JP2009290115A - シリコン系薄膜太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によれば、光電変換層よりも低い屈折率を有するn型導電性酸化シリコンを光電変換層の後方に薄く形成することで光閉じ込め効果を発揮しつつ、良質のn型アモルファスシリコン界面層を成長させることができる。n型アモルファスシリコン界面層により、光電変換層と界面層の界面で強い電界を発生させ開放電圧を大幅に改善させることができる。この結果、高効率かつ低コストでシリコン系薄膜太陽電池を提供することができる。
【選択図】 なし
Description
図1は、各実施例及び各比較例にて作製したハイブリッド薄膜太陽電池を模式的に示す断面図である。
実施例2においては、実施例1とほぼ同様の工程を実施したが、n型導電性酸化シリコン層4onの膜厚のみを10nmに変化させた点が、実施例1とは異なっていた。表1に実施例2で作製した36個のハイブリッド薄膜太陽電池の平均性能を示す。
実施例3においては、実施例1とほぼ同様の工程を実施したが、n型アモルファスシリコン界面層4naの膜厚のみを3nmに変化させた点が、実施例1とは異なっていた。表1に実施例3で作製した36個のハイブリッド薄膜太陽電池の平均性能を示す。
比較例1においては、以下の点のみが実施例1と異なっていた。n型導電性酸化シリコン層4on、n型アモルファスシリコン界面層4na、n型微結晶シリコン界面層4ncを順次積層する代わりに、厚さ15nmのn型微結晶シリコン界面層4ncのみを製膜した。表1に比較例1で作製した36個のハイブリッド薄膜太陽電池の平均性能を示す。
比較例1においては、以下の点のみが実施例1と異なっていた。n型導電性酸化シリコン層4on、n型アモルファスシリコン界面層4na、n型微結晶シリコン界面層4ncを順次積層する代わりに、厚さ5nmのn型アモルファスシリコン界面層4naと厚さ7.5nmのn型微結晶シリコン界面層4ncを製膜した。表1に比較例2で作製した36個のハイブリッド薄膜太陽電池の平均性能を示す。
比較例1においては、以下の点のみが実施例1と異なっていた。n型導電性酸化シリコン層4on、n型アモルファスシリコン界面層4na、n型微結晶シリコン界面層4ncを順次積層する代わりに、厚さ3nmのn型導電性酸化シリコン層4onと厚さ7.5nmのn型微結晶シリコン界面層4ncを製膜した。表1に比較例3で作製した36個のハイブリッド薄膜太陽電池の平均性能を示す。
2 透明導電膜
3 非晶質シリコン光電変換ユニット
3pa 非晶質p型シリコンカーバイド層
3ia 非晶質i型シリコン光電変換層
3nc n型結晶質シリコン層
4 結晶質シリコン光電変換ユニット
4pc p型結晶質シリコン層
4ic 結晶質i型シリコン光電変換層
4o n n型導電性酸化シリコン層
4na n型アモルファスシリコン界面層
4nc n型結晶質シリコン界面層
5 透明酸化物層
6 裏面反射電極層
Claims (7)
- 光入射側から見て結晶質光電変換層の後方にn型導電性酸化シリコン層/n型アモルファスシリコン界面層/n型微結晶シリコン界面層が順に配置されていることを特徴とするシリコン系薄膜太陽電池。
- 前記n型導電性酸化シリコン層の波長600nmにおける屈折率が2.7以下であることを特徴とする、請求項1に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
- 前記n型導電性酸化シリコン層中に占める、シリコンを除く最多構成元素は酸素であることを特徴とする、請求項1または2に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
- 前記n型導電性酸化シリコン層は、その層中に結晶質シリコン成分を含むことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
- 前記n型導電性酸化シリコン層の厚さは10nm以下であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
- 前記導n型アモルファスシリコン界面層の厚さは2nm以上であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
- 少なくとも非晶質光電変換ユニットと結晶質光電変換ユニットを各々1ユニット以上積層したことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のシリコン系薄膜太陽電池。
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