JP2010054334A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板1b上に島状構造物1cを有する試料1に1次X線6を照射するX線源3と、基板表面1aへの1次X線6の照射角度αを調整する照射角度調整手段5と、試料1からの蛍光X線7強度を測定する検出手段8と、島状構造物1cの組成、高さおよび占有率を仮定し、照射角度調整手段5により調整された照射角度αごとに、仮定した島状構造物1cの組成、高さおよび占有率に基づいて島状構造物1c中の各元素からの蛍光X線7の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段8で測定した測定強度とが合致するように、仮定した島状構造物1cの組成、高さおよび占有率を逐次近似的に修正計算して、島状構造物1cの組成、高さおよび占有率を算出する算出手段11とを備える。
【選択図】図1
Description
1a 基板表面
1b 基板
1c 島状構造物
3 X線源
5 照射角度調整手段
6 1次X線
7 蛍光X線
8 検出手段
11 算出手段
h 島状構造物の高さ
α 照射角度
Claims (1)
- 基板および基板上に点在する島状構造物を有する試料に1次X線を照射するX線源と、
基板表面への1次X線の照射角度を調整する照射角度調整手段と、
試料から発生する蛍光X線の強度を測定する検出手段と、
島状構造物について組成、高さ、および総底面積の基板表面積に対する百分率である占有率を仮定し、前記照射角度調整手段により照射角度を調整された1次X線の照射ごとに、前記仮定した島状構造物の組成、高さおよび占有率に基づいて島状構造物中の各元素から発生する蛍光X線の理論強度を計算し、その理論強度と前記検出手段で測定した測定強度とが合致するように、前記仮定した島状構造物の組成、高さおよび占有率を逐次近似的に修正計算して、島状構造物の組成、高さおよび占有率を算出する算出手段とを備えた蛍光X線分析装置。
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