JP2009278033A - ドライエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エッチングガスと保護膜形成ガスとを反応処理室内で交互に切り替えて供給口を介して供給しつつ反応処理室内に高周波エネルギーを供給しドライエッチングをなし、当該ガス供給開始時点から所定時間内には反応処理室内の圧力に応じて当該反応処理室の排気口の開度を調整し、所定時間経過後に反応処理室内の排気口の開度を一定に調整する。
【選択図】図1
Description
14 反応処理室
16 高周波電源
17 供給口
21 圧力計
22 バルブ制御装置
23 排気口
24 バルブ
26 ターボ分子ポンプ
27 ドライポンプ
Claims (5)
- 供給口及び排気口を備える反応処理室内において被加工基板にドライエッチングを施すドライエッチング方法であって、
前記供給口を介して前記反応処理室内にエッチングガスと保護膜形成ガスとを択一的に供給するガス供給工程と、
前記ガス供給工程に並行して前記反応処理室内に高周波エネルギーを供給するエネルギー供給工程と、
前記ガス供給工程の開始時点から所定時間内においては前記反応処理室内の圧力に応じて排気口の開度を調整し、前記所定時間経過後に前記排気口の開度を一定にする排気口開度調整工程と、を有することを特徴とするドライエッチング方法。 - 前記ガス供給工程においては、前記エッチングガスの流量を600sccmとし、前記保護膜生成ガスの流量を250sccmとすることを特徴とする請求項1記載のドライエッチング方法。
- 前記エネルギー供給工程においては、前記エッチングガス供給時に前記高周波エネルギーを1800W時とし、前記保護膜形成ガス供給時に1500W時とすることを特徴とする請求項1又は2記載のドライエッチング方法。
- 前記エッチングガスが六フッ化硫黄(SF6)であって、前記保護膜生成ガスが八フッ化シクロブタン(C4F8)であることを特徴とする請求項1乃至3記載のいずれか1に記載のドライエッチング方法。
- 前記ガス供給工程は、前記保護膜生成ガスの供給後であって、前記エッチングガスの供給までの間に、前記保護膜生成ガスにより形成された保護膜と反応する反応ガスを供給する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至4記載のいずれか1に記載のドライエッチング方法。
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