JP5326932B2 - 薄膜バラン - Google Patents
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Description
fr=1/{2π(L・C)1/2} …(1)、
で表される。ここで、式中、frは共振周波数を示し、L(L成分)は、不平衡伝送線路と平衡伝送線路部で形成される共振回路の等価的なインダクタンスを示し、C(C成分)は、同キャパシタンスを示す。
図1は、本発明の薄膜バランに係る第1実施形態の構成を示す等価回路図である。薄膜バラン1は、線路部L1(第1の線路部)及び線路部L2(第2の線路部)が直列に接続された不平衡伝送線路(不平衡回路)ULと、線路部L3(第3の線路部)及び線路部L4(第4の線路部)が直列に接続された平衡伝送線路(平衡回路)BLとを備えており、線路部L1及び線路部L3、並びに、線路部L2及び線路部L4によって、それぞれ電磁結合が形成されている。
次に、薄膜バランの一実施例における各配線層M0,M1,M2,M3のパターンについて詳細に説明する。以下の実施例では、線路部L1〜L4としてコイル部を用いたものである。
図7は、本発明の実施例1Bの薄膜バラン1Bにおける配線層M0を概略的に示す水平断面図である。配線層M0以外の構成は、実施例1Aと同様である。図7に示す薄膜バラン1Bでは、キャパシタ電極DE1の長さ(実質的にキャパシタ電極として寄与する部分の長さ)を実施例1Aの半分にしたものである。このように、実施例1Bに示す薄膜バランでは、薄膜バランの共振回路に導入されるキャパシタンスは、実施例1Aの半分に設定されている。
以上説明した薄膜バラン1A,1Bについて、通過特性(挿入損失)をシミュレーションにより求めた。伝送信号の評価対象周波数(共振周波数fr)を2400〜2500MHzとした。図8は、通過特性の評価結果を示す図である。各図において、曲線E1A,E1Bが、それぞれ、薄膜バラン1A,1Bの評価結果を示す。なお、図8の曲線R0は、キャパシタ電極DE1を備えていない比較例の薄膜バランの評価結果を示す。通過特性は、評価対象周波数領域において信号をどれだけ損失させずに通過させているかを示すものであり、評価対象周波数領域において0dBが理想的な通過特性となる。
図9は、本発明の実施例1Cの薄膜バラン1Cにおける配線層M0を概略的に示す水平断面図である。配線層M0以外の構成は、実施例1Aと同様である。図9に示す薄膜バラン1Cでは、キャパシタ電極DE1が、平面視において、コイル部C2の左から2列目のコイル導体12に対向するように、上下方向に延在して配置されている。コイル部C2と対向する部分におけるキャパシタ電極DE1の面積(実質的にキャパシタ電極として寄与する面積)は、実施例1Aと同じに設定されている。
図10は、本発明の実施例1Dの薄膜バラン1Dにおける配線層M0を概略的に示す水平断面図である。配線層M0以外の構成は、実施例1Aと同様である。図10に示す薄膜バラン1Dでは、キャパシタ電極DE1が、平面視において、コイル部C2の下から1列目のコイル導体12に対向するように、左右方向に延在して配置されている。コイル部C2と対向する部分におけるキャパシタ電極DE1の面積(実質的にキャパシタ電極として寄与する面積)は、実施例1Aと同じに設定されている。
図11は、本発明の実施例1Eの薄膜バラン1Eにおける配線層M0を概略的に示す水平断面図である。配線層M0以外の構成は、実施例1Aと同様である。図11に示す薄膜バラン1Eでは、キャパシタ電極DE1が、平面視において、コイル部C2の右から2列目のコイル導体12に対向するように、上下方向に延在して配置されている。コイル部C2と対向する部分におけるキャパシタ電極DE1の面積(実質的にキャパシタ電極として寄与する面積)は、実施例1Aと同じに設定されている。
図12は、本発明の実施例1Fの薄膜バラン1Fにおける配線層M0を概略的に示す水平断面図である。配線層M0以外の構成は、実施例1Aと同様である。図12に示す薄膜バラン1Fでは、キャパシタ電極DE1が、平面視において、コイル部C2を構成するコイル導体12の開放端の部位に対向するように、上下方向に延在して配置されている。コイル部C2と対向する部分におけるキャパシタ電極DE1の面積(実質的にキャパシタ電極として寄与する面積)は、実施例1Aと同じに設定されている。
以上説明した薄膜バラン1C〜1Fについて、通過特性(挿入損失)及び平衡特性(平衡信号の位相差及び振幅差)をシミュレーションにより求めた。伝送信号の評価対象周波数(共振周波数fr)を2400〜2500MHzとした。図13は、通過特性の評価結果を示す図であり、図14は位相差の評価結果を示す図であり、図15は振幅差の評価結果を示す図である。各図において、曲線E1A,E1C〜E1Fが、それぞれ、薄膜バラン1A,1C〜1Fの評価結果を示す。
図16は、本発明の薄膜バランに係る第2実施形態の構成を示す等価回路図である。第2実施形態の薄膜バラン2は、不平衡端子UTと線路部L2との間にキャパシタD1が導入されることに加えて、不平衡端子UTと線路部L1との間にキャパシタD2が導入されたものである。
次に、図16に示す回路構成を備える薄膜バランの一実施例における配線層M0のパターンについて詳細に説明する。図17は、本発明の実施例2Aの薄膜バラン2Aにおける配線層M0を概略的に示す水平断面図である。配線層M0以外の構成は、実施例1Aと同様である。図17に示す薄膜バラン2Aでは、不平衡端子UTに接続する2つのキャパシタ電極DE1,DE2が形成されており、一方のキャパシタ電極DE1の配置は実施例1Eと同じである。他方のキャパシタ電極DE2は、平面視において、コイル部C1の左から2列目のコイル導体11に対向するように、上下方向に延在して配置されている。
図18は、本発明の実施例2Bの薄膜バラン2Bにおける配線層M0を概略的に示す水平断面図である。配線層M0以外の構成は、実施例1Aと同様である。図18に示す薄膜バラン2Bでは、不平衡端子UTに接続する2つのキャパシタ電極DE1,DE2が形成されており、一方のキャパシタ電極DE1の配置は実施例1Eと同じである。他方のキャパシタ電極DE2は分岐しており、実施例2Aに比べてキャパシタDE2の電極面積が拡大されている。
以上説明した薄膜バラン2A,2Bについて、通過特性(挿入損失)及び平衡特性(平衡信号の位相差及び振幅差)をシミュレーションにより求めた。伝送信号の評価対象周波数(共振周波数fr)を2400〜2500MHzとした。図19は、通過特性の評価結果を示す図であり、図20は位相差の評価結果を示す図であり、図21は振幅差の評価結果を示す図である。各図において、曲線E2A,E2Bが、それぞれ、薄膜バラン2A,2Bの評価結果を示す。なお、各図における曲線E1Eは、キャパシタ電極DE2を有しない実施例1Eの薄膜バラン曲線の評価結果を示す。
Claims (1)
- 第1の線路部及び第2の線路部を有する不平衡伝送線路と、
前記第1の線路部及び前記第2の線路部のそれぞれに対向し且つ電磁結合する第3の線路部及び第4の線路部を有する平衡伝送線路と、
前記第4の線路部と対向する前記第2の線路部の一部と対向し、且つ、キャパシタを構成するキャパシタ電極と、
前記第3の線路部と対向する前記第1の線路部の一部と対向し、且つ、キャパシタを構成するキャパシタ電極と、
前記第1の線路部、並びに、前記第2の線路部の一部と対向する前記キャパシタ電極、及び、前記第1の線路部の一部と対向する前記キャパシタ電極に接続された不平衡端子と、
を備える薄膜バラン。
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