JP2010050621A - 薄膜バラン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本実施形態に係る薄膜バランは、2つのコイルを備える不平衡伝送線路と、2つのコイルを備え、不平衡伝送線路に電磁気的に結合する平衡伝送線路と、平衡伝送線路に接続された、キャパシタ4を構成する第1電極と、接地端子72に接続された、第1電極に対向配置されてキャパシタ4を構成する第2電極51と、を有する。第2電極51は、不平衡伝送線路又は平衡伝送線路を構成するコイルに対向する部分を有すると共に、第1電極に対向して一体に形成されていることを特徴とする。
【選択図】図6
Description
図1に示すように、コイル11と、コイル12と、コイル11及びコイル12を接続する引き出し配線32とにより不平衡伝送線路2が構成されている。不平衡伝送線路2の一端は不平衡信号端子71に接続されており、不平衡伝送線路2の他端は開放されている。また、コイル21と、コイル22と、コイル21及びコイル22を接続する引き出し配線31とにより平衡伝送線路3が構成される。2つのコイル21,22の一端は、引き出し配線31を介してDC供給端子73に接続され、またキャパシタ4を介して接地端子72に接続されている。2つのコイル21,22の他端は、平衡信号端子74,75に接続されている。
上記の薄膜バラン1では、不平衡信号端子71に不平衡信号が入力されると、不平衡信号はコイル11、引き出し配線32、及びコイル12を伝播する。そして、コイル11においてはコイル21と電磁気的に結合し、コイル12においてはコイル22と電磁気的に結合することによって、不平衡信号は位相が180°異なる2つの平衡信号に変換され、この2つ平衡信号が平衡信号端子74,75から出力される。このとき、DC供給端子73にバイアス電圧を印加しておくことにより、平衡信号が増幅されて出力される。なお、平衡信号から不平衡信号の変換動作は、上述した動作を逆にしたものである。
この薄膜バランは、さらに不平衡回路と電磁気的に結合する平衡回路を有し、その平衡回路は一対の1/4波長回路を構成する伝送線路(第2のコイル部)を備えている。平衡回路を構成する一方の1/4波長回路の一端は平衡信号端子に接続され、その他端は平衡回路を構成する他方の1/4波長回路の一端と接続される。また、平衡回路を構成する他方の1/4波長回路の他端は平衡信号端子に接続される。さらに、平衡回路を構成する一対の1/4波長回路間の一点はキャパシタの一端と直流供給端子に接続され、そしてキャパシタの他端は接地端子に接続される。
このような回路構成において、そのキャパシタを構成する一対の電極のうちいずれか一方が、第1のコイル又は第2のコイルの少なくとも一方に対向する部分を有すると共に、第1の電極に対向して、一体に形成されている。
図7に示す構造において、コイル22から上部電極51までの距離t1を70μmに設定した構造を実施例1とする。各配線層のレイアウトは、図2〜6に示した通りである。
図8は、比較例1の薄膜バランの概略断面図を示す。比較例1では、上部電極51aを、下部電極41に対向する領域にのみ配置し、上部電極51aの上層に別個独立したシールド電極80を配置した。図7に示す実施例1と同じシールド条件にすべく、コイル22からシールド電極80までの距離t2を70μmに設定した。
上記の実施例1及び比較例1の構造について、2つの平衡信号の出力バランスをシミュレーションにより求めた。目的の周波数は、2400−2500MHzとした。以下の評価では、出力バランスが−1.0dB以上1.0dB以下を合格基準とした。結果を図9に示す。図9では、E1は実施例1の結果、C1は比較例1の結果を示す。
実施例2では、図10に示すように、下部電極41に対向する領域から2つのコイル開口C1,C2に対向する領域に延在する上部電極52を形成した。なお、コイルから上部電極までの距離は実施例1と同様70μmに設定した。
図12に示す実施例3では、キャパシタ4の下部電極42a,42bが、左右のコイルを各コイルに分割する仮想線(NC端子76とDC供給端子73とを結ぶ仮想線に等しい)に対して対称となるように配置されたものである。なお、下部電極42a,42bは、コイル開口C1,C2には重ならないが、コイル導体に重なるように配置されている。下部電極42a,42b同士は、引き出し配線43により接続されている。
図13に示す実施例4では、下部電極43は、左右のコイルに重ならないように配置されている。具体的には、下部電極43は、右側のコイルの周囲であって、接地端子72とDC供給端子73の間の領域に配置されている。
Claims (7)
- 一対の第1のコイルを備える不平衡伝送線路と、
一対の第2のコイルを備え、前記不平衡伝送線路に電磁気的に結合する平衡伝送線路と、
前記平衡伝送線路に接続された、キャパシタを構成する第1電極と、
接地端子に接続された、前記第1電極に対向配置されて前記キャパシタを構成する第2電極と、
を有し、
前記第2電極は、第1のコイル又は第2のコイルの少なくとも一方に対向する部分を有すると共に、第1電極に対向して一体に形成されていることを特徴とする、
薄膜バラン。 - 前記第2電極は、前記第1電極に対向する領域から、前記第1のコイル及び前記第2のコイルのコイル開口に対向する領域まで延在した、
請求項1記載の薄膜バラン。 - 前記第2電極は、前記第1のコイル及び前記第2のコイルの双方に対向する領域に配置された、
請求項1記載の薄膜バラン。 - 前記第1電極は、前記第1のコイル及び前記第2のコイルのコイル開口に重ならないように配置された、
請求項1記載の薄膜バラン。 - 前記第1電極は、前記第1のコイル又は前記第2のコイルのコイル導体に対向する領域に配置された、請求項1記載の薄膜バラン。
- 前記第1電極は、前記第1のコイル及び前記第2のコイルに重ならないように配置された、
請求項1記載の薄膜バラン。 - 前記一対の第1のコイルは同一面に並んで配置され、前記一対の第2のコイルは前記一対の第1のコイルに対向して配置されており、
前記第1電極は、前記一対の第1のコイル又は前記一対の第2のコイルを各コイルに分割する仮想線に対して対称となるように配置された、
請求項1記載の薄膜バラン。
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