する電磁波検出手段と、
前記半導体デバイスの検査を制御する検査制御手段とを備え、
前記検査制御手段は、
前記半導体デバイスに対し、そのレイアウト情報を参照して、前記固浸レンズを介して前記検査光によって2次元走査すべき前記検査範囲を設定する検査範囲設定手段と、
前記半導体デバイスの前記レイアウト情報を参照して、前記検査光導光光学系に対する前記半導体デバイスの位置を制御して、前記検査範囲を光軸に対して所定位置に配置する位置制御手段と、
前記走査手段を駆動制御して、前記半導体デバイスの前記検査範囲内での前記固浸レンズを介した前記検査光による2次元走査を制御する走査制御手段と
を有することを特徴とする半導体検査装置。 - 前記検査範囲設定手段は、前記半導体デバイスの前記レイアウト情報から抽出された検査対象箇所に基づいて、前記検査範囲を導出することを特徴とする請求項1記載の半導体検査装置。
- 前記検査制御手段は、前記電磁波検出手段による前記電磁波の検出結果に基づいて、前記半導体デバイスの不良について解析を行う不良解析手段を有することを特徴とする請求項1または2記載の半導体検査装置。
- 前記不良解析手段は、前記電磁波検出手段による前記電磁波の検出強度に対して閾値を適用し、前記検出強度が前記閾値によって設定された良品強度範囲の内/外のいずれにあるかによって、前記半導体デバイスの良/不良を判別することを特徴とする請求項3記載の半導体検査装置。
- 前記不良解析手段は、前記半導体デバイスの不良として、前記半導体デバイスに含まれる配線での断線の有無を判別することを特徴とする請求項3または4記載の半導体検査装置。
- 前記検査制御手段は、前記半導体デバイスの前記レイアウト情報、及び前記不良解析手段での解析結果に基づいて、前記半導体デバイスに含まれる配線での断線箇所を推定する断線箇所推定手段を有することを特徴とする請求項5記載の半導体検査装置。
- 前記走査手段は、前記検査光の光路を制御するためのガルバノメータスキャナを含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の半導体検査装置。
- 前記固浸レンズは、前記半導体デバイスへと照射される前記検査光と、前記半導体デバイスから出射される前記電磁波とに対して透過性を有する材質からなることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項記載の半導体検査装置。
- 前記固浸レンズは、GaP(ガリウム燐)からなることを特徴とする請求項8記載の半導体検査装置。
- 検査対象となる無バイアス状態の半導体デバイスを保持する検査ステージと、
前記半導体デバイスに対し、パルスレーザ光を検査光として照射するレーザ光源と、
前記検査光を前記レーザ光源から前記半導体デバイスへと導くとともに、前記検査光の光路を制御して前記半導体デバイスに対して設定された検査範囲内を前記検査光によって2次元走査する走査手段を有する検査光導光光学系と、
前記半導体デバイス及び前記検査光導光光学系の間に設置され、前記検査光導光光学系からの前記検査光を前記半導体デバイスへと集光しつつ照射する固浸レンズと、
前記検査光の照射によって前記半導体デバイスで発生し、前記固浸レンズを介して出射された電磁波を検出する電磁波検出手段とを備える半導体検査装置を用い、
前記半導体デバイスに対し、そのレイアウト情報を参照して、前記固浸レンズを介して前記検査光によって2次元走査すべき前記検査範囲を設定する検査範囲設定ステップと、
前記半導体デバイスの前記レイアウト情報を参照して、前記検査光導光光学系に対する前記半導体デバイスの位置を制御して、前記検査範囲を光軸に対して所定位置に配置する位置制御ステップと、
前記走査手段を駆動制御して、前記半導体デバイスの前記検査範囲内での前記固浸レンズを介した前記検査光による2次元走査を制御する走査制御ステップと
を備えることを特徴とする半導体検査方法。 - 前記検査範囲設定ステップは、前記半導体デバイスの前記レイアウト情報から抽出された検査対象箇所に基づいて、前記検査範囲を導出することを特徴とする請求項10記載の半導体検査方法。
- 前記電磁波検出手段による前記電磁波の検出結果に基づいて、前記半導体デバイスの不良について解析を行う不良解析ステップを備えることを特徴とする請求項10または11記載の半導体検査方法。
- 前記不良解析ステップは、前記電磁波検出手段による前記電磁波の検出強度に対して閾値を適用し、前記検出強度が前記閾値によって設定された良品強度範囲の内/外のいずれにあるかによって、前記半導体デバイスの良/不良を判別することを特徴とする請求項12記載の半導体検査方法。
- 前記不良解析ステップは、前記半導体デバイスの不良として、前記半導体デバイスに含まれる配線での断線の有無を判別することを特徴とする請求項12または13記載の半導体検査方法。
- 前記半導体デバイスの前記レイアウト情報、及び前記不良解析ステップでの解析結果に基づいて、前記半導体デバイスに含まれる配線での断線箇所を推定する断線箇所推定ステップを備えることを特徴とする請求項14記載の半導体検査方法。
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