JP6047494B2 - 薄膜光電変換装置およびその製造方法 - Google Patents
薄膜光電変換装置およびその製造方法 Download PDFInfo
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Description
(実施例1)
実施例1として、図2に示す単接合の非晶質ゲルマニウム薄膜光電変換装置が作製された。
13.56MHzの周波数の平行平板電極を備えた容量結合型の高周波プラズマCVD装置を用いて、透明電極層2上に非晶質ゲルマニウム光電変換ユニット5が形成された。
比較例1では、13.56MHzの周波数の平行平板電極を備えた容量結合型の高周波プラズマCVD装置を用いて、透明電極層2上に、光電変換層として結晶質シリコン半導体層を備える結晶質シリコン光電変換ユニットが形成された。
比較例2では、13.56MHzの周波数の平行平板電極を備えた容量結合型の高周波プラズマCVD装置を用いて、透明電極層2上に、光電変換層として非晶質シリコン半導体層を備える非晶質シリコン光電変換ユニットが形成された。
比較例3として、前述の非特許文献1(J.Zhu 他、Journal of Non−Crystalline Solids, 338−340 (2004年) 651−654頁)に記載の非晶質ゲルマニウム薄膜光電変換装置の構成を示す。この薄膜光電変換装置は、基板側から、リンがドープされたn型非晶質シリコン層、膜厚約20nmのバンドギャップ調整層、膜厚150〜200nmの非晶質ゲルマニウム光電変換層、バッファ層、ホウ素がドープされた非晶質シリコンカーバイド層、およびITO透明電極層を備える。非晶質ゲルマニウム光電変換層は、リモートECRプラズマ法により、H2/GeH4の流量比>50以上、基板温度250〜275℃の条件で製膜されたものである。
上記実施例1および比較例1,2で得られた単接合の薄膜光電変換装置のそれぞれに、AM1.5の光を100mW/cm2の光量で照射して、出力特性を測定した。また、各光電変換装置の分光感度測定を測定した。各光電変換装置の出力特性、および波長900nmにおける量子効率ηを表1に示す。表1には、上記非特許文献1に記載された比較例3の非晶質ゲルマニウム薄膜光電変換装置の特性も併せて示されている。
上記の単接合薄膜光電変換装置の評価によって得られた知見に基づいて、以下では、多接合薄膜光電変換装置を作製し、高効率化の検討を行った。
実施例2として、図4に示す構造の三接合の薄膜光電変換装置が作製された。
まず、透明電極層2の上に、13.56MHzの周波数の平行平板電極を備えた容量結合型の高周波プラズマCVD装置を用いて、非晶質シリコン光電変換ユニット3が形成された。反応ガスとしてSiH4、H2、CH4およびB2H6が導入され、p型非晶質シリコンカーバイド層31が15nmの膜厚で形成された後、反応ガスとしてSiH4が導入され、実質的に真性な非晶質シリコン光電変換層32が200nmの膜厚で形成された。その後、反応ガスとしてSiH4、H2およびPH3が導入され、n型非晶質シリコン層33が10nmの膜厚で形成された。
実施例3では、非晶質ゲルマニウム光電変換ユニット5における実質的に真性な非晶質シリコン層52の膜厚が10nmに変更されこと以外は、実施例2と同様にして、三接合の薄膜光電変換装置を得た。
実施例4では、非晶質ゲルマニウム光電変換ユニット5の形成において、実質的に真性な非晶質シリコン層52が形成されず、p型微結晶シリコン層51上に直接非晶質ゲルマニウム光電変換層53が形成されたこと以外は、実施例2と同様にして、三接合の薄膜光電変換装置を得た。
実施例5では、非晶質ゲルマニウム光電変換ユニット5における実質的に真性な非晶質シリコン層52の膜厚が20nmに変更されこと以外は、実施例2と同様にして、三接合の薄膜光電変換装置を得た。
比較例4として、非晶質シリコン光電変換ユニットと結晶質シリコン光電変換ユニットとが積層された二接合の薄膜光電変換装置が作製された。
参考例1として、非晶質シリコン光電変換ユニット、非晶質ゲルマニウム光電変換層および結晶質シリコン光電変換ユニットがこの順に積層された三接合の薄膜光電変換装置が作製された。
比較例5として、前述の特許文献2(特開平1−246362号公報)に記載の多接合薄膜光電変換装置の構成を示す。この多接合薄膜光電変換装置は、透明電極層上に、非晶質シリコン光電変換ユニット/非晶質シリコン光電変換ユニット/非晶質シリコンゲルマニウム光電変換ユニット/非晶質ゲルマニウム光電変換ユニットが順に積層された四接合薄膜光電変換装置である。非晶質ゲルマニウム光電変換層は、プラズマCVD法により、H2/GeH4の流量比5〜100、基板温度150〜350℃の条件で製膜されたものである。
実施例2、参考例1、および比較例4の多接合の薄膜光電変換装置を、それぞれ50℃に温度調整し、5SUN相当の光を20時間連続照射することにより、光劣化特性を評価した。結果を表2に示す。
非晶質ゲルマニウム光電変換ユニットにおいて、p型半導体層上に膜厚5nmの非晶質シリコン界面層が形成され、その上に非晶質ゲルマニウム光電変換層が形成された実施例2の薄膜光電変換装置は、非晶質シリコン界面層を有してない実施例4の薄膜光電変換装置に比べて、開放端電圧および短絡電流密度が向上した結果、変換効率が約7%向上している。また、非晶質シリコン界面層の膜厚が、それぞれ10nmおよび20nmの実施例3および実施例5においても、実施例4に比して開放端電圧が向上している。一方、実施例3および実施例5では、非晶質シリコン界面層の膜厚の増大に伴って、短絡電流密度が低下する傾向がみられた。
2. 透明電極層
3. 非晶質シリコン光電変換ユニット
4. 結晶質シリコン光電変換ユニット
5. 非晶質ゲルマニウム光電変換ユニット
51. p型半導体層
52. 非晶質シリコン層
53. 非晶質ゲルマニウム光電変換層
54. n型半導体層
6. 裏面電極層
Claims (8)
- 基板上に、第一電極層、2以上の光電変換ユニット、および第二電極層がこの順に配置された多接合薄膜光電変換装置であって、
前記光電変換ユニットのそれぞれは、p型半導体層とn型半導体層の間に実質的に真性な光電変換層を備え、
前記2以上の光電変換ユニットのうちの1つは、実質的にシリコン原子を含まない非晶質ゲルマニウム光電変換層を備える、非晶質ゲルマニウム光電変換ユニットであり、
前記非晶質ゲルマニウム光電変換ユニットよりも光入射側に、結晶質シリコン光電変換層を有する結晶質シリコン光電変換ユニットが配置されており、
前記非晶質ゲルマニウム光電変換ユニットにおいて、前記p型半導体層と前記非晶質ゲルマニウム光電変換層との間に、実質的に真性な非晶質シリコン半導体からなり膜厚が1nm〜10nmである界面層を備える、薄膜光電変換装置。 - 前記非晶質ゲルマニウム光電変換ユニットの波長900nmにおける量子効率が30%以上である、請求項1に記載の薄膜光電変換装置。
- 前記結晶質シリコン光電変換ユニットよりも光入射側に、非晶質シリコン系光電変換層を備える非晶質シリコン系光電変換ユニットが配置されている、請求項1または2に記載の薄膜光電変換装置。
- 前記非晶質ゲルマニウム光電変換層の膜厚が20nm〜300nmである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜光電変換装置。
- 前記非晶質ゲルマニウム光電変換層は、膜中の水素含有量が5atm%〜25atm%である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の薄膜光電変換装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の薄膜光電変換装置を製造する方法であって、
前記非晶質ゲルマニウム光電変換層が、プラズマCVD法により製膜され、
前記プラズマCVDにおいて、基板温度が190℃以下、高周波パワー密度が800mW/cm 2 以下であり、製膜室内に、ゲルマニウムを含むガスの1000倍〜3000倍の水素ガスが供給される、薄膜光電変換装置の製造方法。 - 基板上に、第一電極層、2以上の光電変換ユニット、および第二電極層がこの順に配置され;前記光電変換ユニットのそれぞれは、p型半導体層とn型半導体層の間に実質的に真性な光電変換層を備え;前記2以上の光電変換ユニットのうちの1つは、実質的にシリコン原子を含まない非晶質ゲルマニウム光電変換層を備える、非晶質ゲルマニウム光電変換ユニットであり;前記非晶質ゲルマニウム光電変換ユニットよりも光入射側に、結晶質シリコン光電変換層を有する結晶質シリコン光電変換ユニットが配置されている多接合薄膜光電変換装置を製造する方法であって、
前記非晶質ゲルマニウム光電変換層が、プラズマCVD法により製膜され、
前記プラズマCVDにおいて、基板温度が190℃以下、高周波パワー密度が800mW/cm 2 以下であり、製膜室内に、ゲルマニウムを含むガスの1000倍〜3000倍の水素ガスが供給される、薄膜光電変換装置の製造方法。 - 基板上に、第一電極層、非晶質ゲルマニウム光電変換ユニット、および第二電極層がこの順に配置され、前記非晶質ゲルマニウム光電変換ユニットは、波長900nmにおける量子効率が30%以上であり、p型半導体層とn型半導体層の間に、実質的に真性で、かつ実質的にシリコン原子を含まない非晶質ゲルマニウム光電変換層を備える薄膜光電変換装置を製造する方法であって、
前記非晶質ゲルマニウム光電変換層が、プラズマCVD法により製膜され、
前記プラズマCVDにおいて、基板温度が190℃以下、高周波パワー密度が800mW/cm 2 以下であり、製膜室内に、ゲルマニウムを含むガスの1000倍〜3000倍の水素ガスが供給される、薄膜光電変換装置の製造方法。
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