JP2009537795A - 少なくとも一つのスライド方向に沿って移動可能な物体の位置を計測するための装置 - Google Patents
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- 少なくとも一つのスライド方向に沿って移動可能な物体の位置を計測するための装置であって、各スライド方向には、当該のスライド方向に沿った物体の位置を測定するための測長器が組み込まれており、その測長器は、第一の構成要素として当該のスライド方向(x,y)に沿って延びる基準尺(20,30)を有し、
・当該の測長器(2,3)の第二の構成要素としての基準尺(20,30)を走査するための走査ヘッド(25,35)が配備されており、そのため当該のスライド方向(x,y)に沿った走査ヘッド(25,35)に対する基準尺(20,30)の位置の変化を測定することが可能であり、当該の測長器(2,3)の二つの構成要素(20,25;30,35)の中の一方が、測定すべき物体(10)が動いた場合に、その物体と一緒に当該のスライド方向(x,y)に沿って動かされることとなり、
・測長器(2,3)の基準尺(20,30)が延びる方向(x,y)に沿った当該の測定すべき物体(10)と一緒に移動可能な測長器(2,3)の構成要素(20,30)と測定すべき物体(10)との距離を計測するための機器(12,23;13,33)が配備されている、
装置において、
当該の測定すべき物体(10)と一緒に移動可能な測長器(2,3)の構成要素(20,30)と測定すべき物体(10)との距離を計測するための機器(12,23;13,33)が、第一の構造グループとしての測定目盛(12,13)と、それに対応する第二の構造グループとしての測定ヘッド(23,33)とを備えており、二つの構造グループ(12,23;13,33)の中の一方が、測定すべき物体(10)に配備されており、二つの構造グループ(12,23;13,33)の中の他方が、測定すべき物体(10)と一緒に移動可能な測長器(2,3)の構成要素(20,30)に配備されていることを特徴とする装置。 - 本装置が、二つの直線的な独立したスライド方向(x,y)に沿って移動可能な物体(10)の位置を計測するように構成、装備されていることと、
測定すべき物体(10)の各スライド方向(x,y)に対応して、当該のスライド方向(x,y)に沿って延びる基準尺(20,30)を備えた一つの測長器(2,3)が配備されていることと、
を特徴とする請求項1に記載の装置。 - 測定すべき物体(10)と一緒に移動することができない、二つの測長器(2,3)の構成要素(25,35)が、互いに固く連結されていることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 基準尺(20,30)が、測定すべき物体(10)と一緒に移動可能な、当該の測長器(2,3)の構成要素を形成していることを特徴とする請求項1から3までのいずれか一つに記載の装置。
- 二つの測長器(2,3)の走査ヘッド(25,35)が、互いに固く連結されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の装置。
- 当該の測長器(2,3)に対応する、走査測定のための測定目盛(12,13)が、測定すべき物体(10)に配備されていることを特徴とする請求項1から5までのいずれか一つに記載の装置。
- 当該の測長器(2,3)に対応する、走査測定のための測定ヘッド(23,33)が、測定すべき物体(10)と一緒に移動可能な測長器(2,3)の構成要素(20,30)と連結されていることを特徴とする請求項1から6までのいずれか一つに記載の装置。
- 当該の測長器(2,3)に対応する、走査測定のための走査ヘッド(23,33)が、測長器(2,3)の基準尺(20,30)と連結されていることを特徴とする請求項4又は7に記載の装置。
- 当該の測長器(2,3)に対応する、走査測定のための測定目盛(12,13)が、それに対応する測長器(2,3)の測定方向(x,y)と一致する方向を指し示していることを特徴とする請求項1から8までのいずれか一つに記載の装置。
- 当該の測長器(2,3)の基準尺(20,30)が増分トラックを有することを特徴とする請求項1から9までのいずれか一つに記載の装置。
- 各測長器(2,3)に対応する、走査測定のための測定目盛(12,13)が、増分目盛として構成されていることを特徴とする請求項1から10までのいずれか一つに記載の装置。
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