JP2009518537A - 反応性同時蒸着によって酸化物薄膜を成長させるための高スループット蒸着システム - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
しないで、基板116の他方の面(例えば、上面116(b))にHTS材料を蒸着できるように、基板支持部材110を加熱チャンバ10又は移送チャンバ40,50の中でその場で反転させることができ、これにより、装置2及びプロセスのスループットを大幅に増加させる。このような実施例では、移送アーム44がその長手軸の周りに回転可能であり、一方の面から他方の面へと基板支持部材110を反転させる。
Claims (43)
- 基板支持部材に収容される基板上に薄膜を成長させるためのヒータであって、
複数の発熱体を具え、
前記基板を収容する前記基板支持部材が前記複数の発熱体によって少なくとも部分的に囲まれており、
前記複数の発熱体のうちの少なくとも2が、前記基板支持部材に外部から近づくよう互いに移動可能であることを特徴とするヒータ。 - 前記ヒータが、上部発熱体と、側部発熱体と、下部発熱体と、を具えることを特徴とする請求項1に記載のヒータ。
- 前記複数の発熱体のうちの1が固定式の発熱体に対して移動可能であることを特徴とする請求項1に記載のヒータ。
- 前記下部発熱体がその一部に開口窓を有することを特徴とする請求項3に記載のヒータ。
- 前記下部発熱体が固定式であり、前記上部発熱体及び前記側部発熱体が前記下部発熱体に対して移動可能であることを特徴とする請求項3に記載のヒータ。
- 前記上部発熱体及び前記側部発熱体が固定式であり、前記下部発熱体が前記上部及び側部発熱体に対して移動可能であることを特徴とする請求項3に記載のヒータ。
- 前記複数の発熱体のうちの少なくとも2がヒンジを介して結合されていることを特徴とする請求項1に記載のヒータ。
- 前記基板支持部材を鉛直方向に向いたスピンドル上で支持可能であることを特徴とする請求項1に記載のヒータ。
- 前記基板支持部材が前記スピンドル上で重力保持されることを特徴とする請求項8に記載のヒータ。
- 前記スピンドルが回転可能であることを特徴とする請求項1に記載のヒータ。
- 前記基板支持部材が鉛直方向に移動可能であることを特徴とする請求項9に記載のヒータ。
- 基板上に薄膜を成長させるためのヒータであって、
側壁を周囲に有する上部プレートを具え、前記上部プレート及び前記側壁がそれぞれその中に設けられた発熱体を有する加熱キャップと、
上面及び下面を有する下部加熱プレートと、を具えており、
前記下部加熱プレートの一部が、前記下部加熱プレートの前記上面から前記下面にわたって前記下部加熱プレートに設けられた窓と、前記下部加熱プレートの前記上面の一部に形成された凹んだポケットと、を有しており、
前記加熱キャップ及び下部加熱プレートが、前記下部加熱プレートの上面に対して垂直な方向に互いに移動可能であることを特徴とするヒータ。 - 前記下部加熱プレートが固定式であり、前記加熱キャップが前記下部加熱プレートに対して移動可能であることを特徴とする請求項12に記載のヒータ。
- 前記加熱キャップが固定式であり、前記下部加熱プレートが前記加熱キャップに対して移動可能であることを特徴とする請求項12に記載のヒータ。
- さらに、前記下部加熱プレートに対して前記加熱キャップを移動させるためのアクチュエータを具えることを特徴とする請求項12に記載のヒータ。
- 基板上に薄膜を成長させるためのヒータであって、
側壁を周囲に有する上部部材を具え、前記上部部材及び前記側壁がそれぞれそれに設けられた発熱体を有する上部加熱ゾーンと、
発熱体が設けられた下部加熱ゾーンと、
上面及び下面を有する酸素ポケット部材と、を具えており、
前記酸素ポケット部材の一部が、前記上面から前記下面にわたって前記酸素ポケット部材に設けられた窓と、前記酸素ポケット部材の前記上面の一部に形成された凹んだポケットと、を有しており、
前記酸素ポケット部材が、前記上部加熱ゾーン及び前記下部加熱ゾーンの少なくとも一方によって、少なくとも部分的に囲まれており、
前記上部加熱ゾーンが前記酸素ポケット部材の上面に対して垂直な方向に移動可能であることを特徴とするヒータ。 - ヒータに対して基板支持部材を取り出し及び装填するための方法であって、
複数の発熱体を有するヒータであって、前記基板支持部材が前記複数の発熱体によって少なくとも部分的に囲まれており、前記複数の発熱体のうちの少なくとも2が前記基板支持部材に外部から近づくよう互いに移動可能であるヒータを用意するステップと、
取り出し位置に前記複数の発熱体を移動させるステップと、
前記ヒータから前記基板支持部材を取り出すステップと、
前記ヒータの中に別の基板支持部材を挿入するステップと、
装填位置に前記複数の発熱体を移動させるステップと、
を具えることを特徴とする方法。 - 前記ヒータが真空チャンバの中に設置されていることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- さらに、前記基板支持部材に配置された基板上に薄膜を蒸着するステップを具えることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記基板支持部材の取り出し及び挿入が真空状態下で行われることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記複数の発熱体のうちの少なくとも2が鉛直方向に互いに移動可能であることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 基板上に薄膜を蒸着するための方法であって、
複数の発熱体を中に収容する加熱チャンバを用意するステップと、
伸長可能な装填移送アームを収容する装填移送チャンバであって、バルブによって前記加熱チャンバに結合された装填移送チャンバを用意するステップと、
原料を収容する原料チャンバを用意するステップと、
前記装填移送チャンバの中の前記伸長可能な移送アームの上に少なくとも1の基板を収容する基板支持部材を載置するステップと、
前記装填移送チャンバに結合された真空ポンプを用いて前記装填移送チャンバの中を真空状態にするステップと、
前記加熱チャンバと前記装填移送チャンバとの間のバルブを開放するステップと、
前記基板支持部材が前記複数の発熱体によって少なくとも部分的に囲まれるように、前記少なくとも1の基板を収容する前記基板支持部材を前記加熱チャンバの中に延ばすステップと、
前記伸長可能な移送アームから少なくとも1の基板を収容する前記基板支持部材を取り外すステップと、
前記装填移送チャンバの中に前記伸長可能な移送アームを格納するステップと、
前記少なくとも1の基板上に原料を蒸着するように前記原料を蒸発させるステップと、
を具えることを特徴とする方法。 - さらに、伸長可能な移送アームを収容する取り出し移送チャンバであって、バルブによって前記加熱チャンバに結合された取り出し移送チャンバを用意するステップと、
前記ヒータの中の前記基板支持部材を移動させるステップと、
前記伸長可能な移送アームを前記ヒータの中の前記基板支持部材の下方に延ばすステップと、
前記伸長可能な移送アームの上に前記基板支持部材を移動させるステップと、
前記取り出し移送チャンバの中に前記基板支持部材を格納するステップと、
を具えることを特徴とする請求項22に記載の方法。 - 前記薄膜が少なくとも1の希土類元素を具えることを特徴とする請求項23に記載の方法。
- ポケットヒータに対して基板支持部材を装填及び取り出しするための方法であって、
円形の上部及びその周囲に円筒形の側壁を有する加熱キャップを有するポケットヒータを用意するステップと、
上面及び下面を有する下部加熱プレートであって、前記下部加熱プレートの一部が前記下部加熱プレートの前記上面から前記下面にわたって前記下部加熱プレートに設けられた窓と、前記下部加熱プレートの上面の一部に形成された凹んだポケットとを有する下部加熱プレートを用意するステップと、
複数の基板を保持するための第1の回転可能な基板支持部材であって、前記下部加熱プレートと前記加熱キャップとの間に挟まれる第1の回転可能な基板支持部材を用意するステップと、
前記下部加熱プレートの上面に対して垂直な方向に前記第1の回転可能な基板支持部材から離れて設けられた取り出し位置に前記加熱キャップを移動させるステップと、
前記ポケットヒータから前記第1の回転可能な基板支持部材を取り出すステップと、
前記加熱キャップと前記下部加熱プレートとの間に挟まれるように前記ポケットヒータの中に第2の回転可能な基板支持部材を挿入するステップと、
前記第2の回転可能なプラテンの近くに設けられた装填位置に前記加熱キャップを移動させるステップと、
を具えることを特徴とする方法。 - 真空状態で基板支持部材を回転させるためのモータアッセンブリであって、
ドライブシャフトを有するモータと、
前記ドライブシャフトが密閉した圧力容器の内部空間から前記密閉した圧力容器の外部に延びるように、前記モータが前記密閉した圧力容器の内部空間の中に完全に配置された密閉した圧力容器と、
前記密閉した圧力容器の内部空間と連通する圧力管路と、
前記圧力管路に結合された与圧ガス源と、を具えており、
前記密閉した圧力容器が真空環境に設置されていることを特徴とするモータアッセンブリ。 - さらに、前記モータの前記ドライブシャフトと前記基板支持部材を支持するスピンドルシャフトとの間で結合されたベルトを具えることを特徴とする請求項26に記載のモータアッセンブリ。
- さらに、密閉された圧力容器に結合された管路を有することを特徴とする請求項26に記載のモータアッセンブリ。
- 反応性同時蒸着を実施するための装置であって、
ヒータを収容する加熱チャンバと、
バルブを介して前記加熱チャンバに結合され、原料ホルダを収容する原料チャンバと、
バルブを介して前記加熱チャンバに結合され、伸長可能な移送アームを収容する移送チャンバと、を具えており、
前記伸長可能な移送アームが前記バルブを介して前記加熱チャンバに出入りするよう移動可能であり、
前記加熱チャンバ、前記原料チャンバ、及び前記移送チャンバが、真空源に結合されていることを特徴とする装置。 - 前記原料が少なくとも1の希土類元素を具えることを特徴とする請求項29に記載の装置。
- さらに、少なくとも1の蒸着モニタを収容するモニタチャンバを具えており、
前記モニタチャンバが、バルブを介して前記加熱チャンバに結合された前記少なくとも1の蒸着モニタを収容していることを特徴とする請求項29に記載の装置。 - 前記加熱チャンバ、前記原料チャンバ、前記移送チャンバが、それぞれ別々の真空源に結合されていることを特徴とする請求項29に記載の装置。
- さらに、伸長可能な移送アームを収容する第2の移送チャンバを具えており、
前記第2の移送チャンバが前記バルブを介して前記加熱チャンバに結合され、
前記伸長可能な移送アームが前記バルブを介して前記加熱チャンバに出入りするよう移動可能であることを特徴とする請求項29に記載の装置。 - 前記第1及び第2の移送チャンバの前記伸長可能な移送アームのうちの一方が、投入移送アームを具えており、前記第1及び第2の移送チャンバの前記伸長可能な移送アームのうちの他方が、取り出し移送アームを具えていることを特徴とする請求項33に記載の装置。
- 前記少なくとも1の蒸着モニタが水晶振動子モニタを具えていることを特徴とする請求項31に記載の装置。
- 基板支持部材に収容される基板上に薄膜を成長させるための装置であって、
複数の発熱体を有するヒータであって、前記基板支持部材が前記複数の発熱体によって少なくとも部分的に囲まれるヒータと、
前記発熱体のうちの1つの穴を通って突出する回転可能なスピンドルを具えるz調整アッセンブリと、を具えており、
前記回転可能なスピンドルが、前記基板支持部材に選択的に係合するようz方向に移動可能であることを特徴とする装置。 - 前記z調整アッセンブリが、
前記スピンドルに機械的に結合されたモータと、
ローラと、
前記ローラに係合する傾斜カムと、を具えており、
前記傾斜カムの水平方向の移動により、前記回転可能なスピンドル、前記モータ、及び前記ローラを前記z方向に移動させることを特徴とする請求項36に記載の装置。 - 前記傾斜カムが少なくとも2の傾斜面を有することを特徴とする請求項37に記載の装置。
- 反応性同時蒸着を実施するための装置であって、
ヒータを収容する加熱チャンバと、
バルブを介して前記加熱チャンバに結合され、原料を収容する原料チャンバと、
バルブを介して前記ヒータを収容する前記加熱チャンバに結合され、少なくとも1の蒸着モニタを収容するモニタチャンバと、
を具えることを特徴とする装置。 - 前記少なくとも1の蒸着モニタが水晶振動子モニタを具えることを特徴とする請求項39に記載の装置。
- 前記少なくとも1の蒸着モニタを収容するモニタチャンバが、前記加熱チャンバに結合された真空源とは別の真空源に結合されていることを特徴とする請求項39に記載の装置。
- 蒸着チャンバと、
バルブを介して前記蒸着チャンバに結合され真空源に接続されたモニタチャンバと、
前記蒸着チャンバと前記モニタチャンバとの間で移動可能な少なくとも1の蒸着モニタと、
を具えることを特徴とする装置。 - 蒸着チャンバと、
バルブを介して前記蒸着チャンバに結合されたモニタチャンバであって、前記モニタチャンバが第1の真空源に接続され、前記蒸着チャンバが第2の真空源に接続されたモニタチャンバと、
前記モニタチャンバに収容される少なくとも1の蒸着モニタと、
前記蒸着チャンバと前記モニタチャンバの内部とを隔離するバルブと、
を具えていることを特徴とする装置。
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