JP2010045191A - 遮光膜形成用感放射線性組成物、固体撮像素子用遮光膜及び固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、固体撮像素子における有効画素領域の周縁に、遮光膜を形成するために用いられる遮光膜形成用感放射線性組成物であって、黒色顔料と、酸価が15〜40mgKOH/g且つアミン価が25〜40mgKOH/gの変性アクリル系ブロック共重合体と、アセナフチレン又はN−フェニルマレイミドに由来する繰り返し構造単位を有するアルカリ可溶性樹脂と、多官能性単量体と、光重合開始剤とを含有する。
【選択図】なし
Description
本発明の目的は、CCD、CMOS等の固体撮像素子の有効画素領域(撮像部)の周縁に、遮光性及び密着性に優れた遮光膜を形成することができ、得られる遮光膜が、低温から高温、高湿の条件下にあっても上記性能を維持することができる遮光膜形成用感放射線性組成物、固体撮像素子用遮光膜及び固体撮像素子を提供することにある。
1.固体撮像素子における有効画素領域の周縁に、遮光膜を形成するために用いられる遮光膜形成用感放射線性組成物であって、(A)黒色顔料、(B)酸価が15〜40mgKOH/g且つアミン価が25〜40mgKOH/gの変性アクリル系ブロック共重合体、(C)アセナフチレン又はN−フェニルマレイミドに由来する繰り返し構造単位を有するアルカリ可溶性樹脂、(D)多官能性単量体、及び、(E)光重合開始剤、を含有することを特徴とする遮光膜形成用感放射線性組成物。
2.上記黒色顔料がカーボンブラック及び/又はチタンブラックである上記1に記載の遮光膜形成用感放射線性組成物。
3.上記1又は2に記載の遮光膜形成用感放射線性組成物を用いて、上記有効画素領域の周縁に配設されたことを特徴とする固体撮像素子用の遮光膜。
4.上記遮光膜の厚さが3μm以下である上記3に記載の固体撮像素子用の遮光膜。
5.上記3又は4に記載の固体撮像素子用の遮光膜が、上記有効画素領域の周縁に配設されてなることを特徴とする固体撮像素子。
6.上記固体撮像素子に含まれる光電変換部に対応するカラーフィルタの矩形単位画素の最大辺が5μm以下である上記5に記載の固体撮像素子。
本発明の固体撮像素子用遮光膜によれば、低温から高温、高湿の条件下においても、遮光性及び密着性に優れることから、所期性能の持続性に優れた固体撮像素子及び固体撮像装置を与える。
また、本発明の固体撮像素子によれば、これに含まれる遮光膜が、低温から高温、高湿の条件下においても、剥がれ等が抑制されるので、所期性能の持続性に優れる。
更に、特開平11−60988号公報、特開平11−60989号公報、特開平10−330643号公報、特開平11−80583号公報、特開平11−80584号公報、特開平9−124969号公報、特開平9−95625号公報、特開平9−71733号公報に開示されている樹脂被覆カーボンブラックを使用することもできる。
カーボンブラックを、ベンジルメタクリレート及びメタクリル酸に由来する繰り返し構造単位を、モル比70:30で含む共重合体(重量平均分子量30,000)に対して、質量比20:80となるように、プロピレングリコールモノメチルエーテル中に分散し、分散液を得る。その後、この分散液を、厚さ1.1mm、10cm×10cmのクロム基板上に塗布し、乾燥膜厚3μmの塗膜を作製する。次いで、この塗膜をオーブン中、200℃で1時間熱処理する。そして、JIS K6911に準拠している三菱化学社製の高抵抗率計(「ハイレスターUP(MCP−HT450)」)を用いて印加し、温度23℃及び相対湿度65%の条件下、体積抵抗値を測定する。
本発明において、好ましいカーボンブラックの体積抵抗値は、好ましくは108Ω・cm以上、更に好ましくは109Ω・cm以上である。
低次酸化チタンとしては、特公昭52−12733号公報に記載されている、二酸化チタンと金属チタン粉末とを、真空又は還元雰囲気中、550℃〜1,100℃の温度で加熱して得られた化合物;特開昭64−11572号公報に記載されている、含水二酸化チタンと金属チタン粉末とを、珪素、アルミニウム、ニオブ、タングステン等を含む化合物からなる焼成処理補助剤の存在下、不活性雰囲気中で加熱して得られた化合物等が挙げられる。
また、酸窒化チタンとしては、特公平3−51645号公報、特公平2−42773号公報等に記載されている、二酸化チタンや水酸化チタンの粉末を、アンモニア存在下、550℃〜950℃程度の温度で還元して得られた化合物が挙げられる。
尚、上記チタンブラックは、表面処理されたものを用いることもできる。
尚、上記樹脂(C1)は、上記のように、単位(c1)のみからなる樹脂であってよいし、この単位(c1)と、他の単位とからなる樹脂であってもよい。他の単位を形成する単量体としては、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、3価以上の不飽和多価カルボン酸、非重合性ジカルボン酸のモノ(2−アクリロイロキシエチル)エステル又はモノ(2−メタクリロイロキシエチル)エステル、カルボキシル基及び重合性不飽和結合を有するポリカプロラクトン誘導体等のカルボキシル基含有不飽和化合物;不飽和ジカルボン酸の無水物、3価以上の不飽和多価カルボン酸の無水物等の不飽和ポリカルボン酸の無水物;芳香族ビニル化合物;不飽和カルボン酸エステル;不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル;不飽和カルボン酸グリシジルエステル;カルボン酸ビニルエステル;不飽和エーテル;シアン化ビニル化合物;不飽和アミド;脂肪族共役ジエン化合物;マクロモノマー等が挙げられる。これらは、単独で用いてよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
不飽和ジカルボン酸としては、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸等が挙げられる。
非重合性ジカルボン酸のモノ(2−アクリロイロキシエチル)エステル又はモノ(2−メタクリロイロキシエチル)エステルとしては、こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)等が挙げられる。
カルボキシル基及び重合性不飽和結合を有するポリカプロラクトン誘導体としては、ωカルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
上記芳香族ビニル化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロロスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、インデン、p−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等が挙げられる。
上記不飽和カルボン酸グリシジルエステルとしては、グリシジル(メタ)アクリレート、β−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、β−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、3−メチル−3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、3−エチル−3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、4−メチル−4,5−エポキシペンチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
上記カルボン酸ビニルエステルとして、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等が挙げられる。
上記シアン化ビニル化合物として、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等が挙げられる。
上記不飽和アミドとしては、(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−(2−ヒドロキシエチル)(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド等が挙げられる。
また、上記マクロモノマーとしては、ポリスチレン、ポリ(メタ)アクリル酸メチル、ポリ(メタ)アクリル酸n−ブチル、ポリシロキサン等の重合体分子鎖末端に、モノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類等が挙げられる。
上記樹脂(C1)は、単独で用いてよいし、2つ以上を組み合わせて用いてもよい。
尚、上記樹脂(C2)は、上記のように、単位(c2)のみからなる樹脂であってよいし、この単位(c2)と、他の単位とからなる樹脂であってもよい。他の単位を形成する単量体としては、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、3価以上の不飽和多価カルボン酸、非重合性ジカルボン酸のモノ(2−アクリロイロキシエチル)エステル又はモノ(2−メタクリロイロキシエチル)エステル、カルボキシル基及び重合性不飽和結合を有するポリカプロラクトン誘導体等のカルボキシル基含有不飽和化合物;不飽和ジカルボン酸の無水物、3価以上の不飽和多価カルボン酸の無水物等の不飽和ポリカルボン酸の無水物;芳香族ビニル化合物;不飽和カルボン酸エステル;不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル;不飽和カルボン酸グリシジルエステル;カルボン酸ビニルエステル;不飽和エーテル;シアン化ビニル化合物;不飽和アミド;脂肪族共役ジエン化合物;マクロモノマー等が挙げられる。これらは、単独で用いてよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記樹脂(C2)は、単独で用いてよいし、2つ以上を組み合わせて用いてもよい。
上記成分(D)としては、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート;ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート;グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート及びそのジカルボン酸変性物;ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ(メタ)アクリレート;両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の、両末端ヒドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート;トリス(2−アクリロイロキシエチル)フォスフェート、トリス(2−メタクリロイロキシエチル)フォスフェート等を挙げることができる。これらは、単独で用いてよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
この単官能性単量体としては、上記成分(B)を形成する単量体として例示した各種単量体の他、N−(メタ)アクリロイルモルフォリン、N−ビニルピロリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタム、市販品である「M−5600」(商品名、東亞合成社製)等が挙げられる。これらの単官能性単量体は、単独で用いてよいし、2つ以上を組み合わせて用いてもよい。
上記ビイミダゾール系化合物は、有機溶剤に対する溶解性に優れることから、この化合物を含む組成物は、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させることができる。そして、コントラストが高く、未露光部で硬化反応が生じることがないため、露光後の被膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分される。これにより、アンダーカットのない画素パターン及びブラックマトリックスパターンが所定の配列に従って配置された高精細なパターンアレイを形成することができる。
上記アセトフェノン系化合物としては、2,2−ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等が挙げられる。
上記α−ジケトン系化合物としては、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホルメート等が挙げられる。
また、上記多核キノン系化合物としては、アントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン等が挙げられる。
上記キサントン系化合物としては、キサントン、チオキサントン、2−クロロチオキサントン等が挙げられる。
また、上記ホスフィン系化合物としては、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。
上記水素供与体としては、下記で定義するメルカプタン系化合物、下記で定義するアミン系化合物等が好ましい。
上記メルカプタン系化合物は、好ましくは、芳香環又は複素環を母核とし、この母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、より好ましくは1〜2個有する化合物であり、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。
また、上記アミン系化合物は、好ましくは、芳香環又は複素環を母核とし、この母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、より好ましくは1〜2個有する化合物であり、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。
尚、メルカプト基及びアミノ基を有する水素供与体を用いることもできる。
上記界面活性剤としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル;ポリオキシエチレンn−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル;ソルビタン脂肪酸エステル;脂肪酸変性ポリエステル;3級アミン変性ポリウレタン等が挙げられる。
上記紫外線吸収剤としては、2−(3−tert−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等が挙げられる。
また、上記凝集防止剤としては、ポリアクリル酸ナトリウム等が挙げられる。
脂肪族カルボン酸としては、ぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等のモノカルボン酸;しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等のジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等のトリカルボン酸等が挙げられる。
上記脂肪族アミンとしては、n−プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−へプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミン、2−エチルシクロヘキシルアミン、3−エチルシクロヘキシルアミン、4−エチルシクロヘキシルアミン等のモノ(シクロ)アルキルアミン;メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジ−イソプロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジ−イソブチルアミン、ジ−sec−ブチルアミン、ジ−tert−ブチルアミン、ジ−n−ペンチルアミン、ジ−n−ヘキシルアミン、メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン等のジ(シクロ)アルキルアミン;ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジ−n−プロピルアミン、エチルジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリ−イソプロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、トリ−イソブチルアミン、トリ−sec−ブチルアミン、トリ−tert−ブチルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリ−n−ヘキシルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン等のトリ(シクロ)アルキルアミン;2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール、4−アミノ−1−シクロヘキサノール等のモノ(シクロ)アルカノールアミン;ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノールアミン、ジ−イソプロパノールアミン、ジ−n−ブタノールアミン、ジ−イソブタノールアミン、ジ−n−ペンタノールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミン、ジ(4−シクロヘキサノール)アミン等のジ(シクロ)アルカノールアミン;トリエタノールアミン、トリ−n−プロパノールアミン、トリ−イソプロパノールアミン、トリ−n−ブタノールアミン、トリ−イソブタノールアミン、トリ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサノールアミン、トリ(4−シクロヘキサノール)アミン等のトリ(シクロ)アルカノールアミン;3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノ(シクロ)アルカンジオール;1−アミノシクロペンタンメタノール、4−アミノシクロペンタンメタノール、1−アミノシクロヘキサンメタノール、4−アミノシクロヘキサンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール等のアミノ基含有シクロアルカンメタノール;β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酪酸、3−アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸等のアミノカルボン酸等が挙げられる。
上記他のエーテル化合物としては、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等が挙げられる。
上記ケトン化合物としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等が挙げられる。
上記他のエステル化合物としては、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等が挙げられる。
上記アミド化合物としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等が挙げられる。
また、ラクトン化合物としては、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。
また、本発明の固体撮像素子用遮光膜は、上記本発明の遮光膜形成用感放射線性組成物を用いて、上記有効画素領域の周縁に配設されたことを特徴とする。
更に、本発明の固体撮像素子は、上記本発明の固体撮像素子用遮光膜を備えることを特徴とする。
本発明の固体撮像素子用遮光膜及び本発明の固体撮像素子を例示する(図1〜図4参照)。
図1〜図3において、平坦化層16は、遮光膜15の表面に形成されていてもよい(図示せず)。
また、図1において、平坦化層16を省略した固体撮像素子1とすることもできる(図4参照)。
尚、図1〜図4においては、内部回路等を省略している。
また、光電変換部12は、必ずしも、基板11の凹部に配されるものではなく、平坦な表面に配されていてもよい。この場合、カラーフィルタ14及び遮光膜15の間には、カラーフィルタの下方側にある光電変換部12に光が入らないように境界膜等が配される(図示せず)。
現像方法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等が挙げられる。現像時間は、通常、常温(22℃〜28℃)で5〜300秒である。
アルカリ現像を行った後、通常、水洗及び乾燥を行う。乾燥方法としては、ホットプレート、オーブン等を用いた熱乾燥;エアーガン等を用いた風乾等が挙げられる。
上記遮光膜の厚さは、遮光性及び密着性の観点から、好ましくは3μm以下であり、より好ましくは0.5〜2.5μm、更に好ましくは0.8〜2.0μmである。尚、上記遮光膜の厚さが薄すぎると、固体撮像素子を含む固体撮像装置の外部からの光が、下面側から漏れて、固体撮像素子の性能が低下する場合がある。一方、上記遮光膜の厚さが3μmを超えると、硬化収縮によるシワが発生する場合がある。
1−1.黒色顔料(A)
カーボンブラックを用いた。
1−2.変性アクリル系ブロック共重合体(B)
ビックケミー・ジャパン社製「DISPERBYK−2001」(商品名)を用いた。
下記の方法により得られたアルカリ可溶性樹脂C1及びC2を用いた。
(1)アルカリ可溶性樹脂C1
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコ内で、メタクリル酸15.0g、アセナフチレン30.0g、ベンジルメタクリレート40.0g、ヒドロキシエチルメタクリレート10.0g及びω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート5.0gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート220gに溶解した。次いで、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル4.0g及びα−メチルスチレンダイマー6.0gを投入し、フラスコ内を15分間窒素パージした。窒素パージの後、反応液を攪拌しながら、80℃に加熱した。そして、この温度を保持して5時間重合することにより、アルカリ可溶性樹脂C1を33質量%含む重合溶液を得た。このアルカリ可溶性樹脂C1のGPCによるポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は13,000であった。
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコ内で、メタクリル酸25.0g、N−フェニルマレイミド30.0g、スチレン18.0g、ベンジルメタクリレート15.0g及び2−アクリロイロキシオキシエチルコハク酸12.0gを、シクロヘキサノン200gに溶解した。次いで、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル1.0g及びα−メチルスチレンダイマー2.5gを投入し、フラスコ内を15分間窒素パージした。窒素パージの後、反応液を攪拌しながら、80℃に加熱した。そして、この温度を保持して5時間重合することにより、アルカリ可溶性樹脂C2を33質量%含む重合溶液を得た。このアルカリ可溶性樹脂C2のGPCによるポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)は22,000であった。
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(商品名「MAX3510」、東亞合成社製)を用いた。
1−5.光重合開始剤(E)
(1)E1
2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン
(2)E2
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
(3)E3
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(4)E4
エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)
(1)F1
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(2)F2
3−メトキシブチルアセテート
(3)F3
シクロヘキサノン
1−7.添加剤(G)
(1)水素供与体G1
2−メルカプトベンゾチアゾール
(2)界面活性剤G2
3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
(3)界面活性剤G3
ネオス社製「フタージェントFRX−218」(商品名)を用いた。
(4)界面活性剤G4
AGATHOS International B.V社製「W005」(商品名)を用いた。
(5)界面活性剤G5
DIC社製「メガファックF475」(商品名)を用いた。
遮光膜形成用感放射線性組成物の製造に際して、予め、下記方法により黒色顔料の分散液を調製した。
<黒色顔料分散液の調製>
黒色顔料20.0質量部と、変性アクリル系ブロック共重合体4.0質量部と、溶剤として3−メトキシブチルアセテートと、を固形分濃度が86質量%となるよう用いて、ビーズミルにより混合して、黒色顔料分散液を調製した。
黒色顔料分散液100質量部と、アルカリ可溶性樹脂C1を含む重合溶液(固形分濃度33質量%)19質量部と、多官能性単量体10.0質量部と、光重合開始剤(E1)2.6質量部と、光重合開始剤(E2)2.0質量部と、光重合開始剤(E3)0.7質量部と、添加剤(G1)1.0質量部と、添加剤(G2)0.7質量部と、添加剤(G3)0.02質量部と、添加剤(G4)0.01質量部と、溶剤(F1)10.0質量部と、溶剤(F3)17.0質量部とを混合して、遮光膜形成用感放射線性組成物を得た。表1に、遮光膜形成用感放射線性組成物の構成成分及びその割合を示す。
[1]残渣及びパターンサイズ
遮光膜形成用感放射線性組成物を、シリコンウエハ基板に、スピンコーターを用いて塗布した後、90℃のホットプレート上で2分30秒間プレベークを行って、膜厚1.7μmの被膜を形成した。次いで、基板を室温に冷却し、露光装置(商品名「マスクアライナーMA200e」、SUSS社製)を用いて、幅50μmサイズを有するフォトマスクを介して、被膜に365nm、405nm及び436nmの各波長を含む紫外線を露光した。このときの露光量は500J/m2であった。
その後、23℃のポリオキシエチレン系界面活性剤含有0.05質量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて、基板を1分間シャワー現像した。そして、超純水を用いて洗浄して風乾した。次いで、180℃のホットプレート上で5分間ポストベークを行って、基板上にパターン化皮膜を形成した。得られたパターン化皮膜を電子顕微鏡にて観察し、画素パターンの残渣が認められるかどうかについて、下記基準にて判定した。また、このときパターン全体が剥離することなく残存していた最小のパターンサイズ(μm)を測定した。
○:残渣が認められない。
×:残渣が多い。
遮光膜形成用感放射線性組成物を、ガラス基板に、スピンコーターを用いて塗布した後、90℃のホットプレート上で2分30秒間プレベークを行って、膜厚1.5μmの被膜を形成した。次いで、基板を室温に冷却し、露光装置(商品名「マスクアライナーMA200e」、SUSS社製)を用いて、被膜全面に365nm、405nm及び436nmの各波長を含む紫外線を露光した。このときの露光量は500J/m2であった。
その後、180℃のホットプレートで5分間ポストベークを行って、皮膜化した(厚さ1.4μm)。
透過率は、ブランク皮膜及び下記の各種条件(a)〜(c)に供した皮膜に対して、分光光度計(型式「V7300」、日本分光社製)を用いて、温度23℃、波長範囲400〜1,300nmにおいて測定し、1,200nmにおける透過率を評価した。
(a)皮膜付き基板を、恒温恒湿試験装置(型式「PSL−2KPH」、エスペック社製)を用いて、温度85℃及び湿度85%の条件下、168時間放置した後の皮膜。
(b)皮膜付き基板を、高度加速寿命試験装置(型式「TPC−212」、エスペック社製)を用いて、温度110℃及び湿度100%の条件下、168時間放置した後の皮膜。
(c)皮膜付き基板を、ホットプレート上で、大気中、260℃1時間放置した後の皮膜。
遮光膜形成用感放射線性組成物をシリコンウエハ基板及びガラス基板に、スピンコーターを用いて塗布した後、90℃のホットプレート上で2分30秒間プレベークを行って、膜厚1.3μmの皮膜を形成した。次いで、露光装置(商品名「マスクアライナーMA200e」、SUSS社製)を用いて、被膜全面に365nm、405nm及び436nmの各波長を含む紫外線を露光した。このときの露光量は500J/m2であった。
その後、180℃のホットプレートで5分間ポストベークを行って、皮膜化し、遮光膜を得た。
密着性は、ブランク皮膜及び下記条件(d)に供した遮光膜に対して、JIS K5400に準拠したカッター及びカッターガイドを用いて、1mm角の碁盤目を100個作成し、テープにより密着性を確認した(碁盤目試験)。テープを剥離した後に残った碁盤目を計数した。
(d)遮光膜付き基板を、高度加速寿命試験装置(型式「TPC−212」、エスペック社製)を用いて、温度110℃及び湿度100%の条件下、168時間放置した後の遮光膜。
黒色顔料分散液と、アルカリ可溶性樹脂C1又はアルカリ可溶性樹脂C2を含む重合溶液と、多官能性単量体と、光重合開始剤と、溶剤と、添加剤とを用いて、表1に示す組成となるようにした以外は、実施例1と同様にして遮光膜形成用感放射線性組成物を得た。そして、実施例1と同様の評価を行い、その結果を表1に併記した。
11:基板
12:光電変換部
13:屈折率部
14(14G、14B及び14R):カラーフィルタ
15:遮光膜
16:平坦化層
17:マイクロレンズ
A:有効画素領域(撮像部)
Claims (6)
- 固体撮像素子における有効画素領域の周縁に、遮光膜を形成するために用いられる遮光膜形成用感放射線性組成物であって、
(A)黒色顔料、
(B)酸価が15〜40mgKOH/g且つアミン価が25〜40mgKOH/gの変性アクリル系ブロック共重合体、
(C)アセナフチレン又はN−フェニルマレイミドに由来する繰り返し構造単位を有するアルカリ可溶性樹脂、
(D)多官能性単量体、及び、
(E)光重合開始剤、
を含有することを特徴とする遮光膜形成用感放射線性組成物。 - 前記黒色顔料がカーボンブラック及び/又はチタンブラックである請求項1に記載の遮光膜形成用感放射線性組成物。
- 請求項1又は2に記載の遮光膜形成用感放射線性組成物を用いて、前記有効画素領域の周縁に配設されたことを特徴とする固体撮像素子用の遮光膜。
- 前記遮光膜の厚さが3μm以下である請求項3に記載の固体撮像素子用の遮光膜。
- 請求項3又は4に記載の固体撮像素子用の遮光膜が、前記有効画素領域の周縁に配設されてなることを特徴とする固体撮像素子。
- 前記固体撮像素子に含まれる光電変換部に対応するカラーフィルタの矩形単位画素の最大辺が5μm以下である請求項5に記載の固体撮像素子。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2490262A2 (en) * | 2011-02-16 | 2012-08-22 | Fujifilm Corporation | Light-shielding film, method of producing the same and solid-state imaging device |
WO2019065128A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | 富士フイルム株式会社 | 光硬化性組成物、積層体、及び、固体撮像素子 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006030674A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物とその調製法、カラーフィルタおよびカラー液晶表示装置 |
JP2006156801A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Fujifilm Electronic Materials Co Ltd | 遮光膜形成用組成物、それを用いた固体撮像素子用遮光膜及び固体撮像素子 |
JP2008181095A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-08-07 | Jsr Corp | 感放射線性組成物、カラーフィルタ、ブラックマトリックスおよび液晶表示素子 |
JP2009084314A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-23 | Fujifilm Corp | 顔料分散組成物及びそれにより得られるカラーフィルタ用光硬化性組成物 |
-
2008
- 2008-08-12 JP JP2008208156A patent/JP5326419B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006030674A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物とその調製法、カラーフィルタおよびカラー液晶表示装置 |
JP2006156801A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Fujifilm Electronic Materials Co Ltd | 遮光膜形成用組成物、それを用いた固体撮像素子用遮光膜及び固体撮像素子 |
JP2008181095A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-08-07 | Jsr Corp | 感放射線性組成物、カラーフィルタ、ブラックマトリックスおよび液晶表示素子 |
JP2009084314A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-23 | Fujifilm Corp | 顔料分散組成物及びそれにより得られるカラーフィルタ用光硬化性組成物 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2490262A2 (en) * | 2011-02-16 | 2012-08-22 | Fujifilm Corporation | Light-shielding film, method of producing the same and solid-state imaging device |
CN102645692A (zh) * | 2011-02-16 | 2012-08-22 | 富士胶片株式会社 | 遮光膜及其制造方法、固体摄像元件以及相机模块 |
JP2012169556A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Fujifilm Corp | 遮光膜及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
EP2490262A3 (en) * | 2011-02-16 | 2013-04-17 | Fujifilm Corporation | Light-shielding film, method of producing the same and solid-state imaging device |
TWI467750B (zh) * | 2011-02-16 | 2015-01-01 | Fujifilm Corp | 遮光膜及其製造方法以及固體攝像元件 |
WO2019065128A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | 富士フイルム株式会社 | 光硬化性組成物、積層体、及び、固体撮像素子 |
KR20200042923A (ko) | 2017-09-29 | 2020-04-24 | 후지필름 가부시키가이샤 | 광경화성 조성물, 적층체, 및 고체 촬상 소자 |
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