JP2009300415A - 分光モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分光モジュール1においては、分光部4に進行する光L1が通過する光通過孔50が光検出素子5に形成されている。よって、光通過孔50と光検出素子5の光検出部5aとの相対的な位置関係にずれが生じるのを防止することができる。更に、光検出素子5が光学樹脂剤63によって基板2の前面2aに接着されている。よって、光検出素子5と基板2との熱膨張差に起因して光検出素子5に生じる応力を低減することができる。しかも、光検出素子5には、前面2aと略直交する方向から見て、光検出部5aと光通過孔50との間に位置するように第1の凸部101が形成されている。これにより、光検出素子5を光学樹脂剤63を介して基板2に取り付ける際に、光学樹脂剤63が第1の凸部101で堰きとめられる。このため、光通過孔50への光学樹脂剤63の進入が防止される。
【選択図】図2
Description
Claims (6)
- 光を透過させる本体部と、
前記本体部の所定の面側から前記本体部に入射した光を分光すると共に前記所定の面側に反射する分光部と、
前記所定の面上に設けられ、前記分光部によって分光された光を検出する光検出素子と、
少なくとも前記所定の面と前記光検出素子の光検出部との間に配置された光学樹脂剤と、
を備え、
前記光検出素子には、前記分光部に進行する光が通過する光通過孔が形成されていると共に、前記本体部と反対側に臨む端子電極が設けられており、
前記光検出素子の前記本体部側の面には、前記所定の面と略直交する方向から見て、少なくとも前記光検出部と前記光通過孔との間に位置するように第1の凸部が形成されていることを特徴とする分光モジュール。 - 前記所定の面には、前記分光部に進行する光が通過する第1の光通過部、及び前記光検出素子の光検出部に進行する光が通過する第2の光通過部を有する光吸収層が形成されていることを特徴とする請求項1記載の分光モジュール。
- 前記第1の凸部は、前記光通過孔の光射出開口を囲むように環状に形成されることを特徴とする請求項1又は2記載の分光モジュール。
- 前記第1の凸部は、前記所定の面と略直交する方向から見て、前記第1の光通過部を囲むように環状に形成されることを特徴とする請求項2記載の分光モジュール。
- 前記光検出素子の前記本体部側の面には、前記所定の面と略直交する方向から見て、前記第1の凸部に対して前記光検出部を挟んで反対側に位置するように第2の凸部が形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の分光モジュール。
- 前記所定の面に取り付けられた配線基板を備え、
前記配線基板には、前記光検出素子が配置される開口部が形成されていると共に、前記端子電極と電気的に接続される配線が設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の分光モジュール。
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JP5207938B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール及び分光モジュールの製造方法 |
JP5512961B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2014-06-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール及びその製造方法 |
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JP5205243B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP5205240B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール |
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JP6251073B2 (ja) * | 2014-02-05 | 2017-12-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器、及び分光器の製造方法 |
EP3372966B1 (en) * | 2017-03-10 | 2021-09-01 | Hitachi High-Tech Analytical Science Limited | A portable analyzer using optical emission spectoscopy |
JP1624467S (ja) * | 2018-04-27 | 2019-08-05 | ||
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000065642A (ja) * | 1998-03-11 | 2000-03-03 | Gretag Macbeth Ag | スペクトロメ―タ |
JP2004191246A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 凹凸検出センサ |
WO2004082023A1 (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | ホトダイオードアレイおよびその製造方法並びに放射線検出器 |
JP2004354176A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
US20050230844A1 (en) * | 2002-08-29 | 2005-10-20 | Kinsman Larry D | Flip-chip image sensor packages and methods of fabrication |
JP2006030031A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器 |
JP2006032561A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Sony Corp | 半導体イメージセンサ・モジュール |
JP2008098367A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 固体撮像装置 |
WO2008149944A1 (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光モジュール |
WO2008149940A1 (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光モジュール |
Family Cites Families (64)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4259014A (en) | 1979-04-03 | 1981-03-31 | Princeton Applied Research Corporation | Fiber optic polychromator |
DE3509131A1 (de) | 1985-03-14 | 1986-09-18 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren zur justierten montage der optischen bauteile eines optischen geraetes |
JP2592081B2 (ja) | 1987-12-28 | 1997-03-19 | スズキ株式会社 | 自動二輪車等のマフラ |
DE4038638A1 (de) | 1990-12-04 | 1992-06-11 | Zeiss Carl Fa | Diodenzeilen-spektrometer |
JPH04287001A (ja) | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Sekinosu Kk | 光回折格子の製造方法 |
JPH06167637A (ja) | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Hitachi Ltd | 多芯光コネクタ |
JPH08145794A (ja) | 1994-11-17 | 1996-06-07 | Shimadzu Corp | 分光器 |
US6224912B1 (en) | 1996-04-03 | 2001-05-01 | The Rogo Institute | Cancer-cell proliferation-suppressing material produced by cancer cells restricted by entrapment |
US5995221A (en) * | 1997-02-28 | 1999-11-30 | Instruments S.A., Inc. | Modified concentric spectrograph |
US6303934B1 (en) * | 1997-04-10 | 2001-10-16 | James T. Daly | Monolithic infrared spectrometer apparatus and methods |
DE19717015A1 (de) | 1997-04-23 | 1998-10-29 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Miniaturisiertes optisches Bauelement sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
EP1043890B1 (en) | 1997-11-28 | 2002-04-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid state image pickup device and analyzer using it |
US6608679B1 (en) | 1998-12-21 | 2003-08-19 | Xerox Corporation | Spectrophotometric analysis of input light |
US6249346B1 (en) | 1998-12-21 | 2001-06-19 | Xerox Corporation | Monolithic spectrophotometer |
JP2000269472A (ja) | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Canon Inc | 撮像装置 |
EP1041372B1 (de) | 1999-04-01 | 2006-03-01 | Gretag-Macbeth AG | Spektrometer |
JP4287001B2 (ja) | 1999-10-27 | 2009-07-01 | 帝人株式会社 | 透明導電積層体 |
US6538736B1 (en) * | 1999-12-01 | 2003-03-25 | Hach Company | Concentric spectrometer with mitigation of internal specular reflections |
AU2001276875A1 (en) * | 2000-07-11 | 2002-01-21 | Ibsen Photonics | Monitoring apparatus for optical transmission systems |
US6859274B2 (en) * | 2000-07-28 | 2005-02-22 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Light spectrum detecting apparatus |
US6657723B2 (en) * | 2000-12-13 | 2003-12-02 | International Business Machines Corporation | Multimode planar spectrographs for wavelength demultiplexing and methods of fabrication |
KR20040035708A (ko) | 2001-08-02 | 2004-04-29 | 이지스 세미컨덕터 | 가변형 광학기기 |
JP2003139611A (ja) | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
JP3912111B2 (ja) | 2002-01-09 | 2007-05-09 | 富士通株式会社 | 波長多重双方向光伝送モジュール |
JP3818441B2 (ja) | 2002-02-20 | 2006-09-06 | 日本電信電話株式会社 | 基板実装構造及び半導体装置 |
JP4221965B2 (ja) | 2002-07-22 | 2009-02-12 | 日立電線株式会社 | 回折格子、波長合分波器及びこれらを用いた波長多重信号光伝送モジュール |
AU2003264540A1 (en) | 2002-09-20 | 2004-04-08 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Spectrometer using diffraction lattice |
FR2847978B1 (fr) | 2002-12-02 | 2005-12-02 | Technologie Optique Et Etudes | Spectrometre compact a composant optique monolithique |
JP2004309146A (ja) | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Olympus Corp | 分光光度計 |
US7623235B2 (en) | 2004-03-20 | 2009-11-24 | Seng-Tiong Ho | Curved grating spectrometer with very high wavelength resolution |
US7283233B1 (en) | 2004-03-20 | 2007-10-16 | Seng-Tiong Ho | Curved grating spectrometer with very high wavelength resolution |
JP4627410B2 (ja) | 2004-04-20 | 2011-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器を用いた測定装置 |
WO2006010367A2 (en) * | 2004-07-26 | 2006-02-02 | Danmarks Tekniske Universitet | On-chip spectroscopy |
JP4576961B2 (ja) | 2004-09-28 | 2010-11-10 | 株式会社島津製作所 | レプリカ回折格子の製造方法 |
JP2006322841A (ja) | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Shimadzu Corp | 分光測定方法及び分光光度計 |
US7330258B2 (en) * | 2005-05-27 | 2008-02-12 | Innovative Technical Solutions, Inc. | Spectrometer designs |
US7289220B2 (en) | 2005-10-14 | 2007-10-30 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Broadband cavity spectrometer apparatus and method for determining the path length of an optical structure |
JP4811032B2 (ja) | 2006-01-30 | 2011-11-09 | 株式会社島津製作所 | 反射型レプリカ光学素子 |
US7697137B2 (en) * | 2006-04-28 | 2010-04-13 | Corning Incorporated | Monolithic Offner spectrometer |
EP1882916A1 (en) * | 2006-07-20 | 2008-01-30 | Interuniversitair Microelektronica Centrum | Compact catadioptric spectrometer |
JP5182093B2 (ja) | 2006-09-06 | 2013-04-10 | 株式会社ニコン | 光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
JP4905193B2 (ja) | 2007-03-16 | 2012-03-28 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 凹面回折ミラー及びこれを用いた分光装置 |
US8049887B2 (en) * | 2007-06-08 | 2011-11-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic module |
KR101491889B1 (ko) | 2007-06-08 | 2015-02-11 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 분광기 |
EP2072978A4 (en) | 2007-06-08 | 2014-01-08 | Hamamatsu Photonics Kk | SPECTROSCOPIC MODULE |
TWI342862B (en) | 2008-01-31 | 2011-06-01 | Univ Nat Taiwan | Method of micro/nano imprinting |
JP5111163B2 (ja) | 2008-03-04 | 2012-12-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
KR101518518B1 (ko) | 2008-03-04 | 2015-05-07 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 분광 모듈 |
JP5074291B2 (ja) | 2008-05-15 | 2012-11-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP5205242B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器の製造方法 |
JP5205238B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP2009300422A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光モジュール |
JP5205239B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP2009300418A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光モジュール |
JP5205240B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール |
JP5205243B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光器 |
JP5207938B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-06-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール及び分光モジュールの製造方法 |
JP5512961B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2014-06-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール及びその製造方法 |
JP5411778B2 (ja) | 2009-04-30 | 2014-02-12 | キヤノン株式会社 | 分光測色装置、およびそれを用いた画像形成装置 |
JP2010261767A (ja) | 2009-05-01 | 2010-11-18 | Canon Inc | 分光装置及びそれを有する画像形成装置 |
JP5669434B2 (ja) | 2009-05-09 | 2015-02-12 | キヤノン株式会社 | 回折素子及び回折素子の製造方法及びそれを用いた分光器 |
JP5421684B2 (ja) | 2009-07-29 | 2014-02-19 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子、それを用いた分光測色装置および画像形成装置 |
DE102009046831B4 (de) | 2009-11-18 | 2015-02-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Strahlungserzeugungsvorrichtung zum Erzeugen einer elektromagnetischen Strahlung mit einer einstellbaren spektralen Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung derselben |
JP5335729B2 (ja) | 2010-04-01 | 2013-11-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
-
2008
- 2008-12-05 JP JP2008311008A patent/JP5415060B2/ja active Active
-
2009
- 2009-05-12 US US12/464,273 patent/US8035814B2/en active Active
- 2009-05-15 DE DE102009021437A patent/DE102009021437A1/de not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-08-12 US US13/208,774 patent/US8564773B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000065642A (ja) * | 1998-03-11 | 2000-03-03 | Gretag Macbeth Ag | スペクトロメ―タ |
US20050230844A1 (en) * | 2002-08-29 | 2005-10-20 | Kinsman Larry D | Flip-chip image sensor packages and methods of fabrication |
JP2004191246A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 凹凸検出センサ |
WO2004082023A1 (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | ホトダイオードアレイおよびその製造方法並びに放射線検出器 |
JP2004354176A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
JP2006032561A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Sony Corp | 半導体イメージセンサ・モジュール |
JP2006030031A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器 |
JP2008098367A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 固体撮像装置 |
WO2008149944A1 (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光モジュール |
WO2008149940A1 (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | 分光モジュール |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6009025094; H.W. Teichmann, et.al.: '"Replizierter mikro-optischer Sensor fuer die industrielle Spektralsensorik"' tm-Technisches Messen Vol.68, No.5, 200105, pp.200-203 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8564773B2 (en) | 2013-10-22 |
US8035814B2 (en) | 2011-10-11 |
JP5415060B2 (ja) | 2014-02-12 |
US20090290155A1 (en) | 2009-11-26 |
DE102009021437A1 (de) | 2009-12-24 |
US20110299077A1 (en) | 2011-12-08 |
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