JP2009510783A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. ガス放電レーザのための予備電離器アセンブリであって、
   管のボアを定める誘電体管と、
   電極と、
   を含み、前記電極は、
   前記管の前記ボア内に配置された第１端部、及び第２端部を有する、第１の細長い導電性部材と、
   前記第１導電性部材の前記第１端部から離間されて前記ボア内に配置された第１端部、及び第２端部を有する、第２の細長い導電性部材と、
   を含み、前記第１及び第２の導電性部材は同じ電位に保たれる
   ことを特徴とする予備電離器アセンブリ。
2. 前記第１部材の少なくとも一部は、長手方向軸を定める棒として形成され、前記第１部材の前記第１端部には、前記長手方向軸と位置合わせされた実質的に円筒形状の開口部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の予備電離器アセンブリ。
3. 前記実質的に円筒形状の開口部は内径Ｄを有し、前記第２部材の少なくとも一部は棒として形成され、前記第２部材の前記第１端部にはｄ＜Ｄである外径ｄを有する実質的に円筒形状の突出部が形成されることを特徴とする請求項２に記載の予備電離器アセンブリ。
4. 前記第１部材及び前記第２部材は、ガス放電チャンバ・ハウジングに電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載の予備電離器アセンブリ。
5. 前記第１部材の少なくとも一部は、ｄ_rodの直径を有する棒として形成され、前記第１部材の前記第１端部は、ｄ_rodの直径を有する実質的に平坦な面として形成されることを特徴とする請求項１に記載の予備電離器アセンブリ。
6. 前記第１部材の少なくとも一部は棒として形成され、前記第１部材の前記第１端部には、凹状の内面を有するキャビティが形成され、且つ、前記第２部材の少なくとも一部は棒として形成され、前記第２部材の前記第１端部には、凸状の外面を有する突出部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の予備電離器アセンブリ。
7. 前記第１部材の前記第１端部は丸く、前記第２部材の前記第１端部も丸いことを特徴とする請求項１に記載の予備電離器アセンブリ。
8. 前記誘電体管は外面を有し、前記アセンブリは、前記外面を、前記ガス放電レーザの放電電極に接続するための導体を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の予備電離器アセンブリ。
9. チャンバ・ハウジングと、
   長手方向軸を定める第１の細長い放電電極と、
   前記第１電極から離間され、前記長手方向軸に対して実質的に平行に位置合わせされた第２の細長い放電電極と、
   前記ハウジング内部のレーザ発振可能なガス状媒体と、
   前記ガス状媒体を励起するように、前記第１放電電極と前記第２放電電極との間の電位差を確立するための電圧源と、
   予備電離器アセンブリと、
   を含み、前記予備電離器アセンブリは、
   管のボアを定める誘電体管と、
   予備電離電極と、
   を含み、前記予備電離電極は、
   前記長手方向軸に対して実質的に平行に位置合わせされ、少なくとも一部は前記管の前記ボア内に配置される第１の細長い導電性部材と、
   前記長手方向軸に対して実質的に平行に位置合わせされ、少なくとも一部は前記第１部材から離間されて前記ボア内に配置される第２の細長い導電性部材と、
   を含む、
   ことを特徴とするガス放電レーザ。
10. ガス状材料を電離させるように光子を生成するためのアセンブリであって、
    管のボア及び外側の管表面を定める誘電体管と、
    予備電離電極と、
    を含み、前記予備電離電極は、
    前記予備電離電極は、
    前記長手方向軸に対して実質的に平行に位置合わせされ、少なくとも一部は前記管の前記ボア内に配置される第１の細長い導電性部材と、
    前記長手方向軸に対して実質的に平行に位置合わせされ、少なくとも一部は前記第１部材から離間されて前記ボア内に配置される第２の細長い導電性部材と、
    を含み、
    光子を生成するために、前記予備電離電極と、前記外側の管表面上の位置との間に電位差を確立する電圧源と、
    を含む、
    ことを特徴とするアセンブリ。