JP2009500825A - ナノスケールの半導体処理のためにバブルフリーの液体を生成するためのシステムおよび方法 - Google Patents
ナノスケールの半導体処理のためにバブルフリーの液体を生成するためのシステムおよび方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】バブルフリーの液体を生成するためのシステムは、連続液体ソースと非バブル化チャンバとを含む。非バブル化チャンバは、出口と入口とを含む。入口は、供給管によって連続液体ソースの出口につながれる。非バブル化チャンバは、また、非バブル化チャンバの側壁内に少なくとも1つの口を含む。少なくとも1つの口は、非バブル化チャンバの入口から少なくとも長さLの位置にある。バブルフリーの液体を生成するための方法も説明される。
【選択図】図1
Description
Claims (23)
- バブルフリーの液体を生成するためのシステムであって、
連続液体ソースと、非バブル化チャンバとを備え、
該非バブル化チャンバは、
供給管によって前記連続液体ソースの出口につながれた入口と、
出口と、
前記非バブル化チャンバの側壁内に設けられ、前記非バブル化チャンバの前記入口から少なくとも長さLの位置にある、少なくとも1つの口と、を含む
システム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記連続液体ソースは、前記液体のおおよその沸点より低い温度に前記液体を加熱するための加熱器を含むシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記少なくとも1つの口は、冷却器につながれたシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記連続液体ソースは、貯蔵タンクを含むシステム。 - 請求項4に記載のシステムであって、
前記連続液体ソースは、前記貯蔵タンクにつながれた液体供給を含むシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記連続液体ソースは、連続式のポンプを含むシステム。 - 請求項6に記載のシステムであって、
前記連続式のポンプは、遠心ポンプまたはLevitronix社のベアリングレスポンプのうちの少なくとも一つからなるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記濡れ材料は、PTFE、PVDF、PET(商品名「Ertalyte」(商標))、またはステンレス鋼のうちの少なくとも一つからなるシステム。 - 請求項1に記載のシステムあって、
前記長さLは、前記非バブル化チャンバの直径の少なくとも10倍に等しいシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記非バブル化チャンバは、前記供給管の断面積にほぼ等しい断面積を有するシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記非バブル化チャンバは、前記供給管の断面積より大きい断面積を有するシステム。 - 請求項11に記載のシステムであって、
前記非バブル化チャンバは、段階移行式の管によって前記供給管につながれるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記口は、前記非バブル化チャンバの周囲に配置されるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記非バブル化チャンバの前記出口は、背圧デバイスを含むシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記非バブル化チャンバの前記出口は、前記連続液体ソースの入口につながれるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記非バブル化チャンバの側壁内の前記少なくとも1つの口は、フォトリソグラフィシステム、めっきシステム、電気めっきシステム、または液体メニスカスシステムのうちの少なくとも一つにつながれるシステム。 - バブルフリーの液体を生成するためのシステムであって、
加熱器と、貯蔵タンクと、連続式のポンプとを含む連続液体ソースと、非バブル化チャンバとを備え、
前記非バブル化チャンバは、
供給管によって前記連続液体ソースの出口につながれた入口と、
背圧デバイスを含み、前記連続液体ソースの入口につながれた出口と、
前記非バブル化チャンバの側壁内に設けられ、前記非バブル化チャンバの前記入口から前記非バブル化チャンバの直径の少なくとも10倍に等しい長さLの位置にあり、冷却器につながれた、少なくとも1つの口と、を含む
システム。 - 液体を非バブル化する方法であって、
供給管によって前記連続液体ソースの出口につながれた入口と
出口と、
前記非バブル化チャンバの側壁内に設けられ、前記非バブル化チャンバの前記入口から少なくとも長さLの位置にある、少なくとも1つの口と、
を含む非バブル化チャンバを用意し、
該非バブル化チャンバを通じて連続した液体の流れを提供し、
前記非バブル化チャンバの側壁内の前記少なくとも1つの口からほぼバブルフリーの液体を引く
方法。 - 請求項18に記載の方法であって、
前記液体は、前記液体のおおよその沸点より低い温度に加熱される方法。 - 請求項18に記載の方法であって、
前記液体は、前記非バブル化チャンバ内において、約5psigから約100psigの圧力を有する方法。 - 請求項18に記載の方法であって、
前記少なくとも1つの口を通る流量は、前記非バブル化チャンバに流れ込む総流量の約20%未満である方法。 - 請求項18に記載の方法であって、
前記少なくとも1つの口を通って流れる前記液体からは、約100nmより大きいバブルが取り除かれている方法。 - 請求項18に記載の方法であって、
前記少なくとも1つの口を通って流れる前記液体は、所望の温度に冷却される方法。
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