JP2010032456A

JP2010032456A - ガラス基板検査装置

Info

Publication number: JP2010032456A
Application number: JP2008197265A
Authority: JP
Inventors: Kunikazu Yanagisawa; 邦和柳澤; Akira Nakajima; 晃中島; Masayoshi Terasawa; 正義寺沢
Original assignee: Alpha Design Co Ltd
Current assignee: Alpha Design Co Ltd
Priority date: 2008-07-31
Filing date: 2008-07-31
Publication date: 2010-02-12

Abstract

【課題】従来のガラス検査装置は顕微鏡を用いて人による目視によって検査されており、不良のガラス基板には油性インク等でマーキングして、後工程で判別できるように作業されていた。しかし油性インクのマーキングでは洗浄時に消えてしまうことがあり、また、次工程でもマーキングを判別する必要があった。
【解決手段】本発明ではガラス基板をチップ毎に外形検査カメラで測定し、判断部によって良否を判断し、良否のチップの位置を演算部でマッピングデータにし、記録部の記録媒体に記録するように構成した。このことによって次工程には記録媒体に記録されたマッピングデータを送信することでガラス基板の良否を自動で判別できるようにし、作業効率を向上させたものである。
【選択図】図2

Description

本発明は複数個のチップに分割されたガラス基板の外観検査に用いられるガラス基板検査装置に関するものである。

CCDカメラのレンズやカバー、電子部品などに使用されるガラス基板や半導体基板は一定板厚に製作された後、粘着シートに貼着される。一般にこのような貼着シートはフラットリングに貼り付けられている。

そしてフラットリングに貼り付けられた粘着シートの上にガラス基板が貼着された状態で、ガラス基板部分だけがダイシング(さいの目状態に切断され複数個のチップに形成されること)されてフラットリングに貼着された状態で提供される。

しかしガラス基板は脆いのでダイシング中に破損したり、大きさが不ぞろいの箇所が発生したりするため、そのまま使用すると不良品を多く排出してしまう原因になっていた。不良のガラス基板をCCDカメラ等の製品に組込まれた後で判明した場合には、ガラス基板の交換に多くの労力を割かねばならず、程度によっては製品の廃棄処分を余儀なくされることもあり、大きな損害となってしまっていた。

そこでダイシング済みのガラス基板を製品に組込まれる前に検査し、表面形状や模様や板厚が異なるものは不良として判別できるようにしておくことが被害額を軽減させるためにも要求されている。

従来の検査方法は人によるもので、顕微鏡によってガラス基板をチップ毎に目視して検査し、不良のチッブにはガラス基板表面に直接油性インキ等で印を付けて、後工程で良不良が判別できるようにしていた。

また、パネルディスプレイ90のような大きなものは特開2008-116470のような方法で架台91に乗せて角度を変えながら目視することによって検査していた。

特開2008-116470

従来はガラス基板が小さい場合でも、顕微鏡を利用して目視によって検査していたが、目視では外形サイズを正確に測定することができず、微小な形状サイズにおいては、測定値に誤差が生じていた。

目視による検査の場合光線の方向によってガラス基板上の傷を見落としてしまうことがあった。また常に一定法からの光線によって目視検査するとは限らないので、良好のガラス基板表面であっても不良と判断してしまう場合があった。

目視によって微小な誤差を見落とさないためには、集中力が必要で数多くの検査を少人数でこなすことができなかった。
更に人手によって検査する方法なので、ガラス基板を顕微鏡レンズ等に当接させて破損したり傷を付けてしまうことも考えられる。

また、従来は不良と判断したガラス基板に油性インク等でマーキングすることによって後工程で判断するようにしていた。しかし後工程でガラス基板が洗浄してから組込まれるような場合、油性インクのマーキングが洗浄されて消えてしまうことが考えられる。
何らかの理由で油性インクによるマーキングが消えてしまった場合は再度同じ検査をし直さなければならなかった。

上記したように油性インクでマーキングする方法では、次の工程で良いガラス基板をチップ毎に粘着テープから剥離して使用するので、マーキングが消去されるとマーキングをチェックするために画像認識して良不良を再検査することが必要とされる。
しかし、検査した内容がマッピングデータとして次の工程で使用するようにされていれば、次工程の制御部に読み込ませることによって、マッピングデータを利用して良好なガラス基板のみチョイスすることができるようにすることができる。

次工程でマッピングデータが使用できないとしても、洗浄時に消去される可能性のある油性インクでマーキングするよりも、決して消去されることがないような方法でマーキングしたほうが誤ってチョイスする可能性が少ない。
更に、検査が終了したフラットリングを元のマガジンに戻すと検査後のものか検査前のものか誤ってしまう可能性がある。そこで検査前と検査後のフラットリングは別の場所に戻されることが望ましい。
厚さ1ミリメートル程度のガラス基板の板厚を人手によって正確に板厚測定するのは困難で、特に板厚測定時にガラス基板の表面に傷を付ける可能性があった。

そこで、複数個のチップに分割されたガラス基板が中央部に粘着された粘着シートの外周辺部をフラットリングに粘着した状態で検査するガラス基板検査装置において、前記フラットリングを着脱可能にしたリングテーブルと、前記リングテーブルを作業位置ごとに移動させるリングテーブル移動手段と、前記リングテーブル移動手段により撮像作業位置に移動させられた前記リングテーブルに保持された前記複数個のチップに分割されたガラス基板を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた前記複数個のチップに分割されたガラス基板の画像をあらかじめ記憶された複数個のチップに分割されたガラス基板の正規画像と比較して前記複数個のチップに分割されたガラス基板の良不良を判断する判断手段と、前記判断手段による前記複数個のチップに分割されたガラス基板の良不良をマッピングする演算手段と、前記演算手段によって作成されたマッピングテータを記録手段に記録し必要に応じて出力する記録出力手段とを、備えたことを特徴とするガラス基板検査装置を提供するものである。

そして、前記移動手段によってマーキング作業位置に移動させられた前記複数個のチップに分割されたガラス基板の、前記記録出力手段による記録されたマッピングデータに基づき、該複数個のチップに分割されたガラス基板の不良部分をマーキングする手段を備えたことを特徴とするガラス基板検査装置を提供するものである。
更に、前記移動手段によって前記複数個のチップに分割されたガラス基板が載置された前記リングテーブルが測定作業位置に移動させられると、該複数個のチップに分割されたガラス基板の板厚を測定する板厚測定手段を備えたことを特徴とするガラス基板検査装を提供するものである。
また、前記移動手段によって、前記リングテーブルが載置位置に移動させられると前記複数個のチップに分割されたガラス基板を前記リングテーブルに載置するガラス基板載置手段を備えたことを特徴とするガラス基板検査装置であって、
前記移動手段によって、前記複数個のチップに分割されたガラス基板が載置された前記リングテーブルが収納作業位置に移動させられると、載置されている前記複数個のチップに分割されたガラス基板を収納部に収納するガラス基板収納手段を備えたことを特徴とするガラス基板検査装置を提供するものである。

本願に係る発明はリングテーブル30に、フラットリング40ら貼り付けられた粘着シート42に貼着されたガラス基板41を図2のように外形検査カメラ20によって一つのチップ毎になったガラス基板41を撮像し、判断部4で良否を判断し良否のガラス基板41のチップごとの位置を演算部5でマッピングデータに演算して記録部6によって記録媒体に記録するよう構成されている。

判断部4ではあらかじめ良好なガラス基板41を撮像したデータを記憶しており、外形検査カメラ20が撮像したデータと比較して、ガラス基板41の良否を判断する。従って撮像の解像度を上げれば、微小な形状サイズのガラス基板41であっても測定値に誤差が生じることはない。

更にこのときあらゆる方向からの光を照射して撮像するように構成すれば、ガラス基板41表面上の傷を見落としてしまうこともなく、また良好のガラス基板を不良と誤って判断することも防止することができる。

リングテーブル30と外形検査カメラ20が連動して制御部3の制御によってガラス基板41のチップ毎に、順次自動で撮像するので、人手を省くことができるので効率よく検査することができると共に、リングテーブル30に着脱可能に保持されたフラットリング40に粘着されたガラス基板41が他の部品等と接触して破損したり傷を付けたりすることがなく移動するので誤って破損することがない。

外形検査カメラ20によって不良と判断部4によって判断されたガラス基板41は、演算部5によってマッピングデータとして記録部6に記録される。
従ってバーコードなどによってフラットリング40が識別されていれば、そのフラットリング40に応じたマッピングデータが記録部6に記録され、必要があれば次工程の装置に出力できるようになっているので、従来のようにガラス基板41のチップ毎に不良のマーキングをする事無く、記録部6に記録されたマッピングデータを次工程に出力して制御するようにすれば、不良のガラス基板41が採用されることを自動的に防止することができる。

また、本発明によれば記録部6に記録されたマッピングデータを図5のようにレーザーマーカー21に出力してマッピングデータに基づいて不良品のガラス基板41の表面に×印などのレーザ光による印を付けるようにすれば、洗浄してもマーキングが消えてしまうことがない。

リングテーブル30はサーボモータを使用して移動するので、正確に位置決めすることができる。従って図6のように板厚検査部22によって板厚センサー221を下降させガラス基板41と接触させるようにすることで、板厚を測定し判断部4で所定の板厚か否かを判断させることができる。

また、図1のようにリングチャック23は下段のマガジン252からフラットリング40を引き出しリングテーブル30にセットした後検査されるが、全ての工程が終了したフラットリング40は図7のようにマガジンエレベータが下降して、上段のマガジン251に収納される構成になっている。

このことによって検査前のフラットリング40は下段のマガジン252に収納されており、検査後のフラットリング40は上段のマガジン251に収納されているので検査前と検査後のフラットリング40を取り違えることがなく、判別が容易で確実になった。

本発明はマガジン25に収納されたフラットリング40をリングテーブル30に保持して、外形検査カメラ20によってガラス基板41を描くチップ毎に検査し、その良否をマッピングデータに作成して記録部6に記録して、後工程でガラス基板41を使用する際に、マッピングデータを出力させて良いガラス基板41のみを自動で制御してピックアップして使用することができるように構成したものである。
また、記録部6に記録されたマッピングデータに基づいてレーザーマーカー21を使用して不良のガラス基板41にレーザ光によってマーキングになるような傷を付け、良否の判断を容易にしたものである。このようにしておくことで解像度の悪いカメラで撮像しても次工程では良否の判断が容易にできるようにしたものである。
更にはリングテーブル30にフラットリング40が保持されたことを利用して、板厚検査部22の板厚センサ221によってガラス基板41の板厚を測定できるようにしたものである。
そしてリングチャック23によって下段のマガジン252からリングテーブル30に引き出されたフラットリング40は検査終了後にリングチャック23によって上段のマガジン251に収納し検査前のフラットリング40と検査後のフラットリング40が混同されることがないように構成したものである。

図1はガラス基板検査装置の斜視図でリングチャック23が下段マガジン252からフラットリング40を引き出しリングクランプ31とリングエキスパンド32の間に挿入している状態を示す図である。
図2はガラス基板検査装置の斜視図で、リングテーブル30がフラットリング40を保持して外形検査カメラ20の直下に移動してガラス基板41を撮像している状態を示す図である。
図3はガラス基板検査装置の図2の状態を上から見た上面図である。
図4はリングテーブル30を架台2から取り外してフラットリング40を挿入した状態になるようにした状態を示す図である。
図5はガラス基板検査装置の斜視図で、リングテーブル30がフラットリング40を保持してレーザーマーカー21の直下に移動して、ガラス基板41の不良チップにレーザー光によってマーカーとなる傷を付けている状態を示す図である。
図6はガラス基板検査装置の斜視図でリングテーブル30がフラットリング40を保持して板厚検査部22の直下に移動して、ガラス基板41の板厚を測定している状態を示す図である。
図7はガラス基板検査装置の斜視図で、全ての検査が終了したフラットリング40をリングチャック23が把持して上段のマガジン251に収納している状態を示す図である。
図8は従来のパネルディスプレイ90を架台91に搭載して目視によって検査している状態を示す図である。

以下本発明の実施例を説明する。作業の最初と終わりの状態を示している図1と図7に示すように、マガジン25は検査前のフラットリング40が収納された状態で、下段のマガジン252がマガジンエレベータ26上部に設置され、空のマガジン251が下段のマガジン252の上に設置されている。

マガジンエレベータ26はサーボモータ(図示しない)の駆動によって上下動し、マガジン25内に収納された複数のフラットリング40をそれぞれが収納された所定高さに移動してリングチャック23に把持させてY2方向に引き出すことができるように、構成されている。(基板載置手段)

また、図7のような最終段階でリングチャック23がフラットリング40を把持してY1方向に移動する際には、上段のマガジン251内に収納するようにマガジンエレベータ26によって高さが位置合わせされるよう制御部3で制御されるように構成されている。(基板収納手段)

下段のマガジン252からフラットリング40を引き出すときは図1のような高さにマガジンエレベータ26が停止し上段のマガジン251にフラットリング40を挿入するときは図7のような高さにマガジンエレベータ26が下降し、リングチャック23によってフラットリング40が挿入される構成になっている。

なお、本装置に使用されている全てのモータはサーボモータであり、モータ内部に構成されたロータリーエンコーダによってどちらの方向にどれだけの速度で何回回転したかが制御部3に送信されるように構成されている。

各モータはそれぞれに取り付けられたねじ軸を回転することによりベアリング部を移動させることができる。このような構成によって例えばマガジンエレベータ26の高さ(位置)がモータの回転によって判断され制御部3で制御される構成になっている。

図1に示されるリングチャック23は、マガジン25に収納されているフラットリング40を把持しリングチャックベース232に装着されたモータ233を駆動させてねじ軸234を回転させることによってリングチャックアーム231をY2方向に移動させ、所定の位置で待機しているリングテーブル30のリングクランプ31とリングエキスパンド32の間にフラットリング40を挿入させる構成になっている。

リングチャック23はフラットリング40をチャッキングできるようになっていると共に、リンクチャックアーム23に対してZ方向に移動することができるように構成されており、フラットリング40をリングクランプ31とリングエキスパンド32の所定位置に挿入した後に、リングクランプ凹部311から上方に抜き上げてリングテーブル30のX方向やY方向の動きに干渉することがないように、図2図5図6に示すように退避するように構成されている。

ガラス基板41が貼着されたフラットリング40を移動させるリングテーブル30は図4に示すような構成になっている。
架台2に固着されたY軸ベース301にY軸モータ302が取り付けられておりY軸モータ302の駆動によってYねじ軸303が回転しX軸ベース304をX方向に移動するように構成されている。

X軸ベース304も同様にX軸モータ305が取り付けられており、X軸モータ305の駆動によってXねじ軸306が回転しθ軸ベース307をX方向に移動するように構成されている。
θ軸ベース307にはθ軸モータ308が取り付けられており、リングエキスパンドギャ321とかみ合うことによってリングエキスパンド32をθ方向に回転するように構成されている。

リングエキスパンド32にはエキスパンドモータ323が取り付けられており、エキスパンドモータ323の駆動によってエキスパンドねじ軸324が回転しリングクランプ31が上下動するように構成されている。
リングエキスパンド32の中央穴外周部にはリングエキスパンド凸部322があり、リングチャック23によって挿入されたフラットリング40の粘着シート42のガラス基板41が貼着されていない部分に当接して固定するように構成されている。

その後エキスパンドモータ323を駆動しエキスパンドねじ軸324を回転させることによってリングクランプ31を下降すると、フラットリング40が下降し、粘着シート42がリングエキスパンド凸部322に当接することによって引き伸ばされ、ガラス基板41のダイシングされた切断面が広がることによってガラス基板41の形状が認識しやすくなると共に、粘着シート42に貼着されたガラス基板41がリングテーブル30にしっかりと固定される。(フラットリングを着脱可能にしたリングテーブル)

フラットリング40の外周には凹部401と凹部402が形成されており、リングチャック23に把持されてリングクランプの凹部311に沿って挿入されると、リングクランプ31の裏面に突出しているピン(図示しない)に凹部401と402が当接してフラットリング40とリングクランプ31の位置決めが正確になされるよう構成されている。
このようにしてガラス基板41が搭載されたフラットリング40はリングテーブル30に着脱自在に固定され外形検査カメラ20の直下に移送される。(移動手段)

外形検査カメラ20は図2、図3に示すように、カメラアーム201によってリングテーブルの移動範囲内に突出するように設置されている。
外形検査カメラ20の笠の部分には発光ダイオードなどの照明が取り付けられており、撮像時に発光する。

外形検査カメラ20は制御部3の制御によってリングテーブル30を移動させながらガラス基板41のチップ毎に撮像しデータを判断部4に送信する(撮像手段)。判断部4は送られてきた撮像データによって良否を判断し演算部5に結果を送信する(判断手段)。演算部5は制御部3と判断部4から送信されてきた位置データと良否データを演算処理してガラス基板41のマッピングテータを作成し(演算手段)記録部6に記録させるように構成されている。(記録出力手段)

記録部6に記録されたマッピングデータは可搬型メモリ、携帯型メモリ、内部メモリ等の記録手段によってデータを次工程の作業機に移動ないしコピーして伝達することができる。もちろんラインによって直接送信することができるようにもなっている。

レーザーマーカー21は図5に示すようにカバー211の下にあるガラス基板41のチップ毎の表面にレーザ光によって決して消去できないように文字やマークを記載することができる。
本実施例の場合は、記録部6に記録されたマッピングデータに基づいて制御部3がレーザーマーカー21とリングテーブル30を制御して、不良なガラス基板41のチップの表面にのみ×印を記載するよう構成されている。(マーキングする手段)

マーキングする方法は何でも良いのであるが、レーザーマーカー21を使用することにより、不良のガラス基板41のチップに正確にマーキングすることができると共に、レーザ光によってマークを焼き付けることができるので決して消し去ることができないようにしたものである。

上述したように、ガラス基板41に直接マーキングしなくても記録部6に記録されたマッピングデータを次工程に送信することでも作業は完了する。しかし次工程の作業機にマッピングデータを読み込む構成がされていない場合はガラス基板41表面に直接マーキングするのが良い。

また、ガラス基板41にマーキングがしてあれば次工程の作業機の検査カメラが解像度の低いものであっても良否を判断できるようにすることができる。また、次工程が人手によって判断するものであってもマーキングしてあれば容易に良否を判断することができる。

板厚検査部22は図6に示すように、モータ222によって下降するアーム223の先端部に板厚センサ221が取り付けられており、板厚センサ221がガラス基板41に接触した高さを測定することにより、ガラス基板41の板厚を測定するように構成されている。(板厚測定手段)

一般にガラス基板41はチップ毎に板厚が大きく変化することは少ないので、本実施例では一つのフラットリング40に粘着されたガラス基板41の数箇所のチップを測定して判断している。

また、本実施例ではガラス基板41の板厚の誤差を測定するのが趣旨ではなく、異なる板厚のガラス基板41が混入した場合に、後工程の外形検査を省略して不良として検査を中止することを目的にしているので、外形検査カメラ20によって外形検査する前に板厚検査部22で板厚検査が行われるようになっており、板厚が異なる場合には、検査を停止してアラームで警告する等のプログラムがなされている。

以上説明したとおり、リングテーブル30が移動手段をまかない、外形検査カメラ20が撮像手段をまかない、板厚検査部が板厚測定手段をまかなっている。
他に制御部3が制御作業を、判断部4が判断手段を、演算部5が演算手段を、記録部6が記録出力手段をまかなっている。

以上のように構成されたガラス基板検査装置1の動作について説明する。図1のように下段のマガジン252に収納されたフラットリング40とリングテーブル30のフラットリング40の挿入部が同じ高さと位置になるように制御部3で位置決めした後、リングチャック23をY1方向に移動してリングクランプ凹部311に沿うようにして、フラットリング40を把持してマガジン25から引き出し、フラットリングの凹部401,402がリングクランプ裏面に突出したピンに当接して位置決めされるまで移動する。

その後リングチャック23はフラットリング40のチャッキング(把持)を解除して図2の位置に移動してリングテーブル30の移動に干渉しない位置に退避している。

リングクランプ31の下にフラットリング40が挿入されるとエキスパンドモータ323が駆動してエキスパンドねじ軸324を回転してリングクランプ31を下降させる。
フラットリング40に張られた粘着シート42はリングエキスパンド32に形成されたリングエキスパンド凸部322によって外周方向に引き伸ばされながら下降してきたリングクランプ31との間で挟まれて微動しないように保持される。

次に本実施例では図6のように、リングテーブル30を板厚検査部22の直下に移動してガラス基板41の板厚を測定する。板厚を先に測定するのは、前記したとおり、板厚が異なる場合は適合しないガラス基板41として後の外形検査を省略することができるからである。

板厚検査が良好であれば、図2、図3のようにリングテーブル30は外形検査カメラ20の直下に移動し外形検査が行われる。
外形検査はガラス基板41の各チップ毎に外形検査カメラ20で撮像され判断部4に送信される。判断部4ではあらかじめ撮像された良好なチップの映像と比較して良否を判断する。

良否が判断されたガラス基板41は各チップ毎にチップの位置と判断結果を演算部5に演算させてマッピングデータを作成し記録部6の記録媒体に記録する。
本実施例の場合はCPUに組込まれたメモリーが記録部6になっている。

マッピングデータが作成された後リングテーブル31は図5のようにレーザーマーカー21直下に移動しガラス基板41の不良チップに対してマーキング作業が行われる。
レーザーマーカー21は一定の範囲内であればレーザ光を移動させて対象物に書き込みすることができるので、レーザーマーカー21の作図範囲内に不良チップが位置するようリングテーブル30を移動させてマーキングする。

本実施例では記録部6から送信されたマッピングデータに基づいて制御部3の制御により、不良チップに×印をレーザ光によってガラス基板41表面に書き込みする。
ガラス基板41を扱う次工程の装置に上記マッピングデータを読み込んで制御できる構成にしてあれば、レーザーマーカー21が×印を付けたガラスの基板41のチップを選択しないようにプログラミングして制御すれば、レーザ光によるマーキングがなくても、次工程の装置では自動で取捨選択することができる。

レーザーマーカー21によってガラス基板41の不良チップにマーキングされた後、リングテーブル30は図7のようにリングチャック23の直下に移動し、エキスパンドモータ323を駆動してリングクランプ31を上昇させ固定していたフラットリング40を開放する。

リングチャック23はリングクランプ凹部311から挿入され、フラットリング40を把持する。そしてモータ233を駆動してリングチャックアーム231をY1方向に移動させてフラットリング40をマガジン25に挿入する。

このときマガジンエレベータ26がZ1方向に下降して上段のマガジン251が、挿入位置に移動しており、検査が終了したフラットリング40は検査前に収納されていた下段のマガジン252とは別のマガジン251に収納されるので、検査とマーキングが終了して上段のマガジン251に収納されたことがわかる。

このことにより検査終了前のフラットリング40は下段のマガジン252に収納され、検査終了したフラットリング40は上段のマガジン251に収納されるので検査前のフラットリングか否か混同することを無くすことができる。
従来は不良品がなく、まったくマーキングされなかったフラットリング40の場合は検査前か否か区別が付かず混乱を招いていた。

本発明は、ガラス基板検査装置だけでなくあらゆる小部品の検査装置に応用することができる。

ガラス基板検査装置の斜視図でリングチャック23が下段マガジン252からフラットリング40を引き出しリングクランプ31とリングエキスパンド32の間に挿入している状態を示す図である。ガラス基板検査装置の斜視図で、リングテーブル30がフラットリング40を保持して外形検査カメラ20の直下に移動してガラス基板41を撮像している状態を示す図である。ガラス基板検査装置の図2の状態を上から見た上面図である。リングテーブル30を架台2から取り外してフラットリング40を挿入した状態になるようにした状態を示す図である。ガラス基板検査装置の斜視図で、リングテーブル30がフラットリング40を保持してレーザーマーカー21の直下に移動して、ガラス基板41の不良チップにレーザ光によってマーカーとなる傷を付けている状態を示す図である。ガラス基板検査装置の斜視図でリングテーブル30がフラットリング40を保持して板厚検査部22の直下に移動して、ガラス基板41の板厚を測定している状態を示す図である。ガラス基板検査装置の斜視図で、全ての検査が終了したフラットリング40をリングチャック23が把持して上段のマガジン251に収納している状態を示す図である。従来のパネルディスプレイ90を架台91に搭載して目視によって検査している状態を示す図である。

符号の説明

1
ガラス基板検査装置
2
架台
3
制御部
4
判断部
5
演算部
6
記録部
20
外形検査カメラ
201 カメラアーム
21
レーザーマーカー
211 カバー
22
板厚検査部
221 板厚センサー
222 モータ
223 アーム
23 リングチャック
231 リングチャックアーム
232 リングチャックベース
233 モータ
234 ねじ軸
25
マガジン
251
上段のマガジン
252
下段のマガジン
26
マガジンエレベータ
30
リングテーブル
301
Y軸ベース
302
Y軸モータ
303
Yねじ軸
304
X軸ベース
305
X軸モータ
306
Xねじ軸
307
θ軸ベース
308
θ軸モータ
309
θ軸ギャ
31
リングクランプ
311 リングクランプ凹部
32
リングエキスパンド
321
リングエキスパンドギャ
322
リングエキスパンド凸部
323
エキスパンドモータ
324
エキスパンドねじ軸
40
フラットリング
401
フラットリング凹部
402
フラットリング凹部
41
ガラス基板
42
粘着シート
90
パネルディスプレイ(従来例)
91
架台(従来例)

Claims

複数個のチップに分割されたガラス基板が中央部に粘着された粘着シートの外周辺部をフラットリングに粘着した状態で検査するガラス基板検査装置において、
前記フラットリングを着脱可能にしたリングテーブルと、
前記リングテーブルを作業位置ごとに移動させるリングテーブル移動手段と、
前記リングテーブル移動手段により撮像作業位置に移動させられた前記リングテーブルに保持された前記複数個のチップに分割されたガラス基板を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって得られた前記複数個のチップに分割されたガラス基板の画像をあらかじめ記憶された複数個のチップに分割されたガラス基板の正規画像と比較して前記複数個のチップに分割されたガラス基板の良不良を判断する判断手段と、
前記判断手段による前記複数個のチップに分割されたガラス基板の良不良をマッピングする演算手段と、
前記演算手段によって作成されたマッピングテータを記録手段に記録し必要に応じて出力する記録出力手段とを、
備えたことを特徴とするガラス基板検査装置。
前記移動手段によってマーキング作業位置に移動させられた前記複数個のチップに分割されたガラス基板の、前記記録出力手段による記録されたマッピングデータに基づき、該複数個のチップに分割されたガラス基板の不良部分をマーキングする手段を備えたことを特徴とする請求項1記載のガラス基板検査装置。
前記移動手段によって前記複数個のチップに分割されたガラス基板が載置された前記リングテーブルが測定作業位置に移動させられると、該複数個のチップに分割されたガラス基板の板厚を測定する板厚測定手段を備えたことを特徴とする請求項1、2記載のガラス基板検査装置。
前記移動手段によって、前記リングテーブルが載置位置に移動させられると前記複数個のチップに分割されたガラス基板を前記リングテーブルに載置するガラス基板載置手段を備えたことを特徴とする請求項1、2、3記載のガラス基板検査装置。
前記移動手段によって、前記複数個のチップに分割されたガラス基板が載置された前記リングテーブルが収納作業位置に移動させられると、載置されている前記複数個のチップに分割されたガラス基板を収納部に収納するガラス基板収納手段を備えたことを特徴とする請求項1、2、3記載のガラス基板検査装置。