JP2009527797A - マスクと印刷版の接合 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (28)
- マスクと印刷版とを接合する方法であって、
開口部を有するマスクを受け取るステップと、
前記マスクの開口部が第1シリンダ上の突起と位置合わせされるよう、前記マスクの少なくとも一部を前記第1シリンダの周りに配置するステップと、
前記マスクと前記印刷版とを少なくとも(a)前記第1シリンダ上の前記突起を第2シリンダ上の凹みと位置合わせすることと、(b)前記第1シリンダおよび前記第2シリンダの少なくとも一方を回転させること、とにより接合させるステップとを含み、
前記印刷版が前記第2シリンダの周りの少なくとも一部に形成される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記マスクがマスク基板上に形成されており、前記マスク基板が前記第1シリンダの周りの少なくとも一部に形成される、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記マスクがその中または外に形成された像を有する、方法。
- 請求項3に記載の方法であって、さらに、前記印刷版の中または外に像を形成するために、接合された前記マスクと印刷版とを照射に曝すステップを含む、方法。
- 請求項4に記載の方法であって、前記照射が紫外線である、方法。
- 請求項4に記載の方法であって、さらに、照射への暴露後に前記マスクを前記印刷版から分離するステップを含む、方法。
- 請求項3に記載の方法であって、前記第1シリンダの周りの少なくとも一部に前記マスクを配置する前に前記マスクの中または上に前記像が形成される、方法。
- 請求項3に記載の方法であって、前記第1シリンダの周りの少なくとも一部に前記マスクを配置した後に前記マスクの中または上に前記像が形成される、方法。
- 請求項3に記載の方法であって、前記像が前記マスク上にレーザーアブレーションによって形成される、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記マスクがその上または中に形成された見当マークを有し、前記マスクの前記開口部が前記見当マークによって画定される位置に形成される、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記マスクがその上または中に形成された見当マークを有し、前記マスクに前記開口部を形成するために前記見当マークの少なくとも一部が除去される、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記印刷版が前記第2シリンダ上の凹みと位置あわせされる、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記印刷版が、前記マスクと前記印刷版とを接合する前にその外表面に非粘着層を有さない、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記マスクと前記印刷版は、前記マスクが自身にオーバーラップするよう接合される、方法。
- 請求項14に記載の方法であって、前記マスクオーバーラップが除去される、方法。
- 請求項14に記載の方法であって、前記マスクオーバーラップが罫書き線によって除去される、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記第1シリンダおよび前記第2シリンダが回転可能な、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、さらに、前記接合ステップの少なくとも一部において熱を印加するステップを含む、方法。
- マスクと印刷版とを接合するための装置であって、
突起を有する第1シリンダであって、前記突起を前記マスクの開口部と位置合わせすることによって前記マスクを受け取るよう構成された第1シリンダと、
凹みを有する第2シリンダであって、前記凹みと前記印刷版とを位置合わせすることによって前記印刷版を受け取るよう構成された第2シリンダと、を含み、
前記第1シリンダと前記第2シリンダは、少なくとも(a)前記第1シリンダ上の前記突起を前記第2シリンダ上の凹みと位置合わせし、(b)前記第1シリンダおよび前記第2シリンダの少なくともいずれか一方を回転させることによって、前記マスクと前記印刷版を接合させるよう構成されている、装置。 - 請求項19に記載の装置であって、前記第1シリンダおよび前記第2シリンダが回転可能な、装置。
- マスクと印刷版とを接合するための装置であって、
前記マスクを受け取るよう構成された第1シリンダと、
前記印刷版を受け取るよう構成された第2シリンダと、を含み、
前記第1シリンダおよび前記第2シリンダの少なくとも一方が回転可能であり、
前記第1シリンダおよび前記第2シリンダが前記マスクと前記印刷版を、少なくとも:
(a)前記マスクと前記印刷版とを少なくとも:
前記第1シリンダおよび前記第2シリンダの少なくとも一方の突起と、前記第1シリンダおよび前記第2シリンダの他方の凹みと、
前記第1シリンダおよび前記第2シリンダ上の少なくとも一端に設けられた1つまたは複数のマーキングと、
前記第1シリンダおよび前記第2シリンダの少なくとも一方に関連づけられた1つまたは複数のエンコーダであって、その関連づけられたシリンダに関する角度位置情報を提供するためのエンコーダと、によって補助することにより、位置合わせをすることと、
(b)前記第1シリンダおよび前記第2シリンダの少なくとも一方を回転すること、
により接合させるよう前記第1シリンダおよび前記第2シリンダが構成される、装置。 - マスクと印刷版とを接合するための装置であって、
回転可能かつ、前記マスクを受け取るよう構成された第1シリンダと、
前記印刷版を受け取るよう構成された平面状の表面と、を含み、
前記第1シリンダは、回転中に少なくとも前記平面状の表面に平行な方向に移動することによって、前記マスクと前記印刷版とを接合するよう構成されている、装置。 - 請求項22に記載の装置であって、前記第1シリンダが移動および回転をしている間に、前記平面状の表面が前記第1シリンダの前記移動方向と反対方向に移動するよう、構成されている、装置。
- 請求項22に記載の装置であって、前記平面状の表面が概ね平坦である、装置。
- マスクと印刷版とを接合するための装置であって、
回転可能かつ、前記マスクを受け取るよう構成された第1シリンダと、
前記印刷版を受け取るよう構成された平面状の表面と、を含み、
前記平面状の表面は、前記第1シリンダの回転中に少なくとも前記第1シリンダの接線方向に移動することによって、前記マスクと前記印刷版とを接合する、装置。 - 請求項25に記載の装置であって、前記平面状の表面が概ね平坦である、装置。
- マスクと印刷版とを接合するための装置であって、
回転可能かつ、前記マスクを受け取るよう構成された第1シリンダと、
前記印刷版を受け取るよう構成された平面状の表面と、
前記第1シリンダおよび前記平面状の表面に近接、且つ回転可能に設けられており、前記第1シリンダの回転方向に対応する方向に回転しながら前記マスクドラムに対して押圧することにより、前記マスクおよび前記印刷版に圧力を印加することによって、前記マスクと前記印刷版とを接合するよう構成された、第2シリンダと、を含み、
前記第1シリンダ、前記第2シリンダ、またはその両方が、前記マスクおよび前記印刷版に圧力を印加するか圧力を印加しないよう、互いに接近および離間する方向に移動するよう構成されている、装置。 - 請求項27に記載の装置であって、前記平面状の表面が概ね平坦である、装置。
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