JP2010021489A - 接合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各半導体基板1,2それぞれに対して、半導体基板1,2において接合相手の半導体基板2,1に対向させる面側に絶縁層12,22を形成する絶縁層形成工程と、絶縁層12,22の表面をCMPにより平坦化する第1の平坦化工程と、絶縁層12,22に貫通孔12c,22cを形成する貫通孔形成工程と、貫通孔12c,22cの内側に貫通配線15,25を形成する貫通配線形成工程と、貫通配線形成工程の後に絶縁層12,22の表面側をCMPにより平坦化する第2の平坦化工程を行った後に、絶縁層12,22の表面上に接合用パッド14,24を形成する接合用パッド形成工程を行い、その後、接合用パッド14,24同士を常温接合する接合工程を行う。
【選択図】図1
Description
以下、本実施形態の接合方法について図1(a)〜(f)に基づいて説明する。
以下、本実施形態の接合方法について図2(a)〜(g)に基づいて説明する。
以下、本実施形態の接合方法について図3(a)〜(c)、図4(a),(b)に基づいて説明する。本実施形態では、実施形態1で説明した半導体基板1の前記一表面側に半導体基板2を接合し、更に、半導体基板2に対して半導体基板1とは反対側に半導体基板3を接合する。
12,22,2e,32,3e 絶縁層
14,24,24a,24b,34a,34b 接合用パッド
15,25,25a,25b,35,35a,35b 貫通配線
Claims (2)
- 半導体素子が形成された少なくとも2つの半導体基板同士を接合する接合方法であって、互いに接合する半導体基板それぞれに対して、半導体基板において接合相手の半導体基板に対向させる面側に形成された絶縁層の表面をCMPにより平坦化する平坦化工程と、平坦化工程の前後いずれかにおいて前記絶縁層の厚み方向に貫通し前記半導体素子に電気的に接続される貫通配線を形成する貫通配線形成工程とを行った後に、前記絶縁層の前記表面に貫通配線に電気的に接続される接合用パッドを形成する接合用パッド形成工程を行ってから、各半導体基板の接合用パッド同士を常温接合する接合工程を行うことを特徴とする接合方法。
- 前記接合用パッド形成工程は、前記絶縁層との密着性を改善するための密着性改善用金属膜と当該密着性改善用金属膜上に積層されたAu膜との積層膜により構成され且つAu膜の設定膜厚が500nm以下である前記接合用パッドを形成することを特徴とする請求項1記載の接合方法。
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