JP2010049803A - 近視野光ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 錐状のチップと略同じ高さを有するストッパーをチップの周囲に設け、チップおよびストッパーを覆った接触体の一部を外部の力により変位させ、変位した接触体の一部をチップ先端近傍の遮光膜に接触させることで開口を形成する。一括で多くの開口を形成できる本作製方法は、量産性に優れ、かつ、本作製方法で形成した開口が高光効率で高分解能な構造であることから、高密度で高速な記録/再生が可能な近視野光ヘッドを量産性良く作製できる。
【選択図】 図11
Description
(実施の形態1)
まず、本発明の実施の形態1に係わる近視野光ヘッドの開口形成方法について図1から図3を用いて説明する。図1に示す、ワーク1000は、基板4上に形成された透明層5、透明層5の上に形成された錐状のチップ1および尾根状のストッパー2、チップ1、ストッパー2および透明層5の上に形成された遮光膜3からなる。なお、ワーク1000において、透明層5は、必ずしも必要ではなく、その場合、遮光膜3は、チップ1、ストッパー2および基板4上に形成される。また、遮光膜3は、チップ1にだけ堆積されていてもよい。
透過させる必要はなく、構成材料の中には、遮光する材料、例えば金属やそれらの合金が含まれていても構わない。また、チップが多種類の誘電体から構成されていても、勿論構わない。遮光膜3は、たとえば、アルミニウム、クロム、金、白金、銀、銅、チタン、タングステン、ニッケル、コバルトなどの金属や、それらの合金を用いる。また、基板4は透明な材料でも良く、チップ1、ストッパー2、透明層5、基板4が同一材料であっても構わない。
(実施の形態2)
図16に実施の形態2に係わる近視野光ヘッドの概略図を示す。図16では、エアーベアリング面27及びチップ28を上面として描いている。本実施の形態2に係る近視野光ヘッド50では、エアーベアリング面27の一部に溝29が形成されており、その一部の溝29にはチップ28が形成されている。実施の形態1で示したストッパーは形成されていない。図16では、円形の溝29が形成されているが、円形に限らず、三角形、四角形あるいは多角形であっても構わない。しかし、チップ28は、常にその中心に配置される。また、図16では2つの溝29が描かれているが、2つに限らず、1つまたは、複数個形成されていても構わない。しかし、エアーベアリング面27が受ける浮上力の左右のバランスを保つためには、図16のように2本のエアーベアリング面27では左右同じ位置に溝29を形成することが望まれる。溝29の位置は、チップ28位置から決定した。エアーベアリング面27は、図10に示すように流体の流出端側の方がメディアに近接される。チップ28は、エアーベアリング面27の流出端側に位置する方が望ましい。そこで、図16では、チップ28位置に相当する位置に溝29を形成してある。また、溝29の大きさは、エアーベアリング面27が受ける浮上力を考慮に入れて設計され、その径および一辺の大きさは、10μmから300μm程度とする。
2、22、25、26、54 ストッパー
3 遮光膜
4、51 基板
5 透明層
6、58 板
7 押し込み用具
8、57 開口
11、20,30,40、50 近視野光ヘッド
12、24 微小開口
13 導波路
14 メディア
15 検出器
16 アーム
17 回転軸
18 光導波路
19、23、27、55 エアーベアリング面
29 溝
52 マスクパターン
56、59 金属膜
101 チップ用マスク
102 ストッパー用マスク
103 透明材料
104 基板材料
1000 ワーク
F 力
H1 チップの高さ
H2 ストッパーの高さ
Claims (13)
- メディアに向かって先鋭化された錐状のチップと、
前記チップの頂点近傍に存在し、前記メディアと近視野光を介して相互作用する光学的な開口と、
前記光学的な開口を除き、前記チップを覆う遮光膜と、
前記チップと略同じ高さを有する複数のストッパーと、
を有する近視野光ヘッドの製造方法において、
前記チップ及び前記ストッパーの少なくとも一部を覆う略平板の少なくとも一部を変形させ、前記チップ頂点近傍の前記遮光膜に接触させることで、前記光学的な開口を形成する工程を有することを特徴とする近視野光ヘッドの製造方法。 - 前記光学的な開口を形成する工程にて、複数の前記近視野光ヘッドにおける複数の前記光学的な開口を、同時に形成することを特徴とする請求項1に記載の近視野光ヘッドの製造方法。
- 前記近視野光ヘッド内に複数の前記光学的な開口が存在し、前記光学的な開口を形成する工程にて、前記複数の光学的な開口を形成することを特徴とする請求項1または2に記載の近視野光ヘッドの製造方法。
- 前記チップと前記ストッパーを同時に同一の工程にて形成することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の近視野光ヘッドの製造方法。
- 前記チップと前記ストッパーを同一材料とすることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の近視野光ヘッドの製造方法。
- メディアに向かって先鋭化された錐状のチップと、
前記チップを覆う遮光膜と、
前記チップと略同じ高さを有する複数のストッパーと、
前記チップ及び前記ストッパーの少なくとも一部を覆う略平板の少なくとも一部を変形させ、前記チップ頂点近傍の前記遮光膜に接触させることで形成した光学的な開口と、
を有することを特徴とする近視野光ヘッド。 - 複数の前記近視野光ヘッドにおける複数の前記光学的な開口を、同時に形成することを特徴とする請求項6に記載の近視野光ヘッド。
- 前記近視野光ヘッド内に複数の前記光学的な開口が存在していることを特徴とする請求項6または7のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
- 前記チップと前記ストッパーを同時に同一の工程にて形成することを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか1つに記載の近視野光ヘッド。
- 前記チップと前記ストッパーを同一材料とすることを特徴とする請求項6から請求項9のいずれか1つに記載の近視野光ヘッド。
- 前記光学的な開口を形成する工程にて前記光学的な開口を形成することで、前記平板にて変形させられた前記遮光膜の一部から前記チップの一部が突出していることを特徴とする請求項6から請求項10のいずれか一つに記載の近視野光ヘッド。
- 前記近視野光ヘッドの一部が前記メディアとの相対運動により浮上力を受け、前記光学的な開口と前記メディアとの距離を一定に保つ手段として、前記浮上力を利用することを特徴とする請求項6から請求項11のいずれか一つに記載の近視野光ヘッド。
- 前記ストッパーの一部が、前記浮上力を受けることを特徴とする請求項12に記載の近視野光ヘッド。
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