JPS61265828A - ペレツト検知方法 - Google Patents
ペレツト検知方法Info
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- JPS61265828A JPS61265828A JP10702685A JP10702685A JPS61265828A JP S61265828 A JPS61265828 A JP S61265828A JP 10702685 A JP10702685 A JP 10702685A JP 10702685 A JP10702685 A JP 10702685A JP S61265828 A JPS61265828 A JP S61265828A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はペレット表面に定められている検知対象部を検
知するペレット検知方法に関すゐ。
知するペレット検知方法に関すゐ。
［従来の技術］
従来、ペレット、例えば表面に回路パターンを配置し、
形成してなる半導体ペレットは、電子部品として供給さ
れるに先立ちペレット表面に定められている検知対象部
を予め検知するようにしている。ペレットの検知は、複
数の相互に整列配置されてなるペレット群の、各ペレッ
ト表面に定められている検知対象部を、検知カメラによ
って検知することによって行なわれる。各ペレットの表
面に定められる検知対象部には、例えば予め測定装置に
より特性測定を行なった結果、不良とされたペレットの
表面中心部分に表示される不良マーク、ペレットの方向
変換や位置決めの際にその基準として用いるペレット表
面上の特殊な回路パターンや表面電極等がある。すなわ
ち、整列されるペレットは、これら検知対象部を検知し
て例えば良品ペレットの選別摘出、該ペレットを摘出す
る際のコレットに対する位置決め等が行なわれ、このよ
うにして摘出されたペレットを電子部品として供給する
ようにしている。検知カメラによる検知対象部の検知は
、検知カメラの視認領域内に検知すべきペレットを収め
、該ペレットの検知対象部を視認領域内で検知して行な
うようにしている。さらに、当該ペレットに隣接するペ
レットの検知は、検知カメラと整列されるペレットとを
相対移動し、隣接するペレットを検知カメラの視認領域
内に収めることにより行なわれる。
形成してなる半導体ペレットは、電子部品として供給さ
れるに先立ちペレット表面に定められている検知対象部
を予め検知するようにしている。ペレットの検知は、複
数の相互に整列配置されてなるペレット群の、各ペレッ
ト表面に定められている検知対象部を、検知カメラによ
って検知することによって行なわれる。各ペレットの表
面に定められる検知対象部には、例えば予め測定装置に
より特性測定を行なった結果、不良とされたペレットの
表面中心部分に表示される不良マーク、ペレットの方向
変換や位置決めの際にその基準として用いるペレット表
面上の特殊な回路パターンや表面電極等がある。すなわ
ち、整列されるペレットは、これら検知対象部を検知し
て例えば良品ペレットの選別摘出、該ペレットを摘出す
る際のコレットに対する位置決め等が行なわれ、このよ
うにして摘出されたペレットを電子部品として供給する
ようにしている。検知カメラによる検知対象部の検知は
、検知カメラの視認領域内に検知すべきペレットを収め
、該ペレットの検知対象部を視認領域内で検知して行な
うようにしている。さらに、当該ペレットに隣接するペ
レットの検知は、検知カメラと整列されるペレットとを
相対移動し、隣接するペレットを検知カメラの視認領域
内に収めることにより行なわれる。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、最近、半導体ペレットは集積率の向上、
形成するべきＩＣ回路の汎用性等に基づき大型化され、
１つのペレットの大きさが７■層角から１０１１角の大
型のものも提供されている。このため、この種の大型ペ
レットの場合、検知カメラの視認領域に比してペレット
表面の領域が大となり、視認領域内にペレットの全体が
収まりきれない問題がある。すなわち、視認領域内にペ
レットの全体が収まりきれないと該領域内にペレットの
検知対象部が存在しない場合が生じるものとされた。し
たがって、この種のペレットにおいては、検知カメラの
視認領域内に当該ペレットの検知対象部を収め、かつ検
知可能とするため、検知カメラと整列されるペレットと
を相対移動し、検知カメラにより当該ペレットの検知対
象部を検索しなければならなかった。しかしながら、こ
の種の検索作業は高い精度、敷布さが要求され、多くの
困難が伴なうものとされた。
形成するべきＩＣ回路の汎用性等に基づき大型化され、
１つのペレットの大きさが７■層角から１０１１角の大
型のものも提供されている。このため、この種の大型ペ
レットの場合、検知カメラの視認領域に比してペレット
表面の領域が大となり、視認領域内にペレットの全体が
収まりきれない問題がある。すなわち、視認領域内にペ
レットの全体が収まりきれないと該領域内にペレットの
検知対象部が存在しない場合が生じるものとされた。し
たがって、この種のペレットにおいては、検知カメラの
視認領域内に当該ペレットの検知対象部を収め、かつ検
知可能とするため、検知カメラと整列されるペレットと
を相対移動し、検知カメラにより当該ペレットの検知対
象部を検索しなければならなかった。しかしながら、こ
の種の検索作業は高い精度、敷布さが要求され、多くの
困難が伴なうものとされた。
本発明は、検知カメラの視認領域に比してペレットの表
面領域が大となる場合に、ペレット表面の検知対象部を
確実かつ容易に検知カメラにより検知可能とすることを
目的としている。
面領域が大となる場合に、ペレット表面の検知対象部を
確実かつ容易に検知カメラにより検知可能とすることを
目的としている。
上記目的を達成するために、本発明の第１は、複数の相
互に整列配置されてなるペレット群の各ペレット表面に
定められている検知対象部を、検知カメラによって検知
するペレット検知方法において、検知カメラの視認領域
に比してペレットの表面領域が大なる時。
互に整列配置されてなるペレット群の各ペレット表面に
定められている検知対象部を、検知カメラによって検知
するペレット検知方法において、検知カメラの視認領域
に比してペレットの表面領域が大なる時。
（Ａ）検知カメラとペレットを相対移動し、ペレットの
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後。
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後。
（Ｂ）予め定められている当該ペレットにおける目的パ
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知可能とすること
としている。
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知可能とすること
としている。
さらに、上記目的を達成するために、本発明の第２は、
複数の相互に整列配置されてなるペレット群の各ペレッ
ト表面に定められている検知対象部を、検知カメラによ
って順次検知するペレット検知方法において、検知カメ
ラの視認領域に比して各ペレットの表面領域が大なる時
、 （Ａ）検知カメラとペレットを相対移動し、ペレットの
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後。
複数の相互に整列配置されてなるペレット群の各ペレッ
ト表面に定められている検知対象部を、検知カメラによ
って順次検知するペレット検知方法において、検知カメ
ラの視認領域に比して各ペレットの表面領域が大なる時
、 （Ａ）検知カメラとペレットを相対移動し、ペレットの
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後。
（Ｂ）予め定められている当該ペレットにおける目的パ
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知した後、 （Ｃ）予め知られている上記ペレットの検知対象部とそ
れに隣接するペレットの目的パターンもしくは検知対象
部との位置関係に基づき、検知カメラとペレットを相対
移動し、検知カメラの視認領域内に上記隣接するペレッ
トの検知対象部を視認して検知可能とすることとしてい
る。
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知した後、 （Ｃ）予め知られている上記ペレットの検知対象部とそ
れに隣接するペレットの目的パターンもしくは検知対象
部との位置関係に基づき、検知カメラとペレットを相対
移動し、検知カメラの視認領域内に上記隣接するペレッ
トの検知対象部を視認して検知可能とすることとしてい
る。
［作 用］
本発明の第１によれば、目的パターンを視認して検知し
た後、該目的パターンに基づき当該ペレットの検知対象
部の位置が認定可能となり、該認定に基づき検知カメラ
とペレットを相対移動することにより、検知カメラの視
認領域に比してペレット表面の領域が大となるペレット
の検知対象部が確実かつ容易に検知カメラにより検知す
ることが可能となる。
た後、該目的パターンに基づき当該ペレットの検知対象
部の位置が認定可能となり、該認定に基づき検知カメラ
とペレットを相対移動することにより、検知カメラの視
認領域に比してペレット表面の領域が大となるペレット
の検知対象部が確実かつ容易に検知カメラにより検知す
ることが可能となる。
また、本発明の第２によれば、上記のようにして検知さ
れたペレットの検知対象部に基づき、隣接するペレット
の検知対象部の位置を、直接もしくは隣接するペレット
の目的パターンを介して認定することが可能となり、該
認定に基づき検知カメラとペレットを相対移動すること
により、順次隣接されるペレットの検知対象部を確実か
つ容易に検知カメラにより検知することが可能となる。
れたペレットの検知対象部に基づき、隣接するペレット
の検知対象部の位置を、直接もしくは隣接するペレット
の目的パターンを介して認定することが可能となり、該
認定に基づき検知カメラとペレットを相対移動すること
により、順次隣接されるペレットの検知対象部を確実か
つ容易に検知カメラにより検知することが可能となる。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明を用いてなるペレット検知装置を示す正
面断面図、第２図はペレット検知装置を示す平面図、第
３図はペレットの形成状態を示す断面図、第４図は第２
図の■部を拡大して示す平面図、第５図ないし第９図は
検知カメラによりペレット表面の検知対象部を検知する
過程を示す七二タ図、第１０図は隣接するペレットの検
知対象部を検知する過程を示す平面図である。
面断面図、第２図はペレット検知装置を示す平面図、第
３図はペレットの形成状態を示す断面図、第４図は第２
図の■部を拡大して示す平面図、第５図ないし第９図は
検知カメラによりペレット表面の検知対象部を検知する
過程を示す七二タ図、第１０図は隣接するペレットの検
知対象部を検知する過程を示す平面図である。
ペレット検知袋Ｍ１０は、平面ＸＹ方向に移動可能なＸ
Ｙテーブル１１を有してなり、該ＸＹテーブル１１には
、複数のペレット１２を支持する支持リング１３が取着
可能とされる。支持リング１３の取着は支持枠台１４の
支持部１５に対して行なわれ、該支持枠台１４は、ボル
ト１６によりＸＹテーブル１１の上面に固着される。支
持リング１３に支持される複数のペレット１２は、粘着
シート１７の上面にそれぞれ被着される状態で整列され
る。すなわち、各ペレット１２は、粘着シート１７上で
ＸＹ方向に相互に整列配置されてなり、整列されるペレ
ット１２は、粘着シート１７の上面で円形のペレット群
を構成するようにしている。
Ｙテーブル１１を有してなり、該ＸＹテーブル１１には
、複数のペレット１２を支持する支持リング１３が取着
可能とされる。支持リング１３の取着は支持枠台１４の
支持部１５に対して行なわれ、該支持枠台１４は、ボル
ト１６によりＸＹテーブル１１の上面に固着される。支
持リング１３に支持される複数のペレット１２は、粘着
シート１７の上面にそれぞれ被着される状態で整列され
る。すなわち、各ペレット１２は、粘着シート１７上で
ＸＹ方向に相互に整列配置されてなり、整列されるペレ
ット１２は、粘着シート１７の上面で円形のペレット群
を構成するようにしている。
粘着シート１７に被着される各ペレット１２は、シリコ
ン等の材質により形成され、かつ表面を鏡面とする円形
ウェハ１８の表面層に回路パターン群１９を焼付け、さ
らに該ウェハ１８を各回路パターンごとに破折し、分離
することにより形成される。この回路パターン群１９の
輪郭は、円形ウェハ１８内に収まる長方形状のものとさ
れ、複数の回路パターンはＸＹ方向に配列される状態で
構成される。これにより、回路パターン群１９の焼付け
られる部分以外の円形ウェハ１８の表面は、鏡面のまま
の状態とされる０回路パターン群１９が焼付けられた円
形ウェハ１８の破折、分離は、回路パターン群１９を各
回路パターンごとに区画し、分離するダイシングライン
２０に沿って行なわれ、該ダイシングライン２０はウェ
ハ１８の表面にＸＹ方向に沿ってマトリックス状に刻設
される。ダイシングライン２０の刻設は。
ン等の材質により形成され、かつ表面を鏡面とする円形
ウェハ１８の表面層に回路パターン群１９を焼付け、さ
らに該ウェハ１８を各回路パターンごとに破折し、分離
することにより形成される。この回路パターン群１９の
輪郭は、円形ウェハ１８内に収まる長方形状のものとさ
れ、複数の回路パターンはＸＹ方向に配列される状態で
構成される。これにより、回路パターン群１９の焼付け
られる部分以外の円形ウェハ１８の表面は、鏡面のまま
の状態とされる０回路パターン群１９が焼付けられた円
形ウェハ１８の破折、分離は、回路パターン群１９を各
回路パターンごとに区画し、分離するダイシングライン
２０に沿って行なわれ、該ダイシングライン２０はウェ
ハ１８の表面にＸＹ方向に沿ってマトリックス状に刻設
される。ダイシングライン２０の刻設は。
第３図に示すようにダイヤモンドポイント２１等を用い
て行なわれ、配列される各回路ハ０ターンごとに該ダイ
ヤモンドポイント２１をＸＹ方向に移動するようにして
いる。ダイシングライン２０が刻設された円形ウェハ１
９は、粘着シート１７に被着させた状態で、ダイシング
ライン２０に沿ってブレーキングされ、さらに粘着シー
ト１７を加熱し第３図矢示Ａ方向に該粘着シート１７を
引き伸ばすようにする。この状態で第１図および第２図
に示すように、粘着シー）１７の周部をゴムバンド２２
を介して支持リング１３に保持させるようにする。この
結果、支持リング１３に支持される状態で粘着シート１
７の上面ＸＹ方向に複数のペレット１２が整列されるこ
ととなる。
て行なわれ、配列される各回路ハ０ターンごとに該ダイ
ヤモンドポイント２１をＸＹ方向に移動するようにして
いる。ダイシングライン２０が刻設された円形ウェハ１
９は、粘着シート１７に被着させた状態で、ダイシング
ライン２０に沿ってブレーキングされ、さらに粘着シー
ト１７を加熱し第３図矢示Ａ方向に該粘着シート１７を
引き伸ばすようにする。この状態で第１図および第２図
に示すように、粘着シー）１７の周部をゴムバンド２２
を介して支持リング１３に保持させるようにする。この
結果、支持リング１３に支持される状態で粘着シート１
７の上面ＸＹ方向に複数のペレット１２が整列されるこ
ととなる。
粘着シート１７上に整列されるベレット１２には、表面
に回路パターンが焼付けられているものと、表面を鏡面
のままの状態とするものが存在する。これら整列される
各ペレット１２は、ベレット検知装置１０により検知を
行なうに際して予め表面に形成された回路パターンの特
性試験が行なわれ、該試験は、不図示の特性試験機によ
り行なわれる。すなわち、回路特性試験は、特性試験機
の探針をペレット１２の表面に形成される回路パターン
の表面電極に接触させて行なわれ、該回路パターンの良
、不良を検査可能としている０回路特性試験の結果、不
良と判断されたペレット１２の表面中心位置には、不図
示のマーク表示装置により、赤色等のインクで不良マー
ク２３が表示される。さらに、マーク表示装置は、表面
が鏡面のままの状態とされ、回路パターンの焼付けられ
ていないベレット１２の表面中心位置にも赤色等のイン
クで不良マーク２３を表示するようにしている。
に回路パターンが焼付けられているものと、表面を鏡面
のままの状態とするものが存在する。これら整列される
各ペレット１２は、ベレット検知装置１０により検知を
行なうに際して予め表面に形成された回路パターンの特
性試験が行なわれ、該試験は、不図示の特性試験機によ
り行なわれる。すなわち、回路特性試験は、特性試験機
の探針をペレット１２の表面に形成される回路パターン
の表面電極に接触させて行なわれ、該回路パターンの良
、不良を検査可能としている０回路特性試験の結果、不
良と判断されたペレット１２の表面中心位置には、不図
示のマーク表示装置により、赤色等のインクで不良マー
ク２３が表示される。さらに、マーク表示装置は、表面
が鏡面のままの状態とされ、回路パターンの焼付けられ
ていないベレット１２の表面中心位置にも赤色等のイン
クで不良マーク２３を表示するようにしている。
ペレット検知装置ＩＯは、これらＸＹ方向に整列される
ベレット１２のうち、不良マーク２３を備える不良のベ
レット１２と、不良マーク２３を備えていない良品とさ
れるペレット１２の座標位置をそれぞれ検知回走とする
ものであり、ＸＹテーブル１１の上方位置にはこれら整
列されるベレット１２の表面を検知可能とする検知カメ
ラ２４が固定配置される。すなわち、検知カメラ２４は
、整列されるペレット群の各ペレット１２の表面中心部
を検知対象部とし、該検知対象部における不良マーク２
３の有無を視認し、検知するようにしている。検知カメ
ラ２４の視認領域２５は、第４図に示すように略正方形
状とされる。一方、整列される各ペレット１２の表面領
域は、横がＸＬ、縦がＹＬとなる長方形状とされ、該表
面領域は、検知カメラ２４の視認領域２５に比して大と
される。このため、検知カメラ２４の視認領域２５内に
各ベレット１２の全体を収めることが不可能とされ、実
際に視認領域２５内において視認しているペレット１２
の表面に、当該ベレット１２中心の検知対象部が存在す
るか否かを判断することが不可能となる０例えば、第４
図に示す整列される各ペレット１２のうち、２点鎖線Ｂ
に示す視認領域２５を検知カメラ２４を介して視認する
場合には、第５図に示す検知カメラ２４のモニタ図に示
すように、モニタ上のどの位置が検知対象部か判断不可
能となる。このような場合に先ずＸＹテーブル１１をＸ
方向およびＹ方向に移動させ、目的パターンとしての当
該ペレッ）１０の任意の外周部位置Ｐ点を検知カメラ２
４の視認領域２５内に収めるようにする。検知カメラ２
４のモニタには、第５図に示すようにＸ照準線２６とＹ
照準線２７が備えられ、これら各照準線２６．２７の交
点を照準点Ｑとしている。モニタ、すなわち視認領域２
５内に目的パターンとしての外周部位＠Ｐ点が収められ
ると、ざらに該Ｐ点とモニタの照準点Ｑが一致するよう
に、ＸＹテーブル１１がＸ方向およびＹ方向にそれぞれ
移動される。この結果、検知カメラ２４が第４図の２点
鎖線Ｃに示す視認領域２５を視認することが可能となり
、該領域での視認状態を表わす第６図のモニタ図が示す
ように、目的パターンとしてのＰ点と照準点Ｑが一致す
る状態となる。検知カメラ２４は、このようにして当該
ペレット１２のＰ点を検知した後、この検知状態を制御
部２８に送信可能としている。制御部２８には、予め定
められている各ベレット１２の大きさに基づき、任意の
外周部位ＳｔＰ点とベレット１２の中心部位置Ｏ点間の
距離Ｌ１が記憶されている。制御部２８は、Ｐ点とＯ点
間の距離Ｌ１に基づきＸＹテーブル１１をＸ方向および
Ｙ方向に移動制御可能とし、検知カメラ２４の視認領域
２５内に当該ベレット１２の中心部位置０点を位置決め
可能としている。この結果、第４図の２点鎖線Ｃに示す
視認領域２５を視認していた検知カメラ２４が、次に第
４図の２点鎖線りに示す視認領域２５を視認することが
可能となる。制御部２８の指令に基づくｘＹテーブル１
１の移動は、当該ペレット１２の中心部０点と検知カメ
ラ２４のモニタの照準点Ｑが一致するように行なわれる
。これにより、第４図の２点鎖線りに示す領域での視認
状態を表わす第７図に示すモニタ図のように、０点とＱ
点が一致する状態となる。これにより、当該ペレット１
２の中心部位１０点が検知カメラ２４により視認して検
知することが可能となり、当該ペレット１２における不
良マーク２３の有無が判断可能となる。検知カメラ２４
は、第７図に示すように中心部位置０点において不良マ
ーク２３が確認されないと当該ペレット１２を良品とし
て認定し、当該ペレット１２のＸＹ方向における座標位
置と、当該ペレット１２が良品である旨の認定信号を記
憶部２９に送イδするようにしている。記憶部２９は、
これらの信号に基づいて該ペレット１２のＸＹ方向にお
ける座標位置と該ペレッ）１２が良品である旨を記憶す
るようにしている。
ベレット１２のうち、不良マーク２３を備える不良のベ
レット１２と、不良マーク２３を備えていない良品とさ
れるペレット１２の座標位置をそれぞれ検知回走とする
ものであり、ＸＹテーブル１１の上方位置にはこれら整
列されるベレット１２の表面を検知可能とする検知カメ
ラ２４が固定配置される。すなわち、検知カメラ２４は
、整列されるペレット群の各ペレット１２の表面中心部
を検知対象部とし、該検知対象部における不良マーク２
３の有無を視認し、検知するようにしている。検知カメ
ラ２４の視認領域２５は、第４図に示すように略正方形
状とされる。一方、整列される各ペレット１２の表面領
域は、横がＸＬ、縦がＹＬとなる長方形状とされ、該表
面領域は、検知カメラ２４の視認領域２５に比して大と
される。このため、検知カメラ２４の視認領域２５内に
各ベレット１２の全体を収めることが不可能とされ、実
際に視認領域２５内において視認しているペレット１２
の表面に、当該ベレット１２中心の検知対象部が存在す
るか否かを判断することが不可能となる０例えば、第４
図に示す整列される各ペレット１２のうち、２点鎖線Ｂ
に示す視認領域２５を検知カメラ２４を介して視認する
場合には、第５図に示す検知カメラ２４のモニタ図に示
すように、モニタ上のどの位置が検知対象部か判断不可
能となる。このような場合に先ずＸＹテーブル１１をＸ
方向およびＹ方向に移動させ、目的パターンとしての当
該ペレッ）１０の任意の外周部位置Ｐ点を検知カメラ２
４の視認領域２５内に収めるようにする。検知カメラ２
４のモニタには、第５図に示すようにＸ照準線２６とＹ
照準線２７が備えられ、これら各照準線２６．２７の交
点を照準点Ｑとしている。モニタ、すなわち視認領域２
５内に目的パターンとしての外周部位＠Ｐ点が収められ
ると、ざらに該Ｐ点とモニタの照準点Ｑが一致するよう
に、ＸＹテーブル１１がＸ方向およびＹ方向にそれぞれ
移動される。この結果、検知カメラ２４が第４図の２点
鎖線Ｃに示す視認領域２５を視認することが可能となり
、該領域での視認状態を表わす第６図のモニタ図が示す
ように、目的パターンとしてのＰ点と照準点Ｑが一致す
る状態となる。検知カメラ２４は、このようにして当該
ペレット１２のＰ点を検知した後、この検知状態を制御
部２８に送信可能としている。制御部２８には、予め定
められている各ベレット１２の大きさに基づき、任意の
外周部位ＳｔＰ点とベレット１２の中心部位置Ｏ点間の
距離Ｌ１が記憶されている。制御部２８は、Ｐ点とＯ点
間の距離Ｌ１に基づきＸＹテーブル１１をＸ方向および
Ｙ方向に移動制御可能とし、検知カメラ２４の視認領域
２５内に当該ベレット１２の中心部位置０点を位置決め
可能としている。この結果、第４図の２点鎖線Ｃに示す
視認領域２５を視認していた検知カメラ２４が、次に第
４図の２点鎖線りに示す視認領域２５を視認することが
可能となる。制御部２８の指令に基づくｘＹテーブル１
１の移動は、当該ペレット１２の中心部０点と検知カメ
ラ２４のモニタの照準点Ｑが一致するように行なわれる
。これにより、第４図の２点鎖線りに示す領域での視認
状態を表わす第７図に示すモニタ図のように、０点とＱ
点が一致する状態となる。これにより、当該ペレット１
２の中心部位１０点が検知カメラ２４により視認して検
知することが可能となり、当該ペレット１２における不
良マーク２３の有無が判断可能となる。検知カメラ２４
は、第７図に示すように中心部位置０点において不良マ
ーク２３が確認されないと当該ペレット１２を良品とし
て認定し、当該ペレット１２のＸＹ方向における座標位
置と、当該ペレット１２が良品である旨の認定信号を記
憶部２９に送イδするようにしている。記憶部２９は、
これらの信号に基づいて該ペレット１２のＸＹ方向にお
ける座標位置と該ペレッ）１２が良品である旨を記憶す
るようにしている。
このようにして、一つのベレッ）１２の検知対象部、す
なわち表面中心位置０点の検知が行なわれると、ペレッ
ト検知装置１０は、これに続いて順次Ｘ方向またはＹ方
向に隣接するペレッ）１２の表面中心位置０点に検知を
行なうようにしている。すなわち、上記のようにして、
第７図に示す当該ペレッ）１２の中心位置０点が検知さ
れると、ＸＹテーブル１１の駆動を制御可能とする制御
部２８は、例えば当該ペレット１２とＸ方向に隣接する
ペレット１２における、目的パターンとしての任意の外
周部位ＩＦ５点を認定可能としている。該認定は、予め
定めらている当該ペレット１２の中心位置０点と隣接す
るペレッ）１２における外周部位置Ｐｉ点との間の距離
Ｌ２に基づいて行われ、該距離Ｌ２は予め制御部２８に
おいて記憶されている。制御部２８は、距離Ｌ２に基づ
いて認定された外周部位置２１点を検知カメラ２４の視
認領域２５内に収めるようＸＹテーブル１１をＸ方向お
よびＹ方向にそれぞれ移動制御可能としている。この結
果、第４図の２点鎖線りに示す視認領域２５を視認して
いた検知カメラ２４が、次に第４図の２点鎖線Ｅに示す
視認領域２５を視認することが可能となる。制御部２８
の指令に基づ＜ＸＹテーブル１１の移動は、隣接するペ
レッ）１２の外周部位置２１点と検知カメラ２４のモニ
タの照準点Ｑが一致するように行なわれる。これにより
、第４図の２点鎖線Ｅに示す領域での視認状態を表わす
第８図のモニタ図のように、２１点とＱ点が一致する状
態となる。検知カメラ２４は、このようにして、隣接す
るペレット１２のＰＬ点を視認し、検知した後、この状
態を制御部２８に送信可能としている。さらに、制御部
２８は、予め記憶された任意の外周部位置２１点と該隣
接するペレット１２の中心部位置０１点間の距ｊｌｌＬ
ｌに基づきＸＹテーブル１１をＸ方向およびＹ方向に移
動可能とし、検知カメラ２４の視認領域内に隣接するペ
レット１２の中心部位置０１点を位置決めすることが可
能となる。この結果、第４図の２点鎖線Ｅに示す視認領
域２５を視認していた検知カメラ２４が、次に第４図の
２点′＃１４線Ｆに示す視認領域２５を視認することが
可能となる。上記制御部２８の指令に基づくＸＹテーブ
ル１１の移動は、隣接するペレット１２の中心部位置０
１点と検知カメラ２４のモニタの照準点Ｑが一致するよ
うに行なわれる。これにより、第４図の２点鎖線Ｆに示
す領域での視認状態を表わす第９図に示すモニタ図のよ
うに、０１点とＱ点が一致する状態となる。これにより
、当該隣接するペレット１２の中心部位置０１点が検知
カメラ２４により視認して検知することが可能となり、
当該ペレット１２における不良マーク２３の有無が判断
可能となる。検知カメラ２４は、第９図に示すように中
心部位置０１点において不良マーク２３が確認されると
当該ペレッ）１２を不良品として認定し、当該ペレット
１２のＸＹ方向における座標位置と、当該ペレット１２
が不良品である旨の認定信号を記憶部２９に送信するよ
うにしている。記憶部２９は、これら信号に基づいて該
ペレット１２のＸＹ方向における座標位置と該ペレット
１２が不良品である旨を記憶するようにしている。この
ようにして、検知カメラ２４の視認領域２５がＸＹテー
ブル１１のピッチ移動に基づいて順次隣接するペレット
１２の中心部位置に位置決め可能となり、その移動順序
は第１Ｏ図の移動ラインＧに示すようにジグザグ状とさ
れる。整列される全てのペレット１２の良、不良および
各ペレット１２の座標位置が確認され、かつ記憶部２９
において記憶されると、該記憶された情報に基づき良品
とされるペレット１２の選別摘出が可能となり、該選別
摘出は不図示の摘出装置により行なわれる。
なわち表面中心位置０点の検知が行なわれると、ペレッ
ト検知装置１０は、これに続いて順次Ｘ方向またはＹ方
向に隣接するペレッ）１２の表面中心位置０点に検知を
行なうようにしている。すなわち、上記のようにして、
第７図に示す当該ペレッ）１２の中心位置０点が検知さ
れると、ＸＹテーブル１１の駆動を制御可能とする制御
部２８は、例えば当該ペレット１２とＸ方向に隣接する
ペレット１２における、目的パターンとしての任意の外
周部位ＩＦ５点を認定可能としている。該認定は、予め
定めらている当該ペレット１２の中心位置０点と隣接す
るペレッ）１２における外周部位置Ｐｉ点との間の距離
Ｌ２に基づいて行われ、該距離Ｌ２は予め制御部２８に
おいて記憶されている。制御部２８は、距離Ｌ２に基づ
いて認定された外周部位置２１点を検知カメラ２４の視
認領域２５内に収めるようＸＹテーブル１１をＸ方向お
よびＹ方向にそれぞれ移動制御可能としている。この結
果、第４図の２点鎖線りに示す視認領域２５を視認して
いた検知カメラ２４が、次に第４図の２点鎖線Ｅに示す
視認領域２５を視認することが可能となる。制御部２８
の指令に基づ＜ＸＹテーブル１１の移動は、隣接するペ
レッ）１２の外周部位置２１点と検知カメラ２４のモニ
タの照準点Ｑが一致するように行なわれる。これにより
、第４図の２点鎖線Ｅに示す領域での視認状態を表わす
第８図のモニタ図のように、２１点とＱ点が一致する状
態となる。検知カメラ２４は、このようにして、隣接す
るペレット１２のＰＬ点を視認し、検知した後、この状
態を制御部２８に送信可能としている。さらに、制御部
２８は、予め記憶された任意の外周部位置２１点と該隣
接するペレット１２の中心部位置０１点間の距ｊｌｌＬ
ｌに基づきＸＹテーブル１１をＸ方向およびＹ方向に移
動可能とし、検知カメラ２４の視認領域内に隣接するペ
レット１２の中心部位置０１点を位置決めすることが可
能となる。この結果、第４図の２点鎖線Ｅに示す視認領
域２５を視認していた検知カメラ２４が、次に第４図の
２点′＃１４線Ｆに示す視認領域２５を視認することが
可能となる。上記制御部２８の指令に基づくＸＹテーブ
ル１１の移動は、隣接するペレット１２の中心部位置０
１点と検知カメラ２４のモニタの照準点Ｑが一致するよ
うに行なわれる。これにより、第４図の２点鎖線Ｆに示
す領域での視認状態を表わす第９図に示すモニタ図のよ
うに、０１点とＱ点が一致する状態となる。これにより
、当該隣接するペレット１２の中心部位置０１点が検知
カメラ２４により視認して検知することが可能となり、
当該ペレット１２における不良マーク２３の有無が判断
可能となる。検知カメラ２４は、第９図に示すように中
心部位置０１点において不良マーク２３が確認されると
当該ペレッ）１２を不良品として認定し、当該ペレット
１２のＸＹ方向における座標位置と、当該ペレット１２
が不良品である旨の認定信号を記憶部２９に送信するよ
うにしている。記憶部２９は、これら信号に基づいて該
ペレット１２のＸＹ方向における座標位置と該ペレット
１２が不良品である旨を記憶するようにしている。この
ようにして、検知カメラ２４の視認領域２５がＸＹテー
ブル１１のピッチ移動に基づいて順次隣接するペレット
１２の中心部位置に位置決め可能となり、その移動順序
は第１Ｏ図の移動ラインＧに示すようにジグザグ状とさ
れる。整列される全てのペレット１２の良、不良および
各ペレット１２の座標位置が確認され、かつ記憶部２９
において記憶されると、該記憶された情報に基づき良品
とされるペレット１２の選別摘出が可能となり、該選別
摘出は不図示の摘出装置により行なわれる。
なお、上記実施例に係るペレット検知装置１０にあって
は、隣接するペレット１２における中心部位１１０１点
の検知を、一度目的パターンとしての外周部位置２１点
を視認して検知し、該２１点の検知に基づいて中心部位
置０１点を認定し検知するようにしている。しかしなが
ら、このような方法に代えて、直接当該ペレット１２の
中心部位置０点と隣接するペレッ）１２の中心部位置０
１間の距ｆｉＬ３を予め制御部２８に記憶させ、該記憶
に基づいてＸＹテーブル１１を移動して整列されるペレ
ット１２を順次検知するようにしてもよい、この場合の
検知カメラ２４による検知移動順序は、第１０図示す移
動ラインＨに示すように直線とされる。
は、隣接するペレット１２における中心部位１１０１点
の検知を、一度目的パターンとしての外周部位置２１点
を視認して検知し、該２１点の検知に基づいて中心部位
置０１点を認定し検知するようにしている。しかしなが
ら、このような方法に代えて、直接当該ペレット１２の
中心部位置０点と隣接するペレッ）１２の中心部位置０
１間の距ｆｉＬ３を予め制御部２８に記憶させ、該記憶
に基づいてＸＹテーブル１１を移動して整列されるペレ
ット１２を順次検知するようにしてもよい、この場合の
検知カメラ２４による検知移動順序は、第１０図示す移
動ラインＨに示すように直線とされる。
次に、上記実施例の作用を説明する。
上記実施例によれば、目的パターンとしてのペレット１
２の外周部位置Ｐ点を検知カメラ２４により検知し、ざ
らに該２点の位置に基づき制御部２８において検知対象
部としての該ペレット１２の中心部位置０点が認定可能
となる。よって該認定に基づきＸＹテーブル１１を移動
することで検知カメラ２４により該中心部位置０点が検
知可能となり、検知カメラ２４の視認領域２５に比して
ペレット１２の表面領域が大となるペレット１２の検知
対象部が確実かつ容易に検知されることとなる。
２の外周部位置Ｐ点を検知カメラ２４により検知し、ざ
らに該２点の位置に基づき制御部２８において検知対象
部としての該ペレット１２の中心部位置０点が認定可能
となる。よって該認定に基づきＸＹテーブル１１を移動
することで検知カメラ２４により該中心部位置０点が検
知可能となり、検知カメラ２４の視認領域２５に比して
ペレット１２の表面領域が大となるペレット１２の検知
対象部が確実かつ容易に検知されることとなる。
また、上記実施例によれば、上記のようにして検知され
たペレット１２の中心部位置０点に基づき、隣接するペ
レット１２の中心部位置０１点を順次、制御部２８にお
いて認定することが可能となる。よって該認定に基づき
ＸＹテーブル１１を移動することで、順次隣接するペレ
ット１２の検知対象部、すなわち中心部位置０１点が確
実かつ容易に検知されることとなる。
たペレット１２の中心部位置０点に基づき、隣接するペ
レット１２の中心部位置０１点を順次、制御部２８にお
いて認定することが可能となる。よって該認定に基づき
ＸＹテーブル１１を移動することで、順次隣接するペレ
ット１２の検知対象部、すなわち中心部位置０１点が確
実かつ容易に検知されることとなる。
なお、上記実施例においては、ＸＹテーブル１１の移動
により検知カメラ２４に対して整列されるベレッ）１２
を移動するようにしているが、整列されるペレット１２
を固定状態とし、検知カメラ２４を平面ｘＹ方向に移動
させて整列されるペレット１２の検知対象部を順次検知
するようにしてもよい。
により検知カメラ２４に対して整列されるベレッ）１２
を移動するようにしているが、整列されるペレット１２
を固定状態とし、検知カメラ２４を平面ｘＹ方向に移動
させて整列されるペレット１２の検知対象部を順次検知
するようにしてもよい。
［発明の効果］
以上のように、本発明の第１は、複数の相互に整列配置
されてなるペレット群の各ペレット表面に定められてい
る検知対象部を、検知カメラによって検知するペレット
検知方法において、検知カメラの視認領域に比してペレ
ットの表面領域が大なる時、 （Ａ）検知カメラとペレットを相対移動し、ペレットの
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後、 （Ｂ）予め定められている当該ペレットにおける目的パ
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知可能とすること
としたため、検知カメラの視認領域に比してペレットの
表面領域が大となる場合に、ペレット表面の検知対象部
を確実かつ容易に検知カメラにより検知可能とすること
ができるという効果がある。
されてなるペレット群の各ペレット表面に定められてい
る検知対象部を、検知カメラによって検知するペレット
検知方法において、検知カメラの視認領域に比してペレ
ットの表面領域が大なる時、 （Ａ）検知カメラとペレットを相対移動し、ペレットの
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後、 （Ｂ）予め定められている当該ペレットにおける目的パ
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知可能とすること
としたため、検知カメラの視認領域に比してペレットの
表面領域が大となる場合に、ペレット表面の検知対象部
を確実かつ容易に検知カメラにより検知可能とすること
ができるという効果がある。
また、本発明の第２は、複数の相互に整列配置されてな
るペレット群の各ペレット表面に定められている検知対
象部を、検知カメラによって順次検知するペレット検知
方法において、検知カメラの視認領域に比して各ペレッ
トの表面領域が大なる時、 （Ａ）検知カメラとペレットを相対移動し、ペレットの
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後、 （Ｂ）予め定められている当該ペレットにおける目的パ
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知した後、 （Ｃ）予め知られている上記ペレットの検知対象部とそ
れに隣接するペレットの目的パターンもしくは検知対象
部との位置関係に基づき、検知カメラとペレットを相対
移動し、検知カメラの視認領域内に上記隣接するペレッ
トの検知対象部を視認して検知可能とすることとしたた
め、隣接するペレット表面の検知対象部を確実かつ容易
に順次検知カメラにより検知することができるという効
果がある。
るペレット群の各ペレット表面に定められている検知対
象部を、検知カメラによって順次検知するペレット検知
方法において、検知カメラの視認領域に比して各ペレッ
トの表面領域が大なる時、 （Ａ）検知カメラとペレットを相対移動し、ペレットの
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後、 （Ｂ）予め定められている当該ペレットにおける目的パ
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知した後、 （Ｃ）予め知られている上記ペレットの検知対象部とそ
れに隣接するペレットの目的パターンもしくは検知対象
部との位置関係に基づき、検知カメラとペレットを相対
移動し、検知カメラの視認領域内に上記隣接するペレッ
トの検知対象部を視認して検知可能とすることとしたた
め、隣接するペレット表面の検知対象部を確実かつ容易
に順次検知カメラにより検知することができるという効
果がある。
第１図は本発明を用いてなるペレット検知装置を示す正
面断面図、第２図はペレット検知装置を示す平面図、第
３図はペレットの形成状態を示す断面図、第４図は第２
図の■部を拡大して示す平面図、第５図ないし第９図は
検知カメラにょ°リペレフト表面の検知対象部を検知す
る過程を示す七二タ図、第１Ｏ図は隣接するペレットの
検知対象部を検知する過程を示す平面図である。 ｌＯ・・・ペレット検知装置、１１・・・ＸＹテーブル
、１２・・・ペレット、２３・・・不良マーク、２４・
・・検知カメラ、２５・・・視認領域、Ｐ、ＰＩ・・・
ペレット外周部位置、０．Ｏｌ・・・ペレット中心部位
置。 代理人 弁理士 塩 川 修 治 口 第 ３ 回 第 ５ 図 、／−２７ 第６図 第７ 図 第 ８ 図
面断面図、第２図はペレット検知装置を示す平面図、第
３図はペレットの形成状態を示す断面図、第４図は第２
図の■部を拡大して示す平面図、第５図ないし第９図は
検知カメラにょ°リペレフト表面の検知対象部を検知す
る過程を示す七二タ図、第１Ｏ図は隣接するペレットの
検知対象部を検知する過程を示す平面図である。 ｌＯ・・・ペレット検知装置、１１・・・ＸＹテーブル
、１２・・・ペレット、２３・・・不良マーク、２４・
・・検知カメラ、２５・・・視認領域、Ｐ、ＰＩ・・・
ペレット外周部位置、０．Ｏｌ・・・ペレット中心部位
置。 代理人 弁理士 塩 川 修 治 口 第 ３ 回 第 ５ 図 、／−２７ 第６図 第７ 図 第 ８ 図
Claims (2)
- （１）複数の相互に整列配置されてなるペレット群の各
ペレット表面に定められている検知対象部を、検知カメ
ラによって検知するペレット検知方法において、検知カ
メラの視認領域に比してペレットの表面領域が大なる時
、 （Ａ）検知カメラとペレットを相対移動し、ペレットの
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後、 （Ｂ）予め定められている当該ペレットにおける目的パ
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知可能とすること
を特徴とするペレット検知方法。 - （２）複数の相互に整列配置されてなるペレット群の各
ペレット表面に定められている検知対象部を、検知カメ
ラによって順次検知するペレット検知方法において、検
知カメラの視認領域に比して各ペレットの表面領域が大
なる時、 （Ａ）検知カメラとペレットを相対移動し、ペレットの
表面の特定位置に予め定められている目的パターンを検
知カメラによって視認して検知した後、 （Ｂ）予め定められている当該ペレットにおける目的パ
ターンと検知対象部との位置関係に基づき、検知カメラ
とペレットを相対移動し、検知カメラの視認領域内に当
該ペレットの検知対象部を視認して検知した後、 （Ｃ）予め知られている上記ペレットの検知対象部とそ
れに隣接するペレットの目的パターンもしくは検知対象
部との位置関係に基づき、検知カメラとペレットを相対
移動し、検知カメラの視認領域内に上記隣接するペレッ
トの検知対象部を視認して検知可能とすることを特徴と
するペレット検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10702685A JPS61265828A (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 | ペレツト検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10702685A JPS61265828A (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 | ペレツト検知方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61265828A true JPS61265828A (ja) | 1986-11-25 |
| JPH0574936B2 JPH0574936B2 (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=14448634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10702685A Granted JPS61265828A (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 | ペレツト検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61265828A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010032456A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-12 | Alpha- Design Kk | ガラス基板検査装置 |
-
1985
- 1985-05-21 JP JP10702685A patent/JPS61265828A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010032456A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-12 | Alpha- Design Kk | ガラス基板検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0574936B2 (ja) | 1993-10-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |