JP2009260344A - リソグラフィ投影装置を測定する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決方法】 リソグラフィ投影装置を測定する方法について述べられている。この方法は、パターニングデバイスの検証マークを、リソグラフィ装置の基板テーブルによって保持された放射感応性層上に結像することを含み、検証マークが、ドーズ量設定、焦点設定、コントラスト設定に関して相互に異なる感度プロファイルを有する少なくとも第1、第2、および第3の検証構造を含む。
【選択図】 図4
Description
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
所望のパターンに従って放射ビームをパターニングするように構成されたパターニングデバイスであって、基板テーブルによって保持された放射感応性層上に結像しようとする検証マークを備え、検証マークが、ドーズ量設定、焦点設定、コントラスト設定に関して相互に異なる感度プロファイルを有する少なくとも第1、第2、および第3の検証構造を含む、パターニングデバイスと、
パターニングされたビームを放射感応性層上に結像するように構成された投影システムと
を含むリソグラフィ投影装置が提供される。
パターニングデバイスを使用し、放射ビームにその断面でパターンを与えること、
リソグラフィ装置を使用して、放射感応性材料の層によって少なくとも部分的に覆われる基板上に、パターニングされた放射ビームを投影すること、および、
投影するステップの前に、上述の方法のいずれかを使用してリソグラフィ装置を検証すること
を含むデバイス製造方法が提供される。
− 放射ビームB(たとえば、UV放射またはEUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
− パターニングデバイス(たとえば、マスク)MAを支持するように構築され、かつ、いくつかのパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続されたサポート構造(たとえば、マスクテーブル)MTと、
− 基板(たとえば、レジストコートウェーハ)Wを保持するように構築され、かつ、いくつかのパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(たとえば、ウェーハテーブル)WTと、
− パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wの(たとえば、1つまたは複数のダイを含む)ターゲット部分C上に投影するように構成された投影システム(たとえば、屈折投影レンズシステム)PSとを含む。
放射ビームを送るための放射システムILと、
所望のパターンに従ってビームをパターニングするように働くパターニングデバイスMAを支持するためのサポート構造MTと、
基板を保持するための基板テーブルWTと、
パターニングされたビームを基板のターゲット部分上に結像するための投影システムPOとを含む。
Claims (29)
- リソグラフィ投影装置を測定する方法であって、
パターニングデバイス内に設けられた検証マークを、リソグラフィ装置の基板テーブルによって保持された放射感応性層上に結像することを含み、
前記検証マークが、ドーズ量設定、焦点設定、コントラスト設定に関して相互に異なる感度プロファイルを有する少なくとも第1、第2、および第3の検証構造を備える、方法。 - 前記第3の検証構造が、密サブパターン付き検証パターンを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の検証構造が、少なくとも1対の検証パターンを備え、
前記検証パターンの1つが、入射する放射ビームの偏向を引き起こすエレメントによって覆われる、請求項1に記載の方法。 - 前記偏向を引き起こすエレメントがプリズムである、請求項3に記載の方法。
- 前記偏向を引き起こすエレメントが位相シフトマスクである、請求項3に記載の方法。
- 前記第2の検証構造が、疎サブパターン付き検証パターンを備える、請求項3に記載の方法。
- 前記第1の検証構造が、相互に異なる焦点設定を有する少なくとも第1および第2の検証パターンを備え、
前記第3の検証構造が、前記第1の検証パターンと前記第2の検証パターンの焦点設定の範囲内で中央にある焦点設定を有する、請求項1に記載の方法。 - 前記第1の検証構造の前記第1および第2の検証パターンが、互いに相互に直交して配置され、
結像時に使用される投影システムが非点投影誤差を有し、
前記放射感応性層での前記第1の検証パターンの像のシフトと前記第2の検証パターンの像のシフトとの差が決定される、請求項7に記載の方法。 - 前記第1の検証構造の前記第1の検証パターンから前記放射感応性層での前記第1の検証パターンの像までの光路の長さが、前記第1の検証構造の前記第2の検証パターンから前記放射感応性層での前記第2の検証パターンの像までの光路の長さと異なる、請求項7に記載の方法。
- 前記第1の検証構造の前記第1の検証パターンおよび前記第2の検証パターンが、第1および第2のレベルで、前記検証マークの平面に対して直交する方向で配置される、請求項9に記載の方法。
- 前記第1の検証構造の前記第1の検証パターンおよび前記第2の検証パターンが、前記放射感応性層で、それぞれの第1および第2のレベルで、前記放射感応性層の平面に対して直交する方向で結像される、請求項9に記載の方法。
- 前記放射感応性表面上の前記検証マークで形成された像の評価から、現在のドーズ量設定および/または現在の焦点設定および/または現在のコントラスト設定を検証すること、および、
前記ドーズ量設定および/または焦点設定および/またはコントラスト設定を適合させるように、前記装置の設定および/またはパラメータを調整すること
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - リソグラフィ投影装置を測定する方法であって、
パターニングデバイス内に設けられた検証マークを、リソグラフィ装置の基板テーブルによって保持された放射感応性層上に結像すること
を含み、
前記検証マークが、少なくとも第1の検証パターンを有する少なくとも第1の検証構造を備え、
前記検証構造が、相互に異なる焦点設定で結像される、方法。 - 前記第1の検証構造が、前記第1の検証パターンの焦点設定と異なる焦点設定で結像される第2の検証パターンを備える、請求項13に記載の方法。
- 前記第1の検証構造の前記第1の検証パターンが、異なる焦点設定で、2回以上で結像される、請求項13に記載の方法。
- 前記第1の検証パターンを有する前記第1の検証構造と前記像平面が、前記リソグラフィ装置の光軸の方向で互いに移動される、請求項13に記載の方法。
- リソグラフィ投影装置内で、所望のパターンに従って放射ビームをパターニングするように構成されたパターニングデバイスであって、
前記パターニングデバイスが検証マークを含み、
前記検証マークが、ドーズ量設定、焦点設定、コントラスト設定に関して相互に異なる感度プロファイルを有する少なくとも第1、第2、および第3の検証構造を備える、パターニングデバイス。 - 前記第3の検証構造が、密サブパターン付き検証パターンを備える、請求項17に記載のパターニングデバイス。
- 前記第1の検証構造が、少なくとも1対の検証パターンを備え、
前記検証パターンの1つが、入射する放射ビームの偏向を引き起こすためのエレメントによって覆われ、
前記検証パターンが相互に同じ焦点設定を有する、請求項18に記載のパターニングデバイス。 - 前記第1の検証構造が、第1および第2のレベルで、前記検証マークの平面に対して直交する軸の方向で配置される少なくとも第1および第2の検証パターンを備える、請求項18に記載のパターニングデバイス。
- 前記第1の検証構造の前記第1の検証パターンおよび前記第2の検証パターンが、実質的に同じ向きを有する、請求項20に記載のパターニングデバイス。
- 前記第2の検証構造が、第1および第2のレベルで、前記検証マークの平面に対して直交する軸の方向で配置される少なくとも第3および第4の検証パターンを備え、
前記第4の検証パターンが、前記軸の周りで実質的に180度回転される、前記第3の検証パターンに対するある向きを有する、請求項20に記載のパターニングデバイス。 - 第3および第4のレベルで、前記軸の方向で配置される追加の第1の検証パターンと追加の第2の検証パターンとを有する追加の第1の検証構造をさらに備え、
前記追加の第1の検証パターンおよび前記追加の第2の検証パターンが、前記軸の周りで実質的に90度回転される、前記第1の検証パターンに対するある向きを有する、請求項20から請求項22のいずれか一項に記載のパターニングデバイス。 - 前記追加の第1の検証構造の前記追加の第1の検証パターンおよび前記追加の第2の検証パターンが、実質的に同じ向きを有する、請求項23に記載のパターニングデバイス。
- 前記第3のレベルが前記第1のレベルと一致し、前記第4のレベルが前記第2のレベルと一致する、請求項23または請求項24に記載のパターニングデバイス。
- リソグラフィ投影装置内で、所望のパターンに従って放射ビームをパターニングするように構成されたパターニングデバイスであって、
前記パターニングデバイスが検証マークを含み、
前記検証マークが、相互に異なるレベルで、前記検証マークの平面に対して直交する軸の方向で配置される少なくとも第1および第2の検証パターンを備える少なくとも第1の検証構造を備える、パターニングデバイス。 - 基板を保持するように構成された基板テーブルと、
所望のパターンに従って放射ビームをパターニングするように構成されたパターニングデバイスであって、前記基板テーブルによって保持された放射感応性層上に結像しようとする検証マークを備え、前記検証マークが、ドーズ量設定、焦点設定、コントラスト設定に関して相互に異なる感度プロファイルを有する少なくとも第1、第2、および第3の検証構造を備える、パターニングデバイスと、
前記パターニングされたビームを前記放射感応性層上に結像するように構成された投影システムと
を含む、リソグラフィ投影装置。 - パターニングデバイスを使用し、放射ビームにその断面でパターンを与えること、
リソグラフィ装置を使用して、放射感応性材料の層によって少なくとも部分的に覆われる基板上に、前記パターニングされた放射ビームを投影すること、および、
前記投影するステップの前に、請求項1から請求項16のいずれか一項に記載の方法を使用して前記リソグラフィ装置を検証すること
を含む、デバイス製造方法。 - 請求項28に記載の方法に従って製造されたデバイス。
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