JP2009141059A - 薄膜光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】十分な光閉じ込め効果による高い変換効率を有する薄膜光電変換装置を低コストで提供する。
【解決手段】1以上の光電変換ユニットを含む薄膜光電変換装置において、それらの光電変換ユニットの少なくとも1つ(3a、4a)は、光入射側から順に一導電型半導体層(31、41)、実質的に真性半導体の光電変換層(321、421)、実質的に真性半導体の高屈折率層(322、422)、および逆導電型半導体層(33、43)を含み、その高屈折率層(322、422)はその両側に隣接するいずれの層(321、33、421、43)に比べても高い屈折率を有していることを特徴としている。
【選択図】図4
【解決手段】1以上の光電変換ユニットを含む薄膜光電変換装置において、それらの光電変換ユニットの少なくとも1つ(3a、4a)は、光入射側から順に一導電型半導体層(31、41)、実質的に真性半導体の光電変換層(321、421)、実質的に真性半導体の高屈折率層(322、422)、および逆導電型半導体層(33、43)を含み、その高屈折率層(322、422)はその両側に隣接するいずれの層(321、33、421、43)に比べても高い屈折率を有していることを特徴としている。
【選択図】図4
Description
本発明は薄膜光電変換装置の変換特性の改善に関し、特に入射光の利用効率の改善による変換特性の改善に関する。
近年では薄膜光電変換装置の典型例である薄膜太陽電池も多様化し、従来の非晶質薄膜太陽電池の他に結晶質薄膜太陽電池も開発され、これらを積層したハイブリッド型(積層型の一種)薄膜太陽電池も実用化されている。
薄膜太陽電池は、一般に少なくとも表面が絶縁性の基板上に順に積層された透明導電膜の第1電極、1以上の半導体薄膜光電変換ユニット、および第2電極を含んでいる。そして1つの光電変換ユニットはp型層とn型層でサンドイッチされたi型層を含んでいる。
光電変換ユニットの厚さの大部分は、実質的に真性の半導体層であるi型層によって占められ、光電変換作用は主としてこのi型層内で生じる。したがって、このi型層は、通常ではi型光電変換層または単に光電変換層と呼ばれる。光電変換層は真性半導体層に限られず、ドープされた不純物によって吸収される光の損失が問題にならない範囲でp型またはn型に微量にドープされた層であってもよい。光電変換層の厚さは光吸収のためには厚いほうが好ましいが、必要以上に厚くすればその堆積のためのコストと時間が増大することになる。
他方、p型やn型の導電型層は光電変換ユニット内に拡散電位を生じさせる役目を果たし、この拡散電位の大きさによって薄膜太陽電池の重要な特性の1つである開放端電圧の値が左右される。しかし、これらの導電型層は光電変換には寄与しない不活性な層であり、導電型層にドープされた不純物によって吸収される光は発電に寄与せず損失となる。したがって、p型とn型の導電型層の厚さは、十分な拡散電位を生じさせる範囲内で可能な限り薄くすることが好ましい。
上述のようなことから、pin(またはnip)型の光電変換ユニットまたは薄膜太陽電池は、それに含まれるp型とn型の導電型層が非晶質か結晶質かにかかわらず、i型の光電変換層が非晶質のものは非晶質光電変換ユニットまたは非晶質薄膜太陽電池と称され、i型層が結晶質のものは結晶質光電変換ユニットまたは結晶質薄膜太陽電池と称される。
薄膜太陽電池の変換効率を向上させる方法として、2以上の光電変換ユニットを積層してタンデム型(積層型)にする方法がある。この方法では、薄膜太陽電池の光入射側に大きなバンドギャップを有する光電変換層を含む前方ユニットを配置し、その後方に順に小さなバンドギャップを有する光電変換層を含む後方ユニットを配置することにより、入射光の広い波長範囲にわたって光電変換を可能にし、これによって太陽電池全体としての変換効率の向上が図られる。このようなタンデム型太陽電池の中でも、特に非晶質光電変換ユニットと結晶質光電変換ユニットを積層したものは前述のハイブリッド薄膜太陽電池と称される。
例えば、i型非晶質シリコンが光電変換し得る光の波長は長波長側において800nm程度までであるが、i型結晶質シリコンはそれより長い1100nm程度の波長までの光を光電変換することができる。ただし、光吸収係数の大きな非晶質シリコン光電変換層は光吸収のためには0.3μm程度以下の厚さでも十分であるが、光吸収係数の小さな結晶質シリコン光電変換層は長波長の光をも十分に吸収するためには1.5〜3μm程度の厚さを有することが好ましい。すなわち、結晶質光電変換層は、通常は非晶質光電変換層に比べて5〜10倍程度の厚さを有することが望まれる。
しかし、単一の非晶質シリコン光電変換層を含む薄膜太陽電池と前述のハイブリッド薄膜太陽電池とのいずれにおいても、それらに含まれる光電変換層の厚さをできるだけ小さくすることが生産性の向上および低コスト化の観点からは望ましい。
そこで、例えば特許文献1においては、光電変換層の後方に相対的に屈折率の小さな導電型シリコン系層を配置して特定波長の光の一部を有効に反射させ、それによる所謂光閉じ込め効果を利用した薄膜太陽電池が開示されている。この場合に、光電変換層と低屈折率層との間に付加的な層が介在させられてもよい。すなわち、特許文献1においては、光電変換層とその後方の低屈折率の導電型シリコン系層との間の屈折率差に起因する光閉じ込め効果によって、薄膜太陽電池の短絡電流密度が向上して変換効率が向上する。
他方、特許文献2においては、光電変換層の後方に相対的に低屈折率の導電型シリコン系層とシリコン系界面層が順次配置された薄膜太陽電池が開示されている。この場合においても、光電変換層とその後方の低屈折率の導電型シリコン系層との間の屈折率差に起因する光閉じ込め効果によって、薄膜太陽電池の短絡電流密度が向上して変換効率が向上する。
国際公開第2005/011002号パンフレット
特開2005−135987号公報
しかしながら、特許文献1や2におけるように光電変換層とその後方の低屈折率導電型シリコン系層との屈折率差だけでは光閉じ込め効果としては不十分であり、薄膜太陽電池の変換特性を十分に向上させることはできない。
上述のような先行技術の状況に鑑み、本発明は、十分な光閉じ込め効果による高い変換効率を有する薄膜光電変換装置を低コストで提供することを目的とする。
本発明によれば、1以上の光電変換ユニットを含む薄膜光電変換装置において、それらの光電変換ユニットの少なくとも1つは、光入射側から順に一導電型半導体層、実質的に真性半導体の光電変換層、実質的に真性半導体の高屈折率層、および逆導電型半導体層を含み、その高屈折率層はその両側に隣接するいずれの層に比べても高い屈折率を有していることを特徴としている。
なお、その少なくとも1つの光電変換ユニットは非晶質光電変換ユニットであり得て、実質的に真性半導体の光電変換層としてi型非晶質シリコン光電変換層を含むとともに、実質的に真性半導体の高屈折率層としてi型非晶質シリコンゲルマニウム層を含み得る。この場合、i型非晶質シリコンゲルマニウム層は、5.5未満の屈折率を有していることが好ましい。また、i型非晶質シリコンゲルマニウム層は、0より大きくて150nmより小さい厚さを有していることが好ましい。
本発明による薄膜光電変換装置は非晶質光電変換ユニットに積層された結晶質光電変換ユニットをも好ましく含むことができ、この結晶質光電変換ユニットは実質的に真性半導体の光電変換層としてi型結晶質シリコン光電変換層を含むとともに、実質的に真性半導体の高屈折率層としてi型結晶質シリコンゲルマニウム層を含み得る。この場合、i型結晶質シリコンゲルマニウム層は、5.5未満の屈折率を有していることが好ましい。また、i型結晶質シリコンゲルマニウム層は、0より大きくて1000nmより小さい厚さを有していることが好ましい。
以上のような本発明によれば、高屈折率層とその両側に隣接する層との屈折率差に起因する界面反射作用によって光電変換ユニット内で十分な光閉じ込め効果を発揮でき、薄膜光電変換装置の光電変換特性を顕著に向上させることができる。
図1は、本発明の一実施形態による薄膜光電変換装置を模式的な断面図で示している。なお、本願の図面において、同一の参照符号は同一部分または相当部分を表している。また、図面に示された種々の層の厚さ関係は、図面の明瞭化と簡略化のために適宜に変更されており、実際の厚さ関係を表してはいない。
図1のような薄膜光電変換装置の作製においては、まずガラス板などの透光性基板1上に透明導電膜層2を形成する。透明導電膜層2は、例えば酸化亜鉛、酸化錫、酸化インジウムなどの透明導電性酸化物(TCO)を利用して形成することができる。
透明導電膜層2上には、第1の光電変換ユニット3aをプラズマ化学気層成長法(PECVD法)により形成する。この第1光電変換ユニット3aは、光入射側(ガラス基板側)から順に例えば一導電型層としてのp型非晶質シリコンカーバイド層31、実質的に真性のi型非晶質シリコン光電変換層321、実質的真性のi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322、および逆導電型層としての非晶質または結晶質のn型酸化シリコン層を含むn型層33を含んでいる。すなわち、第1光電変換ユニット3aは、非晶質光電変換ユニットである。
ここで重要なことは、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322は、その両側に隣接するi型非晶質シリコン光電変換層321およびn型層33に含まれるn型酸化シリコン層のいずれに比べても高い屈折率を有していることである。
ただし、i型光電変換層321とi型高屈折率層322との電気的および光学的特性の連続性を保つために、i型高屈折率層322はi型光電変換層321の非晶質シリコンから非晶質シリコンゲルマニウムに徐々に組成が変わるグレイデッド領域を含むことが好ましい。なお、i型高屈折率層322の材質は、非晶質シリコンゲルマニウムに限られず、高い屈折率を有する限りにおいて他のi型半導体層を利用することも可能である。
i型高屈折率層322とn型層33との間の屈折率差は、その界面における高い反射効果を得るためになるべく大きいことが好ましい。したがって、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322に比べて顕著に低い屈折率を有する酸化シリコン層を含むn型層33が好ましく利用され得る。ただし、n型層33に含まれる層の材質は、酸化シリコンに限定されず、低い屈折率を有する限りにおいて他のn型半導体を利用することも可能である。具体的に幾つかの材料の屈折率を例示すれば、SiCの屈折率は約2.4〜2.7、ZnOの屈折率は約2.0、ITO(インジュウム錫酸化物)の屈折率は約2.0、Siの屈折率は約4.0、そしてSiGeの屈折率は約4.0〜5.7であり得る。
第1光電変換ユニット3a上には、第2の光電変換ユニット4をPECVD法により形成する。第2光電変換ユニット4は、光入射側から順に例えばp型の非晶質または結晶質の酸化シリコン層41、実質的に真性のi型結晶質シリコン光電変換層42、およびn型結晶質酸化シリコン層を含むn型層43を含んでいる。すなわち、第2光電変換ユニット4は、結晶質光電変換ユニットである。
n型層43上には、裏面電極層5を形成する。裏面電極層5は、順に積層された酸化亜鉛層と銀層またはアルミニウム層とを含み、これらはDC(直流)スパッタ法によって形成される。こうして作製される図1の積層型薄膜光電変換装置は、非晶質光電変換ユニット3aと結晶質光電変換ユニット4を含むハイブリッド薄膜光電変換装置である。
以上のような本発明による図1の薄膜光電変換装置においては、非晶質光電変換ユニット3a内に含まれるi型非晶質シリコン光電変換層321の背面に高屈折率のi型非晶質シリコンゲルマニウム層322を配置し、さらにその背面に低屈折率のn型酸化シリコン層を含むn型層33を配置することによって、屈折率差に起因する界面反射効果によるi型層32a内への光閉じ込め効果が増大し、第1光電変換ユニット3aの発電電流密度を増大させることができる。
ここで、図1において、結晶質光電変換ユニット4が省略されても、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の効果によって非晶質光電変換ユニット3aの発電電流密度を増大させ得ることが理解されよう。ハイブリッド薄膜光電変換装置において変換効率を高めるためには、非晶質光電変換ユニットと結晶質光電変換ユニットとの発電電流密度を整合させることが重要である。なぜならば、積層型光電変換装置において、全体としての発電電流密度は最も小さな発電電流密度を有する光電変換ユニットによって制限されるからである。
したがって、図1のハイブリッド光電変換装置において、高屈折率層322の効果によって非晶質光電変換ユニットの発電電流密度を改善することは、全体としてのハイブリッド光電変換装置の変換効率を顕著に改善することに寄与することになる。
以下においては、本発明による種々の実施例が比較例とともに説明される。なお、本発明が以下の実施例に限定されないことは言うまでもない。
(実施例1)
本発明の実施例1として、図1に対応する積層型薄膜光電変換装置を作製した。まず、ガラスの透光性基板1上に、酸化錫の透明導電層2を熱CVD法により約800nmの厚さに堆積した。こうして形成された酸化錫層は微細な凹凸を含む表面テクスチャ構造を有していて入射光の散乱透過を生じ、光電変換ユニット3a、4中の実質的な光路長を長くして光の閉じ込め効果を高める作用を生じる。なお、透明導電層2は酸化錫に限られず、酸化亜鉛、酸化インジウムなどの他のTCOで形成されてもよい。
本発明の実施例1として、図1に対応する積層型薄膜光電変換装置を作製した。まず、ガラスの透光性基板1上に、酸化錫の透明導電層2を熱CVD法により約800nmの厚さに堆積した。こうして形成された酸化錫層は微細な凹凸を含む表面テクスチャ構造を有していて入射光の散乱透過を生じ、光電変換ユニット3a、4中の実質的な光路長を長くして光の閉じ込め効果を高める作用を生じる。なお、透明導電層2は酸化錫に限られず、酸化亜鉛、酸化インジウムなどの他のTCOで形成されてもよい。
透明導電層2上には、PECVD法によって、厚さ15nmのp型非晶質シリコンカーバイド層31および厚さ250nmのi型非晶質シリコン光電変換層321を形成した。その後、放電を維持したままで原料ガス組成の変更を行い、波長600nmの光に関して5.0の屈折率を有する厚さ50nmのi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322を形成した。なお、5.0の屈折率は、Ge/(Si+Ge)=75%のシリコンゲルマニウム層によって得ることができる。
放電維持したままで原料ガス組成の変更を行ったのは、電気的また光学的特性の連続性を保つために非晶質シリコン光電変換層321から非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322に徐々に組成が変わるグレイデッド領域を形成するためである。より具体的には、成膜チャンバ内の放電を維持したままでSiH4にGeH4を追加して導入し、チャンバ内に残っていたSiH4の影響によるグレイデッド層を形成した。なお、GeH4は、追加導入時からGeH4/(SiH4+GeH4)=35%の一定割合で導入された。
i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322上には、波長600nmの光に関して1.7の低い屈折率を有する厚さ50nmのn型微結晶酸化シリコン層と厚さ5nmのn型微結晶シリコン層とを含むn型層33を形成し、これによって第1光電変換ユニット3aを完成させた。
第1光電変換ユニット3a上には、同じくPECVD法によって、波長600nmの光に関して2.3の低い屈折率を有する厚さ20nmのp型微結晶酸化シリコン層41および厚さ2900nmのi型微結晶シリコン光電変換層42を形成し、さらに波長600nmの光に関して1.9の低い屈折率を有する厚さ60nmのn型微結晶酸化シリコン層と厚さ5nmのn型微結晶シリコン層とを含むn型層43を形成し、これによって第2光電変換ユニット4を完成させた。
最後に、第2光電変換ユニット4上において、アルミニウムがドープされた厚さ30nmの酸化亜鉛層と厚さ200nmの銀層とを含む裏面電極層5が、DCスパッタ法にて形成された。
本実施例1で得られた光電変換装置の有効面積1cm2に関して、AM1.5のスペクトル分布と100mW/cm2エネルギ密度を有する擬似太陽光を25℃の環境下で照射して出力特性を測定したところ、短絡電流密度が14.38mA/cm2、開放電圧が1.375V、曲線因子が0.714、そして変換効率が14.12%であった。
(実施例2)
本発明の実施例2は、実施例1に比べて、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の堆積条件のみが種々に変更された種々の光電変換装置が作製されたことにおいて異なっていた。すなわち、本実施例2においては、第1光電変換ユニット3a内の厚さ50nmのi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322におけるゲルマニウム濃度を種々に変化させ、波長600nmの光に関する屈折率が4.0から5.7の範囲で種々に変化させられた複数の光電変換装置が作製された。
本発明の実施例2は、実施例1に比べて、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の堆積条件のみが種々に変更された種々の光電変換装置が作製されたことにおいて異なっていた。すなわち、本実施例2においては、第1光電変換ユニット3a内の厚さ50nmのi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322におけるゲルマニウム濃度を種々に変化させ、波長600nmの光に関する屈折率が4.0から5.7の範囲で種々に変化させられた複数の光電変換装置が作製された。
なお、最も高い5.7の屈折率を有するシリコンゲルマニウム層は、シリコンを含んでいないゲルマニウム層に相当し、GeH4/(SiH4+GeH4)=100%の条件のもとで堆積され、Ge/(Si+Ge)=100%のゲルマニウム濃度を有していた。
本実施例2で得られた種々の光電変換装置に関して、実施例1の場合と同じ条件で変換効率が測定された。得られた測定結果が、図2のグラフにまとめて示されている。すなわち、図2のグラフにおいて、横軸は波長600nmの光に関するi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の屈折率を表し、縦軸はその高屈折率層を含む光電変換装置の変換効率[%]を表している。
(実施例3)
本発明の実施例3は、実施例1に比べて、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の厚さが種々に変更さるとともに、それに伴ってi型非晶質シリコン光電変換層321の厚さも調整されたことのみにおいて異なっていた。すなわち、i型非晶質シリコン光電変換層321とi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322との合計厚さが300nmになるように設定されるとともに、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の厚さが0〜200nmの範囲で種々に変化させられた。
本発明の実施例3は、実施例1に比べて、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の厚さが種々に変更さるとともに、それに伴ってi型非晶質シリコン光電変換層321の厚さも調整されたことのみにおいて異なっていた。すなわち、i型非晶質シリコン光電変換層321とi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322との合計厚さが300nmになるように設定されるとともに、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の厚さが0〜200nmの範囲で種々に変化させられた。
本実施例3で得られた種々の光電変換装置に関して、実施例1の場合と同じ条件で変換効率が測定された。得られた測定結果が、図3のグラフにまとめて示されている。すなわち、図3のグラフにおいて、横軸はi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の厚さ[nm]を表し、縦軸はその高屈折率層を含む光電変換装置の変換効率[%]を表している。
(実施例4)
本発明の実施例4として、図1に類似した図4の模式的断面図に示すような積層型薄膜光電変換装置を作製した。図4の光電変換装置は、第2光電変換ユニット4aに含まれるi型層42aがi型光電変換層421に加えてi型高屈折率層422を含んでいることのみにおいて異なっている。
本発明の実施例4として、図1に類似した図4の模式的断面図に示すような積層型薄膜光電変換装置を作製した。図4の光電変換装置は、第2光電変換ユニット4aに含まれるi型層42aがi型光電変換層421に加えてi型高屈折率層422を含んでいることのみにおいて異なっている。
より具体的には、本実施例4の光電変換装置では、第2光電変換ユニット4aに含まれるi型層42aとして、厚さ2300nmのi型微結晶シリコン光電変換層421を形成し、その後に放電維持したままで原料ガス組成の変更を行い、波長600nmの光に関して5.0の屈折率を有する厚さ200nmのi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422を形成した。ここで、放電維持したままで原料ガス組成の変更を行ったのは、電気的また光学的特性の連続性を保つために微結晶シリコン光電変換層421から微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422に徐々に組成が変わるグレイデッド領域を形成するためである。
本実施例4で得られた光電変換装置に関して、実施例1の場合と同じ条件で出力特性を測定したところ、短絡電流密度が14.53mA/cm2、開放電圧が1.373V、曲線因子が0.731、そして変換効率が14.58%であった。
(実施例5)
本発明の実施例5は、実施例4に比べて、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の堆積条件のみが種々に変更された種々の光電変換装置が作製されたことにおいて異なっていた。すなわち、本実施例5においては、第2光電変換ユニット4a内の厚さ200nmのi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422におけるゲルマニウム濃度を種々に変化させ、波長600nmの光に関する屈折率が4.0から5.7の範囲で種々に変化させられた複数の光電変換装置が作製された。
本発明の実施例5は、実施例4に比べて、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の堆積条件のみが種々に変更された種々の光電変換装置が作製されたことにおいて異なっていた。すなわち、本実施例5においては、第2光電変換ユニット4a内の厚さ200nmのi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422におけるゲルマニウム濃度を種々に変化させ、波長600nmの光に関する屈折率が4.0から5.7の範囲で種々に変化させられた複数の光電変換装置が作製された。
本実施例5で得られた種々の光電変換装置に関して、実施例1の場合と同じ条件で変換効率が測定された。得られた測定結果が、図5のグラフにまとめて示されている。すなわち、図5のグラフにおいて、横軸は波長600nmの光に関するi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の屈折率を表し、縦軸はその高屈折率層を含む光電変換装置の変換効率[%]を表している。
(実施例6)
本発明の実施例6は、実施例4に比べて、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の厚さが種々に変更さるとともに、それに伴ってi型微結晶シリコン光電変換層421の厚さも調整されたことのみにおいて異なっていた。すなわち、i型微結晶シリコン光電変換層421とi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422との合計厚さが2500nmになるように設定されるとともに、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の厚さが0〜1500nmの範囲で種々に変化させられた。
本発明の実施例6は、実施例4に比べて、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の厚さが種々に変更さるとともに、それに伴ってi型微結晶シリコン光電変換層421の厚さも調整されたことのみにおいて異なっていた。すなわち、i型微結晶シリコン光電変換層421とi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422との合計厚さが2500nmになるように設定されるとともに、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の厚さが0〜1500nmの範囲で種々に変化させられた。
本実施例6で得られた種々の光電変換装置に関して、実施例1の場合と同じ条件で変換効率が測定された。得られた測定結果が、図6のグラフにまとめて示されている。すなわち、図6のグラフにおいて、横軸はi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の厚さ[nm]を表し、縦軸はその高屈折率層を含む光電変換装置の変換効率[%]を表している。
(比較例)
上述の種々の実施例との比較のために、図1に類似した図7の模式的断面図に示すような積層型薄膜光電変換装置を比較例として作製した。図7の光電変換装置は、第1光電変換ユニット3がi型非晶質シリコン光電変換層321とi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の代わりに厚さ300nmのi型非晶質シリコン光電変換層32を含んでいることのみにおいて異なっていた。
上述の種々の実施例との比較のために、図1に類似した図7の模式的断面図に示すような積層型薄膜光電変換装置を比較例として作製した。図7の光電変換装置は、第1光電変換ユニット3がi型非晶質シリコン光電変換層321とi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の代わりに厚さ300nmのi型非晶質シリコン光電変換層32を含んでいることのみにおいて異なっていた。
本比較例で得られた光電変換装置に関して、実施例1の場合と同じ条件で出力特性を測定したところ、短絡電流密度が14.10mA/cm2、開放電圧が1.390V、曲線因子が0.709、そして変換効率が13.90%であった。
(実施例1と比較例との比較)
実施例1においては、比較例に比べて、短絡電流密度が約0.3mA/cm2向上していることが分かる。この理由として、実施例1においては第1光電変換ユニット3a内のi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322がそれに隣接するi型非晶質シリコン光電変換層321およびn型層33内に含まれる微結晶酸化シリコン層に比べて大きな屈折率を有しているので、それら屈折率差に起因する界面反射作用によってi型層32a内の光閉じ込め効果が増大したことによると考えられる。
実施例1においては、比較例に比べて、短絡電流密度が約0.3mA/cm2向上していることが分かる。この理由として、実施例1においては第1光電変換ユニット3a内のi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322がそれに隣接するi型非晶質シリコン光電変換層321およびn型層33内に含まれる微結晶酸化シリコン層に比べて大きな屈折率を有しているので、それら屈折率差に起因する界面反射作用によってi型層32a内の光閉じ込め効果が増大したことによると考えられる。
(実施例2の検討)
実施例2に基づく図2のグラフを検討すれば、第1光電変換ユニット3a内のi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の屈折率には好ましい数値範囲が存在することが分かる。すなわち、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の屈折率は前述のようにi型非晶質シリコン光電変換層321およびn型層33に含まれるn型微結晶酸化シリコン層に比べて大きな屈折率を有することを要するが、図2から分かるように5.5未満の屈折率を有することが好ましい。
実施例2に基づく図2のグラフを検討すれば、第1光電変換ユニット3a内のi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の屈折率には好ましい数値範囲が存在することが分かる。すなわち、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の屈折率は前述のようにi型非晶質シリコン光電変換層321およびn型層33に含まれるn型微結晶酸化シリコン層に比べて大きな屈折率を有することを要するが、図2から分かるように5.5未満の屈折率を有することが好ましい。
この場合、上述のようにi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322がi型非晶質シリコン光電変換層321およびn型層133に含まれる微結晶酸化シリコン層に比べて大きな屈折率を有しているので、それらの屈折率差に起因する界面反射作用によってi型層32a内の光閉じ込め効果が増大して短絡電流密度が高くなる傾向にある。しかし、非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の屈折率を高めるためにゲルマニウム濃度を高くし過ぎれば、その層内のキャリアの再結合が増大し、その結果として曲線因子が低下して光電変換効率が低下すると考えられる。
(実施例3の検討)
実施例3に基づく図3のグラフを検討すれば、第1光電変換ユニット3a内のi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の厚さには好ましい数値範囲が存在することが分かる。すなわち、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322は、図3から分かるように、0より大きくて150nm未満の厚さを有することが好ましい。
実施例3に基づく図3のグラフを検討すれば、第1光電変換ユニット3a内のi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の厚さには好ましい数値範囲が存在することが分かる。すなわち、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322は、図3から分かるように、0より大きくて150nm未満の厚さを有することが好ましい。
この場合、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322の厚さの増大は、光閉じ込め効果を高めて短絡電流密度を増大させる。また、i型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322はi型非晶質シリコン光電変換層321に比べて小さなバンドギャップを有するので、その厚さの増大は短絡電流密度を増大させる傾向にある。しかし、i型非晶質シリコン光電変換層321の厚さの過剰な増大はその層内でのキャリアの再結合を増大させ、その結果として曲線因子が低下して光電変換効率が低下すると考えられる。
(実施例4と実施例1との比較)
実施例4においては、実施例1に比べて、光電変換効率がさらに向上していることが分かる。これは、実施例4においては第1光電変換ユニット3a内のi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322のみらならず第2光電変換ユニット4a内にもi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422を設けたことによることが明らかであろう。
実施例4においては、実施例1に比べて、光電変換効率がさらに向上していることが分かる。これは、実施例4においては第1光電変換ユニット3a内のi型非晶質シリコンゲルマニウム高屈折率層322のみらならず第2光電変換ユニット4a内にもi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422を設けたことによることが明らかであろう。
(実施例5の検討)
実施例5に基づく図5のグラフを検討すれば、第2光電変換ユニット4a内のi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の屈折率には好ましい数値範囲が存在することが分かる。すなわち、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の屈折率は前述のようにi型微結晶シリコン光電変換層421およびn型層43に含まれる微結晶酸化シリコン層に比べて大きな屈折率を有することを要するが、図5から分かるように5.5未満の屈折率を有することが好ましい。
実施例5に基づく図5のグラフを検討すれば、第2光電変換ユニット4a内のi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の屈折率には好ましい数値範囲が存在することが分かる。すなわち、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の屈折率は前述のようにi型微結晶シリコン光電変換層421およびn型層43に含まれる微結晶酸化シリコン層に比べて大きな屈折率を有することを要するが、図5から分かるように5.5未満の屈折率を有することが好ましい。
この場合、上述のようにi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422がi型微結晶シリコン光電変換層421およびn型層43に含まれる微結晶酸化シリコン層に比べて大きな屈折率を有しているので、それらの屈折率差に起因する界面反射作用によってi型層42a内の光閉じ込め効果が増大して短絡電流密度が高くなる傾向にある。しかし、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の屈折率を高めるためにゲルマニウム濃度を高くし過ぎれば、その層内のキャリアの再結合が増大し、その結果として曲線因子が低下して光電変換効率が低下すると考えられる。
(実施例6の検討)
実施例6に基づく図6のグラフを検討すれば、第2光電変換ユニット4a内のi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の厚さには好ましい数値範囲が存在することが分かる。すなわち、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422は、図6から分かるように、0より大きくて1000nm未満の厚さを有することが好ましい。
実施例6に基づく図6のグラフを検討すれば、第2光電変換ユニット4a内のi型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の厚さには好ましい数値範囲が存在することが分かる。すなわち、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422は、図6から分かるように、0より大きくて1000nm未満の厚さを有することが好ましい。
この場合、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の厚さの増大は、光閉じ込め効果を高めて短絡電流密度を増大させる。また、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422はi型非晶質シリコン光電変換層421に比べて小さなバンドギャップを有するので、その厚さの増大は短絡電流密度を増大させる傾向にある。しかし、i型微結晶シリコンゲルマニウム高屈折率層422の厚さの過剰な増大はその層内でキャリアの再結合を増大させ、その結果として曲線因子が低下して光電変換効率が低下すると考えられる。
以上のように、本発明によれば、高屈折率層とその両側に隣接する層との屈折率差に起因する界面反射作用によって光電変換ユニット内で十分な光閉じ込め効果を発揮でき、薄膜光電変換装置の光電変換特性を顕著に向上させることができる。そして、高効率の薄膜光電変換装置を低コストで提供することができる。
1 透光性基板、2 透明導電層、3、3a 第1光電変換ユニット、31 一導電型層、32、32a 実施的に真性のi型層、321 i型光電変換層、322 i型高屈折率層、33 逆導電型層、4、4a 第2光電変換ユニット、41 一導電型層、42、42a 実質的に真性のi型層、421 i型光電変換層、422 i型高屈折率層、43 逆導電型層、5 裏面電極層。
Claims (7)
- 1以上の光電変換ユニットを含む薄膜光電変換装置であって、
前記光電変換ユニットの少なくとも1つは、光入射側から順に一導電型半導体層、実質的に真性半導体の光電変換層、実質的に真性半導体の高屈折率層、および逆導電型半導体層を含み、
前記高屈折率層は、その両側に隣接するいずれの層に比べても高い屈折率を有していることを特徴とする薄膜光電変換装置。 - 前記少なくとも1つの光電変換ユニットは非晶質光電変換ユニットであり、前記実質的に真性半導体の光電変換層としてi型非晶質シリコン光電変換層を含むとともに、前記実質的に真性半導体の高屈折率層としてi型非晶質シリコンゲルマニウム層を含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜光電変換装置。
- 前記i型非晶質シリコンゲルマニウム層は5.5未満の屈折率を有していることを特徴とする請求項2に記載の薄膜光電変換装置。
- 前記i型非晶質シリコンゲルマニウム層は0より大きくて150nmより小さい厚さを有していることを特徴とする請求項2または3に記載の薄膜光電変換装置。
- 前記非晶質光電変換ユニットに積層された結晶質光電変換ユニットをさらに含み、この結晶質光電変換ユニットは前記実質的に真性半導体の光電変換層としてi型結晶質シリコン光電変換層を含むとともに、前記実質的に真性半導体の高屈折率層としてi型結晶質シリコンゲルマニウム層を含むことを特徴とする請求項2から4のいずれかに記載の薄膜光電変換装置。
- 前記i型結晶質シリコンゲルマニウム層は5.5未満の屈折率を有していることを特徴とする請求項5に記載の薄膜光電変換装置。
- 前記i型結晶質シリコンゲルマニウム層は0より大きくて1000nmより小さい厚さを有していることを特徴とする請求項5または6に記載の薄膜光電変換装置。
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-
2007
- 2007-12-05 JP JP2007314807A patent/JP2009141059A/ja active Pending
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