JP2009265087A5 - - Google Patents
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- 被検体上の予測される欠陥周期より長い長さを有する領域の性状を評価する信号を得るセンサと、
領域長さが前記領域より短い小領域を複数、周期性欠陥の並び方向に、隣り合う距離間隔がすべて等しくなるように離して、位置を決定し、それら複数の小領域の位置に対応した信号を、前記センサ出力から選択する小領域選択手段と、
該小領域選択手段で選択した複数の信号間で、信号パターン相互の類似性の評価指数を算出する評価指数算出手段と、
前記小領域の位置と前記距離間隔を変更して、前記小領域選択手段と前記評価指数算出手段の演算処理を繰り返す設定値変更手段と、
前記評価指数が予め設定された値より高い場合に、前記距離間隔を周期と判定する周期判定手段と、
を備えたことを特徴とする周期性欠陥検出装置。 - 前記小領域選択手段は、
前記領域より短い長さの小領域の位置を1つ決定し、それを第1の小領域とし、前記センサ出力から、前記第1の小領域の位置に対応した信号を選択する第1の小領域選択手段と、
前記第1の小領域の位置を基準として、周期性欠陥の並び方向において、距離間隔をすべて等しく離して、複数の第2の小領域を配置するようにし、前記センサ出力から、前記複数の第2の小領域の位置に対応した信号を選択する第2の小領域選択手段と
を備え、
前記設定値変更手段は、前記第1の小領域の位置と前記距離間隔を変更して、前記小領域選択手段と前記評価指数算出手段の演算処理を繰り返すことを特徴とする請求項1に記載の周期性欠陥検出装置。 - 前記センサは、磁性金属部材からなる被検体を励磁し、漏洩磁束信号を得る磁気センサであることを特徴とする請求項1又は2に記載の周期性欠陥検出装置。
- 前記小領域の長さを想定される最大の欠陥と同程度の長さとすることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の周期性欠陥検出装置。
- 前記評価指数算出手段は、前記小領域の各々にて類似性を評価する値を算出し、それら値を組み合わせて前記評価指数を求めることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の周期性欠陥検出装置。
- 前記評価指数算出手段は、前記小領域の各々にて類似性を評価する値を算出し、それら値を加算して前記評価指数とすることを特徴とする請求項5に記載の周期性欠陥検出装置。
- 前記小領域の各々にて類似性を評価する値は、前記小領域間の相関値であることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の周期性欠陥検出装置。
- (a)被検体上の予測される欠陥周期より長い長さを有する領域の性状を評価するセンサ出力を得る信号入力ステップと、
(b)その領域長さが前記領域より短い小領域を複数、周期性欠陥の並び方向に、隣り合う距離間隔がすべて等しくなるように離して、位置を決定し、それら複数の小領域の位置に対応した信号を、前記センサ出力から選択する小領域選択ステップと、
(c)該小領域選択手段で選択した複数の信号間で、信号パターン相互の類似性の評価指数を算出する評価指数算出ステップと、
(d)前記小領域の位置及び距離間隔を変更して(b)及び(c)を繰り返す設定値変更ステップと、
(e)(c)で求めた評価指数が予め設定された値より高い場合には前記距離間隔を周期と判定する周期判定ステップと、
を有することを特徴とする周期性欠陥検出方法。 - 前記小領域選択ステップは、前記領域より短い長さの小領域の位置を1つ決定して、それを第1の小領域とし、該第1の小領域の位置を基準として、周期性欠陥の並び方向において、距離間隔をすべて等しく離して、複数の第2の小領域を配置するようにし、前記センサ出力から前記第1の小領域の位置及び前記複数の第2の小領域の位置に対応した信号を選択し、
前記設定値変更ステップは、前記第1の小領域の位置及び距離間隔を変更して(b)及び(c)を繰り返すことを特徴とする請求項8に記載の周期性欠陥検出方法。
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