JP2010028536A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010028536A5 JP2010028536A5 JP2008188663A JP2008188663A JP2010028536A5 JP 2010028536 A5 JP2010028536 A5 JP 2010028536A5 JP 2008188663 A JP2008188663 A JP 2008188663A JP 2008188663 A JP2008188663 A JP 2008188663A JP 2010028536 A5 JP2010028536 A5 JP 2010028536A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic arm
- vibrator
- main surface
- film
- base portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 claims 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008188663A JP5168002B2 (ja) | 2008-07-22 | 2008-07-22 | 振動子及び発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008188663A JP5168002B2 (ja) | 2008-07-22 | 2008-07-22 | 振動子及び発振器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010028536A JP2010028536A (ja) | 2010-02-04 |
| JP2010028536A5 true JP2010028536A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2011-09-01 |
| JP5168002B2 JP5168002B2 (ja) | 2013-03-21 |
Family
ID=41733925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008188663A Expired - Fee Related JP5168002B2 (ja) | 2008-07-22 | 2008-07-22 | 振動子及び発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5168002B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011199453A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動体および振動デバイス |
| JP5552878B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2014-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動デバイスおよび電子機器 |
| JP5533349B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2014-06-25 | セイコーエプソン株式会社 | 屈曲振動片、屈曲振動子、発振器、および電子機器 |
| JP5581931B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2014-09-03 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動片の製造方法、振動子、振動デバイスおよび電子機器 |
| JP2012147347A (ja) * | 2011-01-14 | 2012-08-02 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| US8581669B2 (en) | 2011-02-02 | 2013-11-12 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic apparatus |
| JP2013062643A (ja) * | 2011-09-13 | 2013-04-04 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP5685962B2 (ja) | 2011-02-02 | 2015-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP5923862B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2016-05-25 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP5942582B2 (ja) * | 2012-05-15 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子の製造方法 |
| CN105210295B (zh) * | 2013-05-13 | 2017-10-03 | 株式会社村田制作所 | 振动装置 |
| JP6482169B2 (ja) | 2013-07-19 | 2019-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
| JP6395008B2 (ja) | 2014-12-26 | 2018-09-26 | 株式会社村田製作所 | 共振子の製造方法 |
| JP6822118B2 (ja) | 2016-12-19 | 2021-01-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器、および移動体 |
| JP6836180B2 (ja) * | 2017-05-30 | 2021-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | Ｍｅｍｓ素子、電子機器および移動体 |
| JP2017216753A (ja) * | 2017-09-15 | 2017-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57199312A (en) * | 1981-06-02 | 1982-12-07 | Citizen Watch Co Ltd | Piezoelectric oscillator |
| JPH0783671A (ja) * | 1993-07-22 | 1995-03-28 | Yoshiro Tomikawa | 振動型ジャイロスコープ |
| JPH085382A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Nippondenso Co Ltd | 角速度センサ |
| JP3322153B2 (ja) * | 1997-03-07 | 2002-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型水晶振動片 |
| JP3972790B2 (ja) * | 2001-11-27 | 2007-09-05 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜微小機械式共振子および薄膜微小機械式共振子ジャイロ |
| JP4404218B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2010-01-27 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉振動子およびその製造方法 |
-
2008
- 2008-07-22 JP JP2008188663A patent/JP5168002B2/ja not_active Expired - Fee Related