JP2010047978A

JP2010047978A - 真空チャンバ用のクランプ

Info

Publication number: JP2010047978A
Application number: JP2008213166A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Asai; 剛浅井
Original assignee: Tochigiya Co Ltd
Current assignee: Tochigiya Co Ltd
Priority date: 2008-08-21
Filing date: 2008-08-21
Publication date: 2010-03-04
Anticipated expiration: 2028-08-21
Also published as: JP5016570B2

Abstract

【課題】真空チャンバの空気漏れを防ぐことができるクランプの提供。
【解決手段】クランプ１６が真空チャンバ１におけるチャンバ部２の開口１１を蓋部３で密閉するときに使用されるクランプ１６は、チャンバ部２に取り付けられる受金部２１と蓋部３に取り付けられるハンドル部２２とを有する。受金部２１は、チャンバ部２の外側から内側へ向かう方向へばね付勢されている作用部位２８を有する。ハンドル部２２は、レバーハンドル２３と、掛金部３１と、これら両者２３，３１の間に介在するリンク部材３２とを含む。レバーハンドル２３は、第１旋回軸３８を中心に旋回してねじりコイルばね３９の作用下に蓋部３の外面３ａに対しての離間と接近とを反復する。掛金部材３１は第２旋回軸４６を中心に旋回可能であり、レバーハンドル２３が旋回するとリンク部材３２を介して旋回して、作用部位２８に対しての離間と圧接とを反復する。
【選択図】図２

Description

この発明は、真空チャンバの蓋や扉を開閉するために使用するのに好適なクランプに関する。

蓋や扉を開閉することができる真空チャンバは従来周知である。例えば、この種の真空チャンバである実開平２−１１１５３号公報（特許文献１）に開示の真空熱処理炉は、円筒状本体容器の開口を蓋体によって閉じることができる。本体容器と蓋体とは締結具に取り付けられたボルトを締めることによって密閉状態になる。
実開平２−１１１５３号公報

前記真空熱処理炉では、内部の真空度が高まると、本体容器と蓋体との密着の度合いが高まるものの、ボルトによる締め付けが弱くなって空気漏れの原因になることがある。また、そのことを避けようとすれば、ボルトを再度締め付ける作業が必要になる。

そこで、この発明では、真空チャンバの真空度が高くなるように変化しても真空チャンバには空気漏れが生じないようにすることが可能な真空チャンバ用のクランプの提供を課題にしている。

前記課題を解決するためのこの発明が対象とするのは、真空源に接続可能であって物品を出し入れするための開口が形成されたチャンバ部と、前記開口を開閉可能な蓋部とを含む真空チャンバの前記開口を前記蓋部で密閉するために使用するクランプである。

かかるクランプにおいて、この発明が特徴とするところは、次のとおりである。前記クランプは、前記チャンバ部に取り付けられている受金部と、前記蓋部に取り付けられているハンドル部とを有する。前記受金部は、前記ハンドル部における掛金部材が前記チャンバ部の内側から外側へ向かう方向において圧接可能であって、前記外側から前記内側に向かう方向へばね付勢されている作用部位を有する。前記ハンドル部は、レバーハンドルと、前記掛金部材と、これら両者の間に介在するリンク部材とを含む。前記レバーハンドルは、前記蓋部の外面に対して固定された状態の第１旋回軸を中心に旋回してねじりコイルばねの作用下に前記外面に対しての離間と接近とを反復するものであり、前記掛金部材は、前記外面に対して固定された状態の第２旋回軸を中心に旋回可能であり、前記レバーハンドルが前記離間と接近とを反復するように旋回すると前記リンク部材を介して旋回して、前記作用部位に対しての離間と前記付勢に抗しての圧接とを反復するものである。

この発明の実施形態の一つにおいて、前記ねじりコイルばねは、それを形成している線材の一端部が前記レバーハンドルに対して固定され、もう一方の端部が前記蓋部に対して固定されている。

この発明に係る真空チャンバ用のクランプは、蓋部がチャンバ部の開口を閉じたときに、レバーハンドルをそれが蓋部の外面に接近する方向へ旋回させると、リンク部材を介してレバーハンドルにつながる掛金部材が、チャンバ部の内側から外側へ向かう方向においてチャンバ部に取り付けられている受金部の作用部位に圧接する。その作用部位は、チャンバ部の外側から内側に向かう方向へばね付勢されているので、チャンバ部の真空度が高くなって蓋部がチャンバ部に接近するように動くと、その動きに受金部の作用部位が追随して、掛金部材は受金部に対する圧接状態を維持することができる。その結果として、真空チャンバには空気漏れが生じない。

添付の図面を参照して、この発明に係るクランプの詳細を説明すると、以下のとおりである。

図１は、クランプ１６が使用されている真空チャンバ１の部分破断斜視図である。真空チャンバ１は、チャンバ部２と蓋部３を有するもので、チャンバ部２は、第１、第２、第３周壁部６，７，８と、頂部９と、底部１０とを有し、第１、第２周壁部６，７と頂部９と底部１０とによって開口１１が画成されている。第３周壁部８は、真空源（図示せず）に接続可能に形成されている。蓋部３は、物品を出し入れするための開口１１に対して開閉する横開きのもので、開いた状態のものが仮想線で示されている。かような蓋部３は、第１周壁部６に対して一対の蝶番１２を介して取り付けられていて、第２周壁部７に対してはクランプ１６を介して閉じた状態にある。クランプ１６は、第２周壁部７に取り付けられた受金部２１と、蓋部３に取り付けられたハンドル部２２とを含み、ハンドル部２２におけるレバーハンドル２３を矢印Ａ方向へ旋回させるとハンドル部２２が受金部２１から離れて蓋部３を開けることができる。蓋部３は、扉と言い替えることができるものでもある。

図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線断面図であって、クランプ１６の内部構造の他に、第２周壁部７と蓋部３との一部分が示されている。クランプ１６における受金部２１は、第２周壁部７に取り付けられているキーパ２６と、キーパ２６の頂部２６ａにおける透孔２６ｂをその長さ方向へ摺動可能に貫通するねじ２７と、ねじ２７におけるねじ部の先端部分に螺着していて後記するハンドル部２２の掛金部材３１との圧接部位として作用する部位２８と、頂部２６ａとその作用部位２８との間に位置していて蓄勢状態にあるコイルばね２９とを有する。ハンドル部２２は、扉３の外面３ａから立ち上がるブラケット３ｂを介して蓋部３に取り付けられているもので、レバーハンドル２３と、掛金部材３１と、リンク部材３２とを含んでいる。レバーハンドル２３は、握持用端部３６とリンク部材３２につながる連結用端部３７とを有し、これら両端部３６，３７の中間部分がブラケット３ｂに固定された第１旋回軸３８を介してブラケット３ｂに取り付けられていて、握持用端部３６は、第１旋回軸３８を中心にして矢印Ａ方向とその反対方向Ｂとに旋回可能である。レバーハンドル２３とブラケット３ｂとの間にはねじりコイルばね３９が介在しており、ねじりコイルばね３９を形成している線材の一端部３９ａがブラケット３ｂに固定されたピン４１に取り付けられ、もう一方の端部３９ｂがレバーハンドル２３に固定されたピン４２に取り付けられている。換言すると、一端部３９ａがピン４１を介して蓋部３に対して固定されており、もう一方の端部３９ｂがピン４２を介してレバーハンドル２３に対して固定されている。図示の状態にあるそのピン４２は、第１旋回軸３８の中心とピン４１の中心とを結ぶ線Ｌの下側、すなわち線Ｌよりもチャンバ部２寄りにあって、ねじりコイルばね３９がレバーハンドル２３の握持用端部３６を矢印Ｂ方向へ付勢している。すなわち、レバーハンドル２３が蓋部３の外面３ａに接近するように付勢されている。

掛金部材３１は、取り付け端部４３と作用端部４４とを有する。取り付け端部４３は、ブラケット３ｂに固定されている第２旋回軸４６に回転可能に取り付けられていて、作用端部４４が矢印Ｃ方向との反対方向Ｄとに旋回可能である。図示の状態にある掛金部材３１は、矢印Ｃ方向へ旋回してチャンバ部２の内側から外側へ向かう方向において作用部位２８に圧接し、コイルばね２９を圧縮している。

リンク部材３２は、第１端部５１と第２端部５２とを有し、第１端部５１がピン５３を介してレバーハンドル２３の連結端部３７に回転可能に取り付けられている。また、第２端部５２がピン５４を介して掛金部材３１に回転可能に取り付けられている。開口１１（図１参照）を閉じている蓋部３は、その内面３ｃに形成された周縁溝部３ｄの内部にあるパッキング５６が第２周壁部７に圧接しており、真空チャンバ１が気密状態にある。

図３は、真空チャンバ１が真空源に接続されているときの図２と同様な図である。図２において真空チャンバ１が減圧状態になると、パッキング５６が変形して蓋部３がチャンバ部２に接近する。すると、受金部２１では、蓄勢状態にあるコイルばね２９が伸長して、作用部位２８が掛金部材３１に圧接し続けるので、チャンバ部２と蓋部３とに対するクランプ１６の作用はゆるむことがない。

図３において蓋部３を開くには、レバーハンドル２３を蓋部３の外面３ａから離間するように矢印Ａ方向へ旋回させる。すると、リンク部材３２を介してレバーハンドル２３につながる掛金部材３１が矢印Ｄ方向へ旋回して受金部２１から離脱するので、旋回させたレバーハンドル２３をそのまま使用して蓋部３を開くことができる。そして、仮想線の状態になったレバーハンドル２３（図２参照）では、ねじりコイルばね３９の端部３９ｂが取り付けられているピン４２が第１旋回軸３８を中心に旋回して線Ｌの上側に移動し、ねじりコイルばね３９がレバーハンドル２３の握持用端部３６を矢印Ａ方向へ、すなわち蓋部３の外面３ａから離間する方向へ付勢する。

図４は、図１の真空チャンバ１に使用されている蝶番１２の部分破断側面図であるが、チャンバ部２と蓋部３とが仮想線で示されている。蝶番１２は、ボルト７８を使用してチャンバ部２に取り付けられた第１の羽根６１と、ボルト７９を使用して蓋部３に取り付けられた第２の羽根６２とを有し、これらの羽根６１，６２が図の上下方向Ｅへ延びる軸６４を介して互いに旋回可能に組み立てられている。その軸６４が、第１の羽根６１に対してはスリーブ６６に形成されていて、図の横方向Ｆに長径を有する断面が長円形の挿通孔６７に納まり、第２の羽根６２に対してはスリーブ６９に形成されていて、軸６４よりも径が僅かに大きい挿通孔(図示せず)に納まっている。第１の羽根６１と第２の羽根６２との間にはまた、横方向Ｆへ延びる一対のコイルばね７１が圧縮状態で介在している。ただし、そのコイルばね７１とスリーブ６９との間には、コイルばね７１の端部をスリーブ６９に圧接させるための中間部材７２が介在している。かようなコイルばね７１は、第１の羽根６１と第２の羽根６２とを横方向Ｆへ離間させるように作用しており、スリーブ６６には横方向ＦのスペースＰが形成され、第１の羽根６１と中間部材７２との間にはスペースＱが形成されている。このような蝶番１２では、真空チャンバ１が減圧状態になって蓋部３がチャンバ部２に接近する方向へ動こうとすると、蓋部３は第２の羽根６２を介してコイルばね７１を圧縮することによりスペースＰ，Ｑを縮め、第２の羽根６２を第１の羽根６１に接近させる。

真空チャンバ１は、このような蝶番１２をこの発明に係るクランプ１６と組み合わせて使用することが好ましいものである。

真空チャンバの斜視図。図１のＩＩ−ＩＩ線断面図。真空チャンバが減圧状態にあるときの図２と同様な図。蝶番の部分破断側面図。

符号の説明

１真空チャンバ
２チャンバ部
３蓋部
３ａ外面
１１開口
１６クランプ
２１受金部
２２ハンドル部
２３レバーハンドル
２８作用部位
３１掛金部材
３２リンク部材
３８第１旋回軸
３９ねじりコイルばね
３９ａもう一方の端部
３９ｂ一端部
４６第２旋回軸

Claims

真空源に接続可能であって物品を出し入れするための開口が形成されたチャンバ部と、前記開口を開閉可能な蓋部とを含む真空チャンバの前記開口を前記蓋部で密閉するために使用するクランプであって、
前記クランプが前記チャンバ部に取り付けられている受金部と、前記蓋部に取り付けられているハンドル部とを有し、
前記受金部は、前記ハンドル部における掛金部材が前記チャンバ部の内側から外側へ向かう方向において圧接可能であって、前記外側から前記内側に向かう方向へばね付勢されている作用部位を有し、
前記ハンドル部は、レバーハンドルと、前記掛金部材と、これら両者の間に介在するリンク部材とを含み、前記レバーハンドルは、前記蓋部の外面に対して固定された状態の第１旋回軸を中心に旋回してねじりコイルばねの作用下に前記外面に対しての離間と接近とを反復するものであり、前記掛金部材は、前記外面に対して固定された状態の第２旋回軸を中心に旋回可能であり、前記レバーハンドルが前記離間と接近とを反復するように旋回すると前記リンク部材を介して旋回して、前記作用部位に対しての離間と前記ばね付勢に抗しての圧接とを反復するものであることを特徴とする前記クランプ。
前記ねじりコイルばねは、それを形成している線材の一端部が前記レバーハンドルに対して固定され、もう一方の端部が前記蓋部に対して固定されている請求項１記載のクランプ。