JP2009532887A - パターン化ビームの総合変調を持つ粒子ビーム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
Microelectronic Engineering 9,1989,pp.199〜203
* 基板と平行に方向付けられるサブビームの可能な数、および面積当たりのアパーチャの可能な密度が著しく増大し、結果的に粒子源の要求事項が緩和される。
+ シングルビームブランキングが連続データストリームおよび簡易データラインアーキテクチャによって達成され、1クロックサイクル毎に1アパーチャ列だけ(=ライン数×1アパーチャ)がPDフィールドに供給され、信号はシフトレジスタによってPDフィールドを移動する。
* 広幅ビームを使用する結果、ビーム電流が大きい断面に分配されるので、空間変化の影響が低減される。
* 所望の露光量を蓄積するように多数の分画露光(列状のアパーチャ)を用いて、高い冗長度が生成され、それによりシングルパス走査中にグレイスケールの生成が可能になる。
・ PML2または同等の先行技術の露光戦略に内在する、ビームと基板との間のグローバルな運動のため、ビームレットのスイッチングに関する遅延時間は自動的に、マルチアパーチャプレート上のそれぞれのアパーチャの位置に関係なく、ビームレットの事実上の配置誤差を導く。PML2のいずれの実現においても、<0.1nsの範囲内の全てのビームレットの要求されるタイミング精度を達成することは非常に難しい。そのような事実上の配置誤差は、画像内にボケに対する追加的な(非等方性)寄与として、または基板に結像されるパターンの一部分の歪みとして現れるかもしれない。
・ たとえスイッチングのタイミングが「完全」になるように構成されたとしても、信号エッジが有限勾配を持つことは避けられず、特に有限時間の「オン」と「オフ」のスイッチングが生じ、その間、偏向電極(パターン画定手段の一部)の静電位の状態が正確に画定されない。数ある効果の中でも、信号の立上りおよび立下りエッジは、CMOS電子機器の容量およびMEMS構成から結果的に生じ、偏向電極およびその周辺要素の誘電体の選択のようなパラメータによって異なる。スイッチング事象中のビームの非画定状態は、望ましくない背景ドーズまたはそれぞれのビームレットのドリフトを導くかもしれないので、最新技術の概念では、信号の実効立上りおよび立下り時間を非常に小さく維持しなければならない(例えば、1クロック信号毎にビームレットが「オン」になる場合、総時間の<1%)。スイッチング速度(P=I2・R)および膜状マルチアパーチャプレートにおけるCMOS構造の限定された熱伝導率に関連するCMOS電子機器の電力消費の増大を考慮して、この要件は、現実的なスループット率に対して小さすぎるように思われる低いトグルレートでのみ満たすことができる。
・ ビームレットのスイッチングに関係するデータ再読込みプロセスのため、パターン画定装置を通過するビームに干渉する電磁障害が発生することがある。信号エッジ時間が小さければ小さいほど、再読込みによる障害が大きくなる。
‐ PML2または他の先行技術で発生する別の問題は、グレイレベルドーズ制御が主として、パターン画定装置を制御するデータストリームのプログラミングによって達成されることである。グレイレベルドーズの許容誤差は一般的に、限界寸法要件を満たすために、公称ドーズの1%より小さい。堆積ドーズの変化、例えばソースの明るさの数パーセントの突然の増加、後方散乱もしくはかぶりのような2次ドーズの変化、またはコントラスト挙動(=感受性)の変化は、実時間で考慮する必要がある。露光前にデータの作成が1回行なわれ、先行技術の場合のように総ドーズの動的制御が不可能である場合、そのような効果は、(リソグラフィック)パターンの限界寸法および配置の誤差を生じる。
・ 別の重大な問題は、ステージ位置(または基板に対するビームの相対位置)とパターン画定装置の信号タイミングとの間の必須の同期化である。一方の他方に対する遅延は、パターン画定装置の投影される画像が走査動作に沿って歪み、配置設計グリッドおよび以前の層に対して位置ずれする(オーバレイエラー)などの有害な影響を生じる。したがって、先行技術では、ステージ速度に適合するようにトグルレートを調整するか、またはその逆に、トグルレートに適合するようにステージ速度を調整するかのいずれかを行なわなければならず、どちらもそれぞれの制御パラメータの非常に高精度かつ高速の制御を必要とする。特に、緩慢なステージの速度が完全には安定しない段階で、例えば方向転換事象付近で、同期要件は緊要である。
・ PML2または他の先行技術で発生する別の問題は、PML2独自の走査ストライプ露光戦略のため、基板に移送されるドーズがトグルレートに比例することである。したがって、ステージ速度を低下しなければならない方向転換事象付近で、これらの領域のグレイレベルを調整しなければならないか、またはより長い走査経路を選択することによって追加の走査時間を受け入れなければならないかのいずれかである。前者は、データ作成とスキャナの機械的性質との間の望ましくない依存性を意味し、後者は、機械的スキャナシステムの達成可能な加速およびジャークによっては、著しいスループットの低下を引き起こす。
・ PML2または他の先行技術の別の問題は、熱管理に関する。(例えばパターン画定装置の一部としてマイクロ偏向器によって発生する)偏向ビームレットが停止する位置には、非常に高いパワー密度が発生する。任意の露光では、ビームレットの一般的に50%がパターン画定装置によってブランキングされ、表面への持続的な著しい熱伝達を引き起こし、ブランクアウトされたビーム部分は該表面に吸収される。一般的に、通路から中心開口を介してブランクアウトされたビーム部分を吸収するように構成された表面によって包囲される、小さい中心開口を有する吸収プレートは、ビームのクロスオーバ付近に位置し、そこの電流密度は非常に高い。したがって、ビーム電流が高くなるにつれて、吸収面は、局所的過熱の結果、表面融解を起こす傾向がある。
* (スイッチングおよび急速に移動する基板の位置に対する)個別ビームレットの包括的なタイミングの精度が改善される。
* 可変照明状態で(ソースの電流は時間と共に数パーセントずつ変化する一方、ステージは常時同じ(一定)速度で動く)、基板に移送される面積当たりの露光ドーズが可変制御される(パルス幅変調による「ドーズ平準化」)。
* ブランキングアパーチャプレート内部の可変静電界または磁界のため、ビーム(またはビームレット)に対する妨害効果が回避される。
+ ブランキングアパーチャプレート内部のスイッチング事象中の容量性または誘導性遅延のため、信号の立上り時間および信号の立下り時間に対する耐性が増大される。
* 吸収プレートの位置で発生する熱負荷が(のみならず、イオンの場合にはスパッタ効果も)緩和され、熱はより大きい領域に分散される。
* ビーム強度および走査速度(テーブル速度)の変化を補正し、特にウェハ領域の縁部におけるステージ移動の方向展開段階中の加速/減速を補正することができる。
・ 共通ビーム偏向器が作動して(S‐cbがローレベルになる)、ビームをブランクアウトする(休止の開始)。
・ データが正しい位置に到達するまで、全てのアパーチャのデータがアパーチャのラインを介してシフトする。PD装置のシフトレジスタを介するパターンデータのこの読込みプロセスは、図10に示すように信号S‐1のスプリアス振動を引き起こすことがあるが、それはこうしてブランクアウトされ、したがって共通偏向器の信号は、PDシステムで生成することができるよりよく画定された信号制御のための立上りエッジおよび立ち下がりエッジをもたらすことができる。
・ 共通ビームブランキング装置の作動を停止する(S‐cbがハイレベルになる)=期間T1の開始。
・ 画素露光の期間T1中にデータを保持する。
Claims (14)
- 照明システム(101)と、パターン画定手段(20)と、投影光学システム(103)とを備え、前記照明システム(101)が前記パターン画定手段を照明するビームを生成するように構成され、前記パターン画定手段(20)が前記照明ビームの形状を所望のパターンにするように構成され、前記投影光学システム(103)が前記パターン画定手段で画定された前記ビーム形状の画像をターゲット(41)上に投影するように構成されて成る、電荷を帯びた粒子のビームでターゲット(41)を露光するための荷電粒子露光装置(100)であって、
前記パターン画定手段が、アパーチャを透過するビームレットの形状を画定する複数のアパーチャのみに前記照明ビームを通過させることによって、前記照明ビームの断面を複数のビームレットに形成するように構成された複数のアパーチャを含み、前記手段がさらに、前記それぞれのビームレットをそれぞれの公称結像経路から選択的に逸らすように構成された、複数の個別ビームレット偏向器を有するブランキング手段を含み、
前記照明システム(101)がさらに、前記パターン画定手段に対する前記照明ビームの入射の方向を主入射軸から変動させるように構成された偏向手段(401)を含み、かつ前記投影光学システムが、開口を有しかつ前記開口の外側を通るビームの通過を阻止するように構成されたブロッキングアパーチャ手段(204)を含む、荷電粒子露光装置。 - 前記偏向手段(401)が、前記照明ビームの前記入射の方向を前記主入射軸から最高5ミリラドだけ変動させるように構成される、請求項1に記載の装置。
- 前記共通偏向器が、前記照明ビームの前記入射の方向を、前記主入射軸を中心とする変動方向に変動させるように構成される、請求項1または2に記載の装置。
- 時間の関数として、2つの状態、すなわち前記照明ビームが前記主入射軸に沿って前記パターン画定装置に伝搬する第1状態(「共通ブランクイン」)と、前記偏向手段(401)が作動して、前記ビームの経路を、ビーム全体を遮断している前記ブロッキングアパーチャ手段の開口から外れるように方向付けるのに充分な最小角度だけ、前記照明ビームを偏向させる第2状態(「共通ブランクアウト」)との間でのスイッチングする、前記偏向手段(401)のための共通ブランキング制御信号を生成するように構成された制御手段を備える、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記共通ブランキング制御信号が、前記パターン画定手段内で表わされるパターン情報の有効性を制御する少なくとも1つの制御信号と同期する、請求項4に記載の装置。
- 前記共通ブランキング制御信号が、画像が形成されるターゲット上の画像の走査動作と同期し、前記走査動作は、前記画像の位置が前記ターゲットの公称位置に安定化される第1期間と、前記画像が前記ターゲット上を移動する第2期間とを含み、前記共通ブランキング制御信号が、前記第1期間に共通ブランクインを生じるように前記偏向手段を制御する、請求項4または5に記載の装置。
- 前記制御手段が、前記ビームによって前記ターゲット上に生成される露光ドーズを調整するために、前記共通ブランキング制御信号のパルス長を制御するように構成される、請求項4ないし6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記制御手段が、前記ターゲット上に生成されるビーム画像の配置を微細制御するために、前記共通ブランキング制御信号の時間遅延を制御するように構成される、請求項4ないし7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記パターン画定手段(20)が、前記投影光学システム(103)の対物面の位置に配置される、請求項1ないし8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記ブロッキングアパーチャ手段(204)が、前記投影光学システム(103)によって画定されるビームのクロスオーバ(c1、c2)の位置またはその付近に配置される、請求項1ないし9のいずれか一項に記載の装置。
- 前記ブロッキングアパーチャ手段(204)が、前記偏向手段(401)によって前記主入射軸から最小角度より大きく偏向される前記照明ビームから生じる、ビーム部分の通過を阻止するように構成される、請求項1ないし10のいずれか一項に記載の装置。
- 前記パターン画定手段の前記ビームレット偏向器の少なくとも1つによって偏向されるビームから生じる、ビーム部分の通過を阻止するように構成された第2ブロッキングアパーチャ手段(206)を備える、請求項11に記載の装置。
- 前記ブロッキングアパーチャ手段(204)が、前記パターン画定手段の前記ビームレット偏向器の少なくとも1つによって偏向されるビームから生じる、ビーム部分の通過をも阻止するように構成される、請求項11または12に記載の装置。
- 前記主入射軸が、前記照明システムの光軸(cx)である、請求項1ないし13のいずれか一項に記載の装置。
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