JP2009283552A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画素内の読み出しトランジスタ12の第1のゲート絶縁膜22を、画素内の増幅トランジスタ14の第2のゲート絶縁膜23よりも厚く形成し、かつ、画素内の増幅トランジスタ14の第2のゲート絶縁膜23を、画素外の周辺の微細n型トランジスタ17及び微細p型トランジスタ18の第3のゲート絶縁膜24よりも厚く形成する。
【選択図】図5
Description
画素領域8は、画素の2次元的な配列からなり、画素領域8の画素は、垂直走査回路1及び水平走査回路3によって駆動される。画素領域8では、光電変換され蓄積された信号電荷が画素内の増幅トランジスタによって増幅されて、画素信号としてコラム回路2に読み出される。コラム回路2は、画素増幅トランジスタのしきい値のバラツキによる画素信号バラツキを低減するノイズキャンセル機能と、ノイズキャンセルされた信号を保持するアナログメモリ機能とがある。コラム回路2に保持されたアナログ信号は、水平走査回路3により走査されて出力アンプ回路5に送られる。出力アンプ回路5は、アナログ信号を増幅してセンサから出力信号を出力する。垂直走査回路1、コラム回路2、水平走査回路3、及び出力アンプ回路5を制御するタイミングパルスは、タイミング発生回路4で発生される。I/O回路7は、センサ全体を制御するパルス信号を入力するバッファ機能と、この固体撮像装置の出力信号を入力するAFE素子等に出力信号のサンプリングタイミングを供給する信号等の出力バッファ機能とを持つ。
ある行に含まれる全画素は、図3のリセット期間において、読み出し制御線110及びリセット制御線120の両方を“H”電位にすることにより、フォトダイオード11及びフローティングディフュージョン16がリセットされる。そして、蓄積時間が経過した後、信号電荷の読み出し動作が行われる。読み出し期間中は、行選択信号線が“H”にセットされ、まず期間前半にリセット制御線120が“H”にセットされてフローティングディフュージョン16のリセットが行われ、リセット制御線120が“L”電位にセットされる。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置のレイアウト構成を示す平面図である。この第1の実施形態に係る固体撮像装置のレイアウト構成は、上述した一般的な固体撮像装置と同じである。また、画素領域8、コラム回路2、及び水平走査回路3の詳細な構成を示す回路図は、図2と同様である。
以下、この図4及び図5を用いて、第1の実施形態に係る固体撮像装置の構造を説明する。
図7は、第2の実施形態に係る固体撮像装置の単位画素の概略レイアウトを示す平面図である。この第2の実施形態に係る固体撮像装置のレイアウトは、上記第1の実施形態に係る固体撮像装置とほぼ同じであるが、フォトレジスト開口領域30が増幅トランジスタ14と行選択トランジスタ15との活性領域を覆っていることが異なる。
図8は、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置のレイアウト構成を示す平面図である。第3の実施形態に係る固体撮像装置は、画素領域8以外の周辺回路としてAD変換回路及び信号処理回路を搭載したものである。よって、第3の実施形態では、周辺回路規模が大きくなっている。
2 コラム回路
2a コラムAD変換回路
2b デジタルメモリ回路
3 水平走査回路
4 タイミング発生回路
5 出力アンプ回路
7 I/O回路
8 画素領域
9 信号処理回路
11 フォトダイオード
12 読み出しトランジスタ
13 リセットトランジスタ
14 増幅トランジスタ
15 行選択トランジスタ
16 フローティングディフュージョン
17 微細n型トランジスタ
18 微細p型トランジスタ
20 Si基板
21 素子分離領域
22〜24 ゲート絶縁膜
25〜27 ゲート絶縁膜領域
28〜29 フォトレジスト
30 フォトレジスト開口領域
110 読み出し制御線
120 リセット制御線
200 クランプ容量
210 コラムアンプ
220 コラムアンプ帰還容量
230 コラムアンプリセットトランジスタ
240 列CDS回路
250 サンプル容量
260 列選択トランジスタ
270 垂直共通信号線
Claims (6)
- 画素をマトリクス上に配した画素領域と、画素を駆動して出力信号を取り出す周辺回路部とを備えた、MOS型の固体撮像素子であって、
前記画素領域は、
少なくとも1つのフォトダイオードと、
前記フォトダイオードに蓄積された電荷を読み出す読み出しトランジスタと、
読み出された前記電荷を電圧に変換する不純物拡散層からなるフローティングディフュージョンと、
前記フローティングディフュージョンを所定の電圧にリセットするリセットトランジスタと、
前記フローティングディフュージョンの電位をゲート入力とする増幅トランジスタとを、少なくとも構成要素とし、
前記画素内の前記読み出しトランジスタが用いる第1のゲート絶縁膜は、前記画素内の前記増幅トランジスタが用いる第2のゲート絶縁膜よりも厚く、
前記増幅トランジスタが用いる第2のゲート絶縁膜は、前記周辺回路部の一部のトランジスタが用いる第3のゲート絶縁膜よりも厚いことを特徴とする、固体撮像素子。 - 前記周辺回路部のアナログ回路部分のトランジスタに、前記第1のゲート絶縁膜又は前記第2のゲート絶縁膜を用いることを特徴とする、請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記アナログ回路部のうちのコラムアンプ部のトランジスタに、前記第1のゲート絶縁膜又は前記第2のゲート絶縁膜を用いることを特徴とする、請求項2に記載の固体撮像素子。
- 前記アナログ回路部のうちのコラム回路内に配置されたMOSキャパシタに、前記第1のゲート絶縁膜又は前記第2のゲート絶縁膜を用いることを特徴とする、請求項3に記載の固体撮像素子。
- 前記周辺回路部のI/O部分の回路内のトランジスタに、前記第1のゲート絶縁膜又は前記第2のゲート絶縁膜を用いることを特徴とする、請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記画素内に前記増幅トランジスタと直列するように行選択トランジスタが配置され、
前記増幅トランジスタと前記行選択トランジスタとに、前記第2のゲート絶縁膜を用いることを特徴とする、請求項1に記載の固体撮像素子。
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