JPH01269762A

JPH01269762A - 真空チャンバの扉のクランプ機構及び真空チャンバ付き作業ボックス

Info

Publication number: JPH01269762A
Application number: JP9940088A
Authority: JP
Inventors: Yasuyuki Ukai; 鵜飼　康之
Original assignee: TOKAI SHINKU KENKYUSHO KK
Current assignee: TOKAI SHINKU KENKYUSHO KK
Priority date: 1988-04-22
Filing date: 1988-04-22
Publication date: 1989-10-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、真空チャンバの扉のクランプ機構及び真空チ
ャンバ付き作業ボックスに関し、特に密閉性及び操作性
に優れた真空チャンバの扉のクランプ機構及び真空チャ
ンバ付き作業ボックスに関する。

（従来の技術及び発明が解決しようとする課題）第４図
は従来の真空チャンバのクランプ機構を示し、同図（ａ
）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線矢視断
面図である。

従来、扉にハンドル４０を回転自在に固定し、掛合金具
４１を筐体側に固定しておき、ハンドル４０を握って扉
を筐体に強く押し付け、ハンドル４０のアーム４２の先
端を掛合金具４１に引っ掛け、ハンドル４０を回転詐せ
て真空チャンバの密閉性を維持させていた。湾曲してい
るアーム４２は第４図（ｂ）に示すようにその先端から
基部に徐々に厚くなっているので、扉は筐体に強く押し
付けられる。

ところが、従来の真空チャンバのクランプ機構には、ア
ーム４２の先端を掛合金具４１に引っ掛ける際及び掛合
金具４１にアーム４２を引っ掛けたハンドル４０を回転
させる際に相当強い力を要するとともに、操作性及び密
閉性が悪いという問題点がある。

第５図は、従来の真空チャンバ付き作業ボックスを示す
平面図である。

従来の真空チャンバ付き作業ボックスは、第６図に示す
ように、作業箱５０の一方の側面部に供給用真空チャン
バ５１を、他方の側面部に取出用真空チャンバ５２を、
それぞれ連設してなる。

作業者は所定の位置５３で挿入口５４　、５５設けであ
るグローブに両手を挿入し、そのグローブをはめた手で
、供給用真空チャンバ５１の扉５６を開いて電子部品等
を取り出し、作業箱５０にて作業を行い、組立後の電子
部品等を取出用真空チャンバ５２に入れる。

真空チャンバ５１及び５２並びに作業箱５０内は一定値
以下の低露点に維持されている。

ところが、従来の真空チャンバ付き作業ボックスには、
供給用真空チャンバ５１の扉と取出用真空チャンバ５２
とが、作業箱５０内において対向しているので、扉の開
閉の際に力を入れにくい等、操作性が悪いという問題点
があった。

（課題を解決するための手段）前述の課題を解決するために請求項１の発明が提供する
手段は、真空ボックスの扉を開閉するクランプ機構にお
いて、開閉レバーと、前記扉を真空チャンバに押し付け
ておくアームと、このアーム及び前記開閉レバーを連結
する円柱状の偏心カムとを備え、前記偏心カムは前記ア
ームの一端部を回動自在に貫いており、前記扉の表面に
固定してある軸受けにより前記偏心カムが保持されてお
り、前記偏心カムの回転軸は前記扉の表面に対して平行
であり、前記開閉レバーの一端部が前記偏心カムの一端
部に固定してあり、前記偏心カムの回転軸と前記開閉レ
バーの中心軸とが直角に交わっており、前記真空チャン
バの凹部に嵌合する凸部が前記アームの他端部に設けて
あり、前記開閉レバーを前記扉の表面に対して９０°以
上回転させたときに前記アームの支点となってそのアー
ムの動きを規制して前記凹部から前記凸部を外す固定ビ
ンが備えてあり、前記開閉レバーを前記扉の表面にたい
して９０″以上回転させたときに前記固定ビンに嵌合す
るアーム側凹部が前記アームの一端部に設けてあり、前
記アームを前記扉側に押圧するばね及び前記固定ビンの
それぞれが所定の支持部材を介して前記扉側に支持され
であることを特徴とする。

前述の課題を解決するために請求項２の発明が提供する
真空ボックスは、作業用真空チャンバの一方の側面部に
供給用真空チャンバが連結してあり、前記作業用真空チ
ャンバの他方の側面部に取出用真空チャンバが連結して
あり、前記作業用真空チャンバの正面部に作業用窓及び
２個の作業用グローブが設けてあり、前記供給用真空チ
ャンバ及び前記取出用真空チャンバの各作業用真空チャ
ンバ側扉の表面が前記各側面に対して所定角度だけ前記
作業窓側に傾いており、前記供給用真空チャンバ及び前
記取出用真空チャンバの全扉に請求項１記載のクランプ
機構が備えてあることを特徴とする。

（実施例）次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の真空チャンバの扉のクラン
プ機構を示す斜視図である。また、第２図は第１図のク
ランプ機構の動作原理を説明するための断面図であって
、同図（ａ）は扉が閉じている状態を示す断面図、同図
（ｂ）は開閉レバーを扉の表面に対して９０°回転させ
た状態を示す断面図、同図（Ｃ）は開閉レバーを同図（
ｂ）の状態から更に３０°回転させた状態を示す断面図
である。

図中、１は開閉レバー、２は軸受け、３は偏心カム、４
はアーム側凹部、５は固定ピン、６は巻きばね（ばねに
対応する。）、７はアーム、８は凹部、９は真空チャン
バの開口の周縁をなす縁枠、１０はゴムパツキン、１１
は扉、１２はノブ、１３は凸部、１４は扉の表面、１５
は偏心カムの回転軸、１６は開閉レバーの中心軸、１７
は支持部材である。

本実施例のクランプ機構は、棒状の開閉レバー１と、扉
１１を真空チャンバ９に押し付けておくアーム７と、こ
のアーム７及び開閉レバー１を連結する偏心カム３とを
備えている。

開閉レバー１の一端部は偏心カム３の一端部に固定して
あり、開閉しバー１の他端部には球状のノブ１２が設け
である。

アーム７の一端部にはアーム側凹部４が設けてあり、ア
ーム７の他端部には凸部１３が設けである。アーム側凹
部４は固定ピン５に対応し、凸部１３は凹部８に対応す
る。

偏心カム３はアーム７の一端部（アーム側凹部側の端部
）を貫いており、この偏心カム３は開閉レバー１の回転
に応じて回動する。偏心カム３は、扉１１の表面１４に
固定してある軸受け２により保持されている。偏心カム
３の回転軸１５は、＃１１の表面１４に対して平行であ
る。また、偏心カム３の回転軸１５と開閉レバー１の中
心軸１６とは直角に交わっている。その偏心カム３と開
閉レバー１とは両者の端部で互いに固着されているから
、両者は軸受け２に保持されて回転軸１５を中心に回転
する。

固定ピン５及び巻きばね６は、支持部材１７を介してｍ
、１１に固定状態で支持されている。支持部材１７はア
ーム７のアーム側凹部４を囲むＵ字形断面の部材であり
、ネジ４１　、４２で扉１１に固定きれている。固定ピ
ン５及び巻きばね６はその支持部材１７の内壁面にそれ
ぞれ固定してある。巻きばね６はアーム７をＪｉｌｌ側
に押し付けている。

第２図（ａ）は、扉１１が閉じている状態を示す。この
とき、アーム７の凸部１３は縁枠９の凹部８に嵌合して
おり、開閉レバー１の中心軸１６は扉１１の表面１４に
対して平行であり、［１１は縁枠９内のゴムパツキン１
０に強く押し付けられ、このゴムパツキン１０は圧縮き
れ変形している。

第２図（ｂ）は、開閉レバー１を扉１１の表面１４に対
して９０°回転きせた状態を示す。このとき、偏心カム
３も第２図（ａ）の状態から９０”回転しているから、
アーム７は固定ビン５側に移動するとともに縁枠９側に
移動し、その結果固定ピン５とアーム側凹部４とが嵌合
し、ｍ１１をゴムパツキン１０に押し付ける力が弱まり
、扉１１と縁枠９との間隙が第２図（ａ）の状態より広
くなる。ただし、この状態では、巻きばね６の弾性によ
りアーム７の凸部１３は真空チャンバ９の凹部８と嵌合
したままである。

第２図（ｃ）は、開閉レバー１を同図（ｂ）の状態から
更に３０°回転させた状態を示す。このときアーム７は
扉１１側（図の下方）に移動しようとするが、固定ピン
５に阻まれるから、アーム７は偏心カム３の幾何中心（
回転軸１５ではない）を回転中心として回転し、巻きば
ね６側に動き、アーム７の凸部１３は縁枠９の凹部８か
ら外れる。以上に述べた操作により扉１１は縁枠９との
結合を解かれ、■空チャンバの本体との連結軸（図示せ
ず）を中心に自在に回転できるようになる。

また、扉１１を閉めるには、まず開閉レバー１を扉１１
の表面１４に対して９０°回転させておき、ｓｌｌに対
して直角に力を加える。すると、ゴムパツキン１０が扉
１１に押圧されて楕円形に変形し凸部１３が凹部８の位
置に致り、巻きばね６に押圧されて扉１１の側面に接触
しているアーム７の凸部１３が縁枠９の凹部８に嵌合す
る。次に、開閉レバー１を扉１１の表面１４に平行にな
るように倒し、第２図（ａ）の状態にする。これにより
扉１１はゴムパツキン１０に強く押し付けられ、扉１１
のロック（閉止）が完了する。

本実施例のクランプ機構によれば、強い力を要せずに、
しかも簡単な操作で扉１１の開閉を行い得るとともに、
高い密閉性を得ることができる。

第３図は扉に第１図のクランプ機構が備えである真空チ
ャンバ付き作業ボックスの平面図である。

図中、２０は作業箱、２１は供給用真空チャンバ、２２
は取出用真空チャンバ、２３は作業用窓、２４は作業用
グローブ、２５　、２６は作業箱２０の側面部、２７は
供給用真空チャンバ２１の作業箱側扉、２８は取出用真
空チャンバ２２の作業箱側扉、２９は供給用真空チャン
バ２１の外側層、３０は取出用真空チャンバ２２の外側
層である。

本実施例の真空チャンバ付き作業ボックスは、第３図に
示すように、作業箱２０と、作業箱２０の一方の側面部
に連結してある供給用真空チャンバ２１と、作業箱２０
の他方の側面部に連結してある取出用真空チャンバ２２
とを備えている。

作業箱２０の正面部には作業用窓２３及び作業用グロー
ブ２４が設けである。

供給用真空チャンバ２１の作業箱側扉２７の表面は、側
面部２５の内壁面に対して約３０°はど作業窓２３側に
傾いている。取出用真空チャンバ２２の作業箱側扉２８
の表面は、側面部２６の内壁面に対して約３０８はど作
業窓２３側に傾いている。

本実施例の真空チャンバ付き作業ボックスによれば、作
業箱２０内において供給用真空チャンバ２１及び取出用
真空チャンバ２２の各局２７　、２８を容易に開閉でき
るので作業性が向上し、かつ気密性もよくなる。

（発明の効果）以上に説明したように本発明のクランプ機構によれば、
強い力を要せずに、しかも簡単な操作で扉の開閉を行な
うことができるとともに、高い密閉性を得ることができ
る。

また、本発明の真空チャンバ付き作業ボックスによれば
、作業箱内において供給用真空チャンバ及び取出用真空
チャンバの各局の開閉が一段と容易になるから作業性が
飛躍的に向上するとともに、密閉性がよくなるので、作
業箱内で組立てられた製品の歩留りが著しく向上する。

従来溝の開閉の度に作業者は無理な姿勢をとり、瞬間的
に強い力を出すことを余儀なくされてきたが、本発明の
真空チャンバ付き作業ボックスによれば、強い力を必要
とせずに、しかも無理のない姿勢で扉の開閉を行うこと
ができるので、作業者の肉体的負担が大幅に軽減きれる
だけでなく、その精神的・心理的負担も相当軽減され、
作業環境が格段に改善きれるとともに、ひいては生産性
を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の真空ボックスの扉のクラン
プ機構を示す斜視図、第２図は第１図のクランプ機構の
動作原理を説明するための断面図であって、同図（ａ）
は扉が閉じている状態を示す断面図、同図（ｂ）は開閉
レバーを扉の表面に対して９０°回転させた状態を示す
断面図、同図（ｃ）は開閉レバーを同図（ｂ）の状態か
ら更に３０°回転させた状態を示す断面図、第３図は扉
に第１図のクランプ機構が備えである真空ボックスの平
面図、第４図は従来の真空ボックスのクランプ機構を示
し、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ
−Ａ線矢視断面図、第５図は従来の真空ボックスを示す
平面図である。１・・・開閉レバー、２・・・軸受け、３・・・偏心カ
ム、４・・・アーム側凹部、５・・・固定ビン、６・・
・巻きばね（ばねに対応する。）、７・・・アーム、８
・・・凹部、９・・・真空チャンバの開口の周縁をなず
縁枠、１０・・・ゴムパツキン、１１・・・扉、１２・
・・ノブ、１３・・・凸部、１４・・・扉の表面、１５
・・・偏心カムの回転軸、１６・・・開閉レバーの中心
軸、１７・・・支持部材、２０・・・作業箱、２１・・
・供給用真空チャンバ、２２・・・取出用真空チャンバ
、２３・・・作業用窓、２４・・・作業用グローブ、２
５　、２６　、・・・側面部、２７　、２８・・・作業
用真空チャンバ側扉、２９゜３０・・・扉、３１　、３
２・・・クランプ機構。

Claims

【特許請求の範囲】１、真空チャンバの扉を開閉するクランプ機構において
、開閉レバーと、前記扉を真空チャンバに押し付けてお
くアームと、このアーム及び前記開閉レバーを連結する
円柱状の偏心カムとを備え、前記偏心カムは前記アーム
の一端部を回動自在に貫いており、前記扉の表面に固定
してある軸受けにより前記偏心カムが保持されており、
前記偏心カムの回転軸は前記扉の表面に対して平行であ
り、前記開閉レバーの一端部が前記偏心カムの一端部に
固定してあり、前記偏心カムの回転軸と前記開閉レバー
の長手軸とがほぼ直角に交わっており、前記真空チャン
バの開口の周縁をなす縁枠の凹部に嵌合する凸部が前記
アームの他端部に設けてあり、前記開閉レバーを前記扉
の表面に対して９０゜以上回転させたときに前記アーム
の動きを規制して前記凹部から前記凸部を外す固定ピン
が備えてあり、前記開閉レバーを前記扉の表面に対して
９０゜以上回転させたときに前記固定ピンに嵌合するア
ーム側凹部が前記アームの一端部に設けてあり、前記ア
ームを前記扉側に押圧するばね及び前記固定ピンのそれ
ぞれが所定の支持部材を介して前記扉側に支持されてい
ることを特徴とする真空チャンバの扉のクランプ機構。２、作業箱の一方の側面部に供給用真空チャンバが連結
してあり、前記作業箱の他方の側面部に取出用真空チャ
ンバが連結してあり、前記作業箱の正面部に作業用窓及
び２個の作業用グローブが設けてあり、前記供給用真空チャンバ及び前記取出用真空チャンバの各作業箱側扉の
表面が前記各側面に対して所定角度だけ前記作業窓側に
傾いており、前記供給用真空チャンバ及び前記取出用真
空チャンバの全扉に請求項１記載のクランプ機構が備え
てあることを特徴とする真空チャンバ付き作業ボックス
。