JP2009299901A - ネジ - Google Patents
ネジ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009299901A JP2009299901A JP2009204502A JP2009204502A JP2009299901A JP 2009299901 A JP2009299901 A JP 2009299901A JP 2009204502 A JP2009204502 A JP 2009204502A JP 2009204502 A JP2009204502 A JP 2009204502A JP 2009299901 A JP2009299901 A JP 2009299901A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- screw
- metal
- graphite
- carbide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】ネジは、10−2Pa以下の真空又は該真空中に不活性ガスを導入した希薄ガス雰囲気下で、且つ高温雰囲気下で使用される。ネジは、金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材と接しており、少なくとも前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材に接する部分が、タンタルカーバイド処理を施したタンタルからなることを特徴とする。
【選択図】なし
Description
なお、ネジの「焼き付き」とは、高温真空又は不活性ガスを含む高温雰囲気環境における長時間の使用により、ネジを構成する材料の表面を保護している酸化膜被膜が蒸発剥離して、接触する金属等の表面と原子間結合することで、ネジの取り外しが困難または不可能となることをいう。
2 容器
11 高温真空炉(熱処理装置)
12 加熱炉
13 ストック室
19 真空チャンバ
21 本加熱室(第1室)
22 予備加熱室(第2室)
23 断熱室(第3室)
24 第2断熱室(第4室)
27 移動機構
28 支持台
29 シリンダ部
30 シリンダロッド
33 メッシュヒータ(加熱ヒータ)
41 第1多層熱反射金属板
42 第2多層熱反射金属板
43 第3多層熱反射金属板
44 第4多層熱反射金属板
45 第5多層熱反射金属板
46〜48 多層熱反射金属板
Claims (12)
- 10−2Pa以下の真空又は該真空中に不活性ガスを導入した希薄ガス雰囲気下で、且つ高温雰囲気下で使用されるネジであって、
金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材と接し、
少なくとも前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材に接する部分が、タンタルカーバイド処理を施したタンタルからなることを特徴とするネジ。 - 前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材と、他の部材とを固定するために用いられることを特徴とする請求項1に記載のネジ。
- 前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材は、
内部に収容される被処理物を加熱するための加熱室に設けられることを特徴とする請求項1又は2に記載のネジ。 - 前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材は、
被処理物を加熱するためのヒータであることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のネジ。 - 前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材は、
被処理物を加熱するためのヒータを覆うカバーであることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のネジ。 - 前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材は、
被処理物と、前記被処理物を加熱するためのヒータとの間に配置されるシールドであることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のネジ。 - 前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材は、
加熱される被処理物を取り囲む位置に配置されるシールドであることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のネジ。 - 前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材は、
前記加熱室の内部に配置される多層熱反射金属板であることを特徴とする請求項3に記載のネジ。 - 前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材は、
前記加熱室の少なくとも一部を構成する多層熱反射金属板であることを特徴とする請求項3に記載のネジ。 - 前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材は、
加熱される被処理物を載置する受け台であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のネジ。 - 不活性ガス雰囲気下で且つ高温雰囲気下で使用されるネジであって、
金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材と接し、
少なくとも前記金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材に接する部分が、タンタルカーバイド処理を施したタンタルからなることを特徴とするネジ。 - 不活性ガス雰囲気下で且つ高温雰囲気下で使用されるネジであって、
金属、金属カーバイド又はグラファイトの何れかの部材を、他の部材とを固定するために用いられ、タンタルカーバイド処理を施したタンタルからなることを特徴とするネジ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009204502A JP4820897B2 (ja) | 2009-09-04 | 2009-09-04 | ネジ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009204502A JP4820897B2 (ja) | 2009-09-04 | 2009-09-04 | ネジ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007168708A Division JP5251015B2 (ja) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | 熱処理装置及び熱処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009299901A true JP2009299901A (ja) | 2009-12-24 |
JP4820897B2 JP4820897B2 (ja) | 2011-11-24 |
Family
ID=41546988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009204502A Expired - Fee Related JP4820897B2 (ja) | 2009-09-04 | 2009-09-04 | ネジ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4820897B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108106413A (zh) * | 2018-01-19 | 2018-06-01 | 苏州楚翰真空科技有限公司 | 一种立式高温烧结炉 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60192113A (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-30 | ケネコット・マイニング・コーポレーション | 修理プラグ組立体及び修理方法 |
JPH0247258A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-16 | Hitachi Ltd | 薄膜形成用蒸発源 |
JPH07332335A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-22 | Koyo Seiko Co Ltd | 二部材の締結構造 |
JP2000205226A (ja) * | 1999-01-19 | 2000-07-25 | Osaka City | 耐焼付用部材及びその製造方法 |
JP2002520115A (ja) * | 1998-07-13 | 2002-07-09 | セピテク・ファウンデーション | 特に板貫通形椎骨ねじ止めの際の使用のための骨締結ねじ |
JP2003065508A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Toshiba Plant Kensetsu Co Ltd | 焼却炉の攪拌排出装置および投入装置ならびに焼却炉 |
JP2004292305A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-10-21 | New Industry Research Organization | 単結晶炭化ケイ素の液相エピタキシャル成長法及びそれに用いられる熱処理装置 |
JP2006298722A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Kwansei Gakuin | 単結晶炭化ケイ素基板の製造方法 |
JP2006339396A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Kwansei Gakuin | イオン注入アニール方法、半導体素子の製造方法、及び半導体素子 |
JP2006339397A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Kwansei Gakuin | 単結晶炭化ケイ素基板の処理方法、半導体素子の製造方法、及び半導体素子 |
-
2009
- 2009-09-04 JP JP2009204502A patent/JP4820897B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60192113A (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-30 | ケネコット・マイニング・コーポレーション | 修理プラグ組立体及び修理方法 |
JPH0247258A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-16 | Hitachi Ltd | 薄膜形成用蒸発源 |
JPH07332335A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-22 | Koyo Seiko Co Ltd | 二部材の締結構造 |
JP2002520115A (ja) * | 1998-07-13 | 2002-07-09 | セピテク・ファウンデーション | 特に板貫通形椎骨ねじ止めの際の使用のための骨締結ねじ |
JP2000205226A (ja) * | 1999-01-19 | 2000-07-25 | Osaka City | 耐焼付用部材及びその製造方法 |
JP2003065508A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Toshiba Plant Kensetsu Co Ltd | 焼却炉の攪拌排出装置および投入装置ならびに焼却炉 |
JP2004292305A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-10-21 | New Industry Research Organization | 単結晶炭化ケイ素の液相エピタキシャル成長法及びそれに用いられる熱処理装置 |
JP2006298722A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Kwansei Gakuin | 単結晶炭化ケイ素基板の製造方法 |
JP2006339396A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Kwansei Gakuin | イオン注入アニール方法、半導体素子の製造方法、及び半導体素子 |
JP2006339397A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Kwansei Gakuin | 単結晶炭化ケイ素基板の処理方法、半導体素子の製造方法、及び半導体素子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108106413A (zh) * | 2018-01-19 | 2018-06-01 | 苏州楚翰真空科技有限公司 | 一种立式高温烧结炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4820897B2 (ja) | 2011-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5380525B2 (ja) | 真空加熱冷却装置 | |
US8196619B2 (en) | Load lock apparatus, processing system and substrate processing method | |
TWI554641B (zh) | A substrate processing apparatus, a manufacturing method of a semiconductor device, and a recording medium | |
JP5029382B2 (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
JP5620090B2 (ja) | 基板処理装置、熱処理基板の製造方法及び半導体デバイスの製造方法 | |
JP4924395B2 (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
JP5689483B2 (ja) | 基板処理装置、基板支持具及び半導体装置の製造方法 | |
JP5561676B2 (ja) | SiC半導体ウエーハ熱処理装置 | |
US20100226630A1 (en) | Apparatus for heat-treating substrate and substrate manufacturing method | |
CN101266923A (zh) | 基板处理装置、基板处理方法以及存储介质 | |
JPWO2008123111A1 (ja) | 基板加熱処理装置及び基板加熱処理方法 | |
JP5251015B2 (ja) | 熱処理装置及び熱処理方法 | |
US10425990B2 (en) | Vacuum processing device | |
TW201320221A (zh) | 基板冷卻機構及基板冷卻方法以及熱處理裝置 | |
JP4820897B2 (ja) | ネジ | |
JP6554387B2 (ja) | ロードロック装置における基板冷却方法、基板搬送方法、およびロードロック装置 | |
KR101582672B1 (ko) | 증발용 도가니와 이를 포함하는 진공 증발원 및 진공 증착 장치 | |
JP5697441B2 (ja) | 基板熱処理装置 | |
JP2015190029A (ja) | 真空蒸着装置並びにルツボ搬入出機構及びルツボ搬入出方法 | |
KR101942511B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP2008283143A (ja) | 処理装置、トランジスタ製造方法 | |
JP2013035710A (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
JP2014110294A (ja) | 真空加熱炉及び有機半導体素子の製造方法 | |
WO2021039271A1 (ja) | 半導体装置の製造方法および製造装置 | |
JP2005273931A (ja) | 高温加熱炉 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091225 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20091225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091225 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110419 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110527 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110809 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110905 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140909 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4820897 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |