JP2016176808A - テラヘルツ波顕微鏡および焦点制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テラヘルツ波顕微鏡は、支持部と、光源と、光学機構と、制御機構とを具備する。前記支持部は、観察対象を支持する。前記光源は、励起光を発生する。前記光学機構は、前記観察対象に前記励起光を照射することで、前記観察対象から発生するテラヘルツ波を検出するように構成される。前記制御機構は、前記支持部に支持された前記観察対象の焦点誤差を測定するように構成され、その測定情報に基づき、前記光学機構の焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、前記支持部および前記光学機構の相対移動を制御するように構成される。
【選択図】図2
Description
前記支持部は、観察対象を支持する。
前記光源は、励起光を発生する。
前記光学機構は、前記観察対象に前記励起光を照射することで、前記観察対象から発生するテラヘルツ波を検出するように構成される。
前記制御機構は、前記支持部に支持された前記観察対象の焦点誤差を測定するように構成され、その測定情報に基づき、前記光学機構の焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、前記支持部および前記光学機構の相対移動を制御するように構成される。
本技術では、制御機構が、光学機構の焦点を、支持部に支持された観察対象に合わせるよう構成される。したがって、光学機構によって取得されるテラヘルツ波の強度低下を防止することができるので、光学機構は適切な検出信号を得ることができる。これにより、観察精度を高めることができる。
前記励起光照射部は、第1焦点を有し、前記観察対象に前記励起光を照射する。
前記取出部は、第2焦点および第3焦点を有し、前記観察対象から発生するテラヘルツ波を取り出す。
前記検出部は、前記取出部により取り出されたテラヘルツ波を検出する。
前記制御機構は、前記第1焦点および前記第2焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、かつ、前記第3焦点を前記検出部の位置に合わせるように、前記相対移動の制御を実行するように構成されてもよい。
前記光学機構は、プローブ光照射部と、光学遅延部とを有してもよい。
前記プローブ光照射部は、第4焦点を有し、前記生成部により生成された前記プローブ光を前記検出部に照射する。
前記光学遅延部は、前記プローブ光の光路長を調整する。
前記制御機構は、さらに前記第3焦点および前記第4焦点を前記検出部の位置に合わせるように、前記相対移動の制御を実行するように構成されてもよい。
これにより、プローブ光を用いた同期検波によってテラヘルツ波を検出する形態の光学機構おいても、検出器で取得されるテラヘルツ波の強度低下を防止することができる。その結果、観察精度が向上する。
これにより、制御機構は、画像処理によって、測定情報、すなわち焦点誤差を測定することができる。
焦点制御において観察対象の厚さが考慮されたオフセット値が使用されることにより、観察精度を高めることができる。
前記焦点制御方法は、前記支持部に支持された前記観察対象の焦点誤差を測定することを含む。
前記焦点誤差の測定情報に基づき、前記光学機構の焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、前記支持部および前記光学機構の相対移動が制御される。
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
[他の種々の実施形態]
(1)
観察対象を支持する支持部と、
励起光を発生する光源と、
前記観察対象に前記励起光を照射することで、前記観察対象から発生するテラヘルツ波を検出するように構成された光学機構と、
前記支持部に支持された前記観察対象の焦点誤差を測定するように構成され、その測定情報に基づき、前記光学機構の焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、前記支持部および前記光学機構の相対移動を制御するように構成された制御機構と
を具備するテラヘルツ波顕微鏡。
(2)
前記(1)に記載のテラヘルツ波顕微鏡であって、
前記光学機構は、
第1焦点を有し、前記観察対象に前記励起光を照射する励起光照射部と、
第2焦点および第3焦点を有し、前記観察対象から発生するテラヘルツ波を取り出す取出部と、
前記取出部により取り出されたテラヘルツ波を検出する検出部と
を有し、
前記制御機構は、前記第1焦点および前記第2焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、かつ、前記第3焦点を前記検出部の位置に合わせるように、前記相対移動の制御を実行するように構成される
テラヘルツ波顕微鏡。
(3)
前記(2)に記載のテラヘルツ波顕微鏡であって、
前記光源からの前記励起光からプローブ光を生成する生成部をさらに具備し、
前記光学機構は、
第4焦点を有し、前記生成部により生成された前記プローブ光を前記検出部に照射するプローブ光照射部と、
前記プローブ光の光路長を調整する光学遅延部と
を有し、
前記制御機構は、さらに前記第3焦点および前記第4焦点を前記検出部の位置に合わせるように、前記相対移動の制御を実行するように構成される
テラヘルツ波顕微鏡。
(4)
前記(1)から(3)のうちいずれか1項に記載のテラヘルツ波顕微鏡であって、
前記制御機構は、
撮像部と、
前記撮像部で撮影された前記観察対象の画像データに基づき、前記測定情報を得るように構成された処理部と
を有する
テラヘルツ波顕微鏡。
(5)
前記(1)から(4)のうちいずれか1項に記載のテラヘルツ波顕微鏡であって、
前記制御機構は、前記観察対象に応じた、前記光学機構の焦点距離のオフセット値を取得する取得部を有し、前記測定情報および前記取得されたオフセット値に基づき、前記光学機構の焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、前記相対移動の制御を実行するように構成される
テラヘルツ波顕微鏡。
(6)
観察対象を支持する支持部と、観察対象に励起光を照射することで、前記観察対象から発生するテラヘルツ波を検出するように構成された光学機構とを備えるテラヘルツ波顕微鏡による焦点制御方法であって、
前記支持部に支持された前記観察対象の焦点誤差を測定し、
前記焦点誤差の測定情報に基づき、前記光学機構の焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、前記支持部および前記光学機構の相対移動を制御する
焦点制御方法。
L1…プローブ光
F1…第1焦点
F2…第2焦点
F3…第3焦点
F4…第4焦点
10…制御部
11…励起光源
15…カメラ
20、120…光学機構
22…励起光照射部
22A、24A、26A、28A…ステージ
23…光学遅延部
23A…遅延ステージ
24…取出部
26…検出部
28…プローブ光照射部
32、34、36、38…ステージコントローラ
33…遅延ステージコントローラ
35…支持部コントローラ
40…支持部
100…テラヘルツ波顕微鏡
Claims (6)
- 観察対象を支持する支持部と、
励起光を発生する光源と、
前記観察対象に前記励起光を照射することで、前記観察対象から発生するテラヘルツ波を検出するように構成された光学機構と、
前記支持部に支持された前記観察対象の焦点誤差を測定するように構成され、その測定情報に基づき、前記光学機構の焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、前記支持部および前記光学機構の相対移動を制御するように構成された制御機構と
を具備するテラヘルツ波顕微鏡。 - 請求項1に記載のテラヘルツ波顕微鏡であって、
前記光学機構は、
第1焦点を有し、前記観察対象に前記励起光を照射する励起光照射部と、
第2焦点および第3焦点を有し、前記観察対象から発生するテラヘルツ波を取り出す取出部と、
前記取出部により取り出されたテラヘルツ波を検出する検出部と
を有し、
前記制御機構は、前記第1焦点および前記第2焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、かつ、前記第3焦点を前記検出部の位置に合わせるように、前記相対移動の制御を実行するように構成される
テラヘルツ波顕微鏡。 - 請求項2に記載のテラヘルツ波顕微鏡であって、
前記光源からの前記励起光からプローブ光を生成する生成部をさらに具備し、
前記光学機構は、
第4焦点を有し、前記生成部により生成された前記プローブ光を前記検出部に照射するプローブ光照射部と、
前記プローブ光の光路長を調整する光学遅延部と
を有し、
前記制御機構は、さらに前記第3焦点および前記第4焦点を前記検出部の位置に合わせるように、前記相対移動の制御を実行するように構成される
テラヘルツ波顕微鏡。 - 請求項1に記載のテラヘルツ波顕微鏡であって、
前記制御機構は、
撮像部と、
前記撮像部で撮影された前記観察対象の画像データに基づき、前記測定情報を得るように構成された処理部と
を有する
テラヘルツ波顕微鏡。 - 請求項1に記載のテラヘルツ波顕微鏡であって、
前記制御機構は、前記観察対象に応じた、前記光学機構の焦点距離のオフセット値を取得する取得部を有し、前記測定情報および前記取得されたオフセット値に基づき、前記光学機構の焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、前記相対移動の制御を実行するように構成される
テラヘルツ波顕微鏡。 - 観察対象を支持する支持部と、観察対象に励起光を照射することで、前記観察対象から発生するテラヘルツ波を検出するように構成された光学機構とを備えるテラヘルツ波顕微鏡による焦点制御方法であって、
前記支持部に支持された前記観察対象の焦点誤差を測定し、
前記焦点誤差の測定情報に基づき、前記光学機構の焦点を前記観察対象の位置に合わせるように、前記支持部および前記光学機構の相対移動を制御する
焦点制御方法。
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CN107664626B (zh) * | 2017-08-02 | 2019-11-08 | 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所) | 一种衰减全反射式太赫兹光谱测量探头 |
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