JP4481065B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

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Description

この発明は、絶縁膜に覆われたCuパッドに金属細線を接合した構造とそれを実現する製造方法に特徴を有する半導体装置の製造方法に関するものである。
半導体素子へ微細化、高速化の要求が高まることに対応し、半導体素子の配線材料として0.13μmプロセスからAlと比較し低抵抗であり配線遅延も少なく、更に耐エレクトロマイグレーションが向上できるCuが採用された。しかしながら、Cuは容易に酸化し、非常に硬い酸化銅を生成する。その結果、ボンディング工程でCuパッドにAuボールを押し潰しても酸化銅は破壊されずCuパッドとAuボールは接合できない。そして不着および接合強度不足による封止工程でのワイヤはずれが発生する。
そこで従来は、Cuパッドに酸化防止膜を成膜し、安定したボンディングを行うことができる技術がある。例えば特許文献1がある。まず、Cuパッド上面に酸化防止膜を形成した後、そのままボンディング工程に供給する。ボンディング工程で、酸化防止膜を成膜しているCuパッド上面にAuボールをキャピラリーで運び、その後圧接及び超音波振動を印加する。そしてCuパッド上面に成膜された酸化防止膜をAuボールに付着させる。次に酸化防止膜を付着させたAuボールを外部端子以外の任意領域にボンディングし酸化防止膜が付着したAuボールを捨てる。次にキャピラリー先端に新しくAuボールを形成する。最後に酸化防止膜が除去されたCuパッドに、新しく形成したAuボールを荷重と超音波振動を印加することで接合する。
また別の方法としては、Cuパッドの上面にAuとの接合性に優れた金属膜層を形成する技術がある。例えば特許文献2である。具体的には清浄化したCuパッドの上面に拡散バリア層を形成し、その上にAu、Pt、Pd、Agなどの金属層をめっき法により形成する。その後、ボンディング工程に供給し、安定したボンディングを行うことができる。
特開2001−44236号公報 特開2001−267356号公報
しかしながら、従来の技術では下記のような課題がある。
Cuパッド上に酸化防止膜を成膜しボンディングする手法では、先ず酸化防止膜をAuボールに付着させるために一回目のボンディングを行い、更に酸化防止膜を付着させたAuボールを捨てるために、外部端子以外の任意の領域に2回目のボンディングを行う。そして最後に新たなAuボールを形成した後、酸化防止膜を除去したCuパッドに3回目のボンディングを行う。そのため1つの外部端子に3回のボンディング動作を行うことは工程時間の長時間化となり、近年は半導体素子に搭載する外部端子は多くなる傾向にあるため、ボンディング工程の長時間化は製品スループットに大きな影響を及ぼすといった課題がある。また、半導体素子に搭載されている外部端子が多くなれば、酸化防止膜を付着させたAuボールを捨てるためのボンディングする場所の確保が困難になる。また製品領域内に酸化防止膜を付着させたAuボールを捨てることは、捨てたAuボールの接合が十分でない場合、封止樹脂に流され外部端子間で留まるとリークの原因になり品質信頼性を大きく劣化させることになる。
また、Cuパッド上に拡散バリア層を形成し、その上に金属層をめっきする方法では、拡散バリア層を形成する工程と金属層をめっきする工程が追加され、工程数が増える課題がある。またCuパッドと拡散バリア層の密着性もしくは拡散バリア層と金属層との密着性の何れかが劣化するとボンディング後に層間剥離が発生するため工程での拡散バリア層及び金属膜層の膜厚とともに重要管理項目を増やすことになり、量産化を困難にする。
したがって、この発明の目的は、更なる高速化、微細化を実現するため配線材料にCuを用いると同時に、外部端子の材料にCuを採用しても、Cuパッドと金属細線を安定的に接合することができる半導体装置の製造方法を提供することである。
上記課題を解決するためにこの発明の請求項1記載の半導体装置の製造方法は、半導体素子にCuパッドからなる外部端子を形成する工程と、前記半導体素子をインターポーザに搭載する工程と、前記Cuパッドと金属細線を接合する工程と、前記Cuパッドと前記インターポーザの端子を前記金属細線により接続する工程と、前記半導体素子と前記金属細線を封止樹脂で覆う工程とを含む半導体装置の製造方法であって、前記外部端子を形成する工程で前記Cuパッドを絶縁膜で覆い、前記Cuパッドと前記金属細線を接合する工程で前記Cuパッド上の前記絶縁膜のみ薄膜化し、プローブ針を薄膜化した前記絶縁膜に当てることにより前記Cuパッドを覆っている前記絶縁膜を一部分除去した後、前記Cuパッドに前記金属細線を接合する。
請求項2記載の半導体装置の製造方法は、半導体素子にCuパッドからなる外部端子を形成する工程と、前記半導体素子をインターポーザに搭載する工程と、前記Cuパッドと金属細線を接合する工程と、前記Cuパッドと前記インターポーザの端子を前記金属細線により接続する工程と、前記半導体素子と前記金属細線を封止樹脂で覆う工程とを含む半導体装置の製造方法であって、前記外部端子を形成する工程で前記Cuパッドを絶縁膜で覆い、前記Cuパッドと前記金属細線を接合する工程で前記Cuパッド上の前記絶縁膜表面に凸部を形成し、前記絶縁膜を一部分除去した後、前記Cuパッドに前記金属細線を接合する。
請求項3記載の半導体装置の製造方法は、請求項1、2のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、前記外部端子を形成する工程は、半導体素子の層間絶縁膜に外部端子溝を形成する工程と、前記外部端子溝にCu膜を埋め込む工程と、前記Cu膜を平坦化しCuパッドを形成する工程と、前記Cuパッド上を含む前記半導体素子上に絶縁膜を成膜する工程とからなる。
この発明の請求項1記載の半導体装置の製造方法によれば、外部端子を形成する工程でCuパッドを絶縁膜で覆い、Cuパッドと金属細線を接合する工程で絶縁膜を一部分除去した後、Cuパッドに金属細線を接合するので、絶縁膜がCuパッドの酸化防止膜の働きをし、Cuパッド表面の活性が維持され、絶縁膜を破壊し除去することによりCuパッドと金属細線を接合できる。Cuパッド上の絶縁膜を一部除去する目的は、絶縁膜と金属細線は接合できないので、金属細線とCuパッドの接合領域を広げるためボンディングと同時に絶縁膜を除去しやすくすることである。つまり、ボンディング時に印加する荷重及び超音波振動が金属細線を通ってCuパッド上の絶縁膜を一部分除去した部分に伝わり、そこを起点としクラックが進展する。更に超音波振動を印加し続けることでクラックの入った絶縁膜は接合領域から吐き出され、Cuパッドと金属細線の接合する領域が広がり安定したボンディングが可能となる。また、Cuパッドの形成後、絶縁膜を成膜することは、従来から半導体素子の保護膜として成膜しているため工程数を増やすことなく、また既存の拡散設備を採用することができる。
また、Cuパッド上の絶縁膜のみドライエッチングにより薄膜化し、プローブ針を薄膜化した絶縁膜に当てることによりCuパッドを覆っている絶縁膜を一部分除去するので、Cuパッド上に成膜される絶縁膜を破壊する起点をつくるため絶縁膜の一部分を除去することを既存のプローブ針を用いて実現できる。この際、Cuパッド上のみ加工する工程でドライエッチングを用いてCuパッド上の領域に存在する絶縁膜のみ薄膜化することにより絶縁膜の強度を低下させ、絶縁膜の一部分除去が容易になる。
この発明の請求項2記載の半導体装置の製造方法によれば、外部端子を形成する工程でCuパッドを絶縁膜で覆い、Cuパッドと金属細線を接合する工程で絶縁膜を一部分除去した後、Cuパッドに金属細線を接合するので、絶縁膜がCuパッドの酸化防止膜の働きをし、Cuパッド表面の活性が維持され、絶縁膜を破壊し除去することによりCuパッドと金属細線を接合できる。Cuパッド上の絶縁膜を一部除去する目的は、絶縁膜と金属細線は接合できないので、金属細線とCuパッドの接合領域を広げるためボンディングと同時に絶縁膜を除去しやすくすることである。つまり、ボンディング時に印加する荷重及び超音波振動が金属細線を通ってCuパッド上の絶縁膜を一部分除去した部分に伝わり、そこを起点としクラックが進展する。更に超音波振動を印加し続けることでクラックの入った絶縁膜は接合領域から吐き出され、Cuパッドと金属細線の接合する領域が広がり安定したボンディングが可能となる。また、Cuパッドの形成後、絶縁膜を成膜することは、従来から半導体素子の保護膜として成膜しているため工程数を増やすことなく、また既存の拡散設備を採用することができる。
また、Cuパッド上の絶縁膜表面に凸部を設けることで、Cuパッドを覆っている絶縁膜を一部分除去する際には、凸部が折れることにより絶縁膜が壊れ、絶縁膜の一部分の除去が容易になる。
請求項3では、外部端子を形成する工程は、半導体素子の層間絶縁膜に外部端子溝を形成する工程と、外部端子溝にCu膜を埋め込む工程と、Cu膜を平坦化しCuパッドを形成する工程と、Cuパッド上を含む半導体素子上に絶縁膜を成膜する工程とからなるので、Cuで形成したCuパッドと、Cuパッド上を含む半導体素子全域に成膜された絶縁膜から構成された外部端子と金属細線を接合させることができる。この場合、絶縁膜が大気や水分をCuパッド表面に到達することを防ぎ、Cuパッド表面で水分や酸素により酸化銅を生成することを抑制する効果がある。つまりCuパッド表面の活性を維持できる。
この発明の第1の実施の形態の半導体装置の製造方法を図1〜図3に基づいて説明する。図1(a)は本発明の第1の実施形態の半導体装置のボンディング前における外部端子断面図、(b)はその平面図、(c)はそのボンディング後の外部端子断面図を示す。
図1において、1は層間絶縁膜、2はCuパッド、3はCuパッド上を含む半導体素子上に成膜する絶縁膜、4はCuパッド上の絶縁膜を薄膜化した凹部、5はAuボール、10はAuワイヤ(金属細線)を示す。図1に示すように、半導体素子は、Cuパッド2上の薄膜化された絶縁膜3がAuボール5直下の部分のみ除去され、その絶縁膜3が除去された部分のCuパッド2とAuボール5が接合される。Cuパッド形成後、直ちに真空中にてCuパッド2上に絶縁膜3を成膜することによりCuパッド2表面の酸化膜生成を防止する。そのためボンディング時にCuパッド2上の絶縁膜3を取り除き、新生面として露出したCuパッド2表面で荷重及び超音波振動を印加しながらAuボール5を押し潰すことによりCuパッド2とAuボール5の接合が可能となる。
次に、半導体装置の製造方法について説明する。上記のように半導体素子にCuパッド2を絶縁膜3で覆った外部端子を形成する工程と、半導体素子をインターポーザ(図示せず)に搭載する工程と、Cuパッド2と金属細線10の一端にあるAuボール5を接合する工程と、Cuパッド2とインターポーザの端子を金属細線10により接続する工程と、半導体素子と金属細線10を封止樹脂(図示せず)で覆う工程とを含む。また、Cuパッド2と金属細線10を接合する工程で絶縁膜3を一部分除去した後、Cuパッド2に金属細線10を接合する。
図2および図3はその半導体装置の製造方法の主要な工程を示す断面図である。図2および図3において、6は外部端子溝、7はCu膜、8はプローブ針、9はキャピラリーを示す。図2(a)に示すとおり層間絶縁膜1を化学気相堆積法(以下CVDと略す)を用いて成膜する。次に図2(b)のとおり、層間絶縁膜1にドライエッチングで外部端子溝6を形成する。そして図2(c)でめっき法を用いて外部端子溝6にCu膜7を埋め込む。次に図2(d)のとおり化学的機械研磨(以下CMPと略す)を用いてCu膜7を平坦化し、Cuパッド2を形成し、図2(e)でCuパッド2上を含む半導体素子上にCVDを用いて絶縁膜3を成膜する。次に図2(f)で、Cuパッド2上の絶縁膜3のみドライエッチングで薄膜化し凹部4を形成する。
図3(a)でCuパッド2上の薄膜化した絶縁膜3にプローブ針8を当て、一部分の絶縁膜3を除去し、直ちに図3(b)に示すとおり絶縁膜3を一部分除去した部分で荷重と超音波振動を印加しながらAuボール5を押し潰し、Auボール5とCuパッド2の接合を行う。Cuパッド2上の絶縁膜3を薄膜化し、更にプローブ針8を当て絶縁膜3を一部分除去することにより、ボンディング時にCuを露出させるための絶縁膜除去を容易にする。そしてボンディングの際Auボール5に荷重及び超音波振動を印加することで絶縁膜3の一部分除去した箇所を起点としクラックが進展し、更にAuボール5に超音波振動を印加し続けることで、Auボール5の直下で、クラックの入った絶縁膜3はAuボール5直下から外へ吐き出され、Cuパッド2が露出する。最後に露出したCuパッド2とAuボール5の接合が実現する。
絶縁膜3の膜種は、従来から半導体素子の保護膜として用いているSiN膜を用い、Cuパッド2上の薄膜化したSiN膜の膜厚は半導体素子に対して耐湿性が確保できる最薄の膜厚とする。
図4は本発明の第2の実施形態の半導体装置の製造方法の主要な工程を示す断面図である。図4に示すとおり、第1の実施形態において絶縁膜3の一部分除去する方法として、金属細線10を接合する際に用いるキャピラリー9を、金属細線10を有していない状態で用いることができる。すなわち、Auワイヤ10を通していないキャピラリー9をCuパッド2上の絶縁膜3に当て、更に荷重及び超音波振動を印加することで絶縁膜3のダメージと一部分の除去を実現することができる。キャピラリー9を用いる場合は、プローブ針8を用いる場合とは異なり、キャピラリー9を用いたボンディング工程での実現が可能であるため、絶縁膜3にダメージを入れ一部分の除去を行った後、直ぐにボンディングを行うことが可能となり、絶縁膜3を除去した箇所のCuパッド2表面における酸化膜の生成を最小限に抑えることができる。
図5(a)は本発明の第3の実施形態の半導体装置のボンディング前における外部端子断面図、(b)はその平面図である。図5に示すとおり、第1および第2の実施形態において、ドライエッチングを用いてCuパッド2上の絶縁膜3の表面に凸部11を設け、絶縁膜3の除去を更に容易にする。ボンディング時に荷重及び超音波振動を印加したAuボール5が絶縁膜3の凸部11を折り、そこからCuパッド2が露出し、Auボール5とCuパッド2の接合が実現する。絶縁膜3表面に設ける凸部11はアスペクト比が大きいほど、Auボール5が当ると折れやすくなり、その結果として絶縁膜3の凸部11が折れた箇所が多くなり、ボンディングの際に絶縁膜3を除去することが更に容易になる。
本発明にかかる半導体装置の製造方法は、配線材料にCuを用いた半導体素子に搭載したCuパッドに安定したボンディングを行うことができることから、高速化、高機能化が現在最も求められる情報通信機器に搭載する半導体素子として有用である。
(a)は本発明の第1の実施形態の半導体装置のボンディング前における外部端子断面図、(b)はその平面図、(c)はそのボンディング後の外部端子断面図を示す。 本発明の第1の実施形態の半導体装置の製造方法の主要な工程を示す断面図である。 図2の次の工程の断面図である。 本発明の第2の実施形態の半導体装置の製造方法の主要な工程を示す断面図である。 (a)は本発明の第3の実施形態の半導体装置のボンディング前における外部端子断面図、(b)はその平面図である。
符号の説明
1 層間絶縁膜
2 Cuパッド
3 絶縁膜
4 絶縁膜の凹部
5 Auボール
6 外部端子溝
7 Cu膜
8 プローブ針
9 キャピラリー
10 Auワイヤ
11 絶縁膜の凸部

Claims (3)

  1. 半導体素子にCuパッドからなる外部端子を形成する工程と、
    前記半導体素子をインターポーザに搭載する工程と、
    前記Cuパッドと金属細線を接合する工程と、
    前記Cuパッドと前記インターポーザの端子を前記金属細線により接続する工程と、
    前記半導体素子と前記金属細線を封止樹脂で覆う工程と
    を含む半導体装置の製造方法であって、
    前記外部端子を形成する工程で前記Cuパッドを絶縁膜で覆い、
    前記Cuパッドと前記金属細線を接合する工程で前記Cuパッド上の前記絶縁膜のみ薄膜化し、プローブ針を薄膜化した前記絶縁膜に当てることにより前記Cuパッドを覆っている前記絶縁膜を一部分除去した後、
    前記Cuパッドに前記金属細線を接合する
    ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  2. 半導体素子にCuパッドからなる外部端子を形成する工程と、
    前記半導体素子をインターポーザに搭載する工程と、
    前記Cuパッドと金属細線を接合する工程と、
    前記Cuパッドと前記インターポーザの端子を前記金属細線により接続する工程と、
    前記半導体素子と前記金属細線を封止樹脂で覆う工程と
    を含む半導体装置の製造方法であって、
    前記外部端子を形成する工程で前記Cuパッドを絶縁膜で覆い、
    前記Cuパッドと前記金属細線を接合する工程で前記Cuパッド上の前記絶縁膜表面に凸部を形成し、前記絶縁膜を一部分除去した後、
    前記Cuパッドに前記金属細線を接合する
    ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  3. 前記外部端子を形成する工程は、
    半導体素子の層間絶縁膜に外部端子溝を形成する工程と、
    前記外部端子溝にCu膜を埋め込む工程と、
    前記Cu膜を平坦化しCuパッドを形成する工程と、
    前記Cuパッド上を含む前記半導体素子上に絶縁膜を成膜する工程と
    からなる請求項1、2のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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