JP2006039148A - ホトマスク、それを用いたフォーカス測定方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 マスク製造上の負荷が少なく、かつ、高精度のフォーカス測定を可能とするホトマスクを提供すること。
【解決手段】 ホトマスクPM1は、光を遮蔽する遮光部と、光を透過する第1および第2の透過部を含み、前記第1の透過部を透過した光の位相と前記第2の透過部を透過した光の位相との差の絶対値をθ(≠90°)とし、かつ、前記遮光部の幅と前記第1の透過部の幅と前記第2の透過部の幅との比をn対1対1(nは2以外の正の実数)としたとき、θとnが163°≦360°/(n+2)≦197°を概ね満たす非対称回折格子パターン2と、前記非対称回折格子パターンの像のずれを測定する際の基準となる像を得るための基準パターン3とを備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】 ホトマスクPM1は、光を遮蔽する遮光部と、光を透過する第1および第2の透過部を含み、前記第1の透過部を透過した光の位相と前記第2の透過部を透過した光の位相との差の絶対値をθ(≠90°)とし、かつ、前記遮光部の幅と前記第1の透過部の幅と前記第2の透過部の幅との比をn対1対1(nは2以外の正の実数)としたとき、θとnが163°≦360°/(n+2)≦197°を概ね満たす非対称回折格子パターン2と、前記非対称回折格子パターンの像のずれを測定する際の基準となる像を得るための基準パターン3とを備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体分野で使用されるホトマスク、それを用いたフォーカス測定方法および半導体装置の製造方法に関する。
製造される半導体装置のデザインルールが小さくなるに従い、リソグラフィに許されるフォーカスの許容値が狭くなってきている。フォーカスの許容値が狭くなると、ウエハの平坦度や露光装置の像面彎曲に対するスペックが厳しくなるのと同時に、ウエハ上に転写されたレジストパターンを用いたフォーカスや像面彎曲等の高精度な測定方法が重要となってくる。
非対称回折格子パターンおよび基準パターンを備えたフォーカステストマスク、該フォーカステストマスクを用い、上記非対称回折格子パターンの像がフォーカス値に正比例してずれる現象を利用したフォーカス測定方法が知られている(特許文献1)。該フォーカス測定方法は、計測誤差5nm以下の高い計測精度を有し、計測自体も簡便なことから、現在最も有望な技術の一つであるといえる。
上記非対称回折格子パターンは、遮光部、透過部および90°位相掘り込み部を備えている。上記遮光部、上記透過部および上記90°位相掘り込み部の線幅比は、2対1対1であることが理想である。一方、実際の半導体製品を製造するためのパターン(デバイスパターン)を含む、Alternating タイプの位相シフト露光マスクは、180°位相掘り込み部を備えている。
上記非対称回折格子パターンおよび上記デバイスパターンを備えた露光マスクの製造方法は、90°位相掘り込み部を形成する工程と、180°位相掘り込み部を形成する工程とを含む。これらの2つの工程を行うことは、製造プロセスの複雑化や製造コストの著しい上昇を招く。以下、この点についてさらに説明する。
上記180°位相掘り込み部を形成する工程は、ドライプロセス(例えばRIEプロセスなどの垂直エッチングプロセス)により石英ガラス基板の表面に垂直に溝を形成する工程と、ウエットプロセス(等方エッチングプロセス)により上記溝を所定の量だけ横方向および縦方向に広げる工程とを含む。ドライプロセスによる掘り込み量とウエットプロセスによる掘り込み量との総和は、掘り込みが無い場合に比べ、透過する光の位相が180°相当だけ後れる掘り込み量である。
精度が高いAlternatingタイプの位相シフト露光マスクを得るためには、上記溝を垂直に掘り込むだけでなく、横方向にも広げなければならない。しかし、横方向にのみ溝を広げるエッチングプロセスは存在しないため、上述の如く、ドライプロセスとウエットプロセスの併用が必要となる。また、横方向へ広げる量は高い精度でコントロールする必要があるため、ドライプロセスでの掘り込み量は、180°相当量から横方向へ広げる量を差し引いた深さとなる。一方、精度の高いフォーカステストマスクを得るためには、ドライプロセスのみで90°相当の掘り込みを形成しなければならない。
したがって、従来技術では、精度の高いAlternatingタイプの位相シフト露光マスクと精度の高いフォーカステストマスクを1枚の露光マスクで実現するためには、上述のエッチングプロセスをそれぞれ分けて行わなければならず、従来のAlternatingタイプの位相シフト露光マスクに比べ、マスク製造コストが少なくとも30%以上の上昇となる。
特許第3297423号公報
本発明の目的は、マスク製造上の負荷が少なく、かつ、高精度のフォーカス測定を可能とするホトマスク、それを用いたフォーカス測定方法および半導体装置の製造方法を提供することにある。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
すなわち、上記目的を達成するために、本発明に係るホトマスクは、プラス1次回折光とマイナス1次回折光の回折効率が異なる非対称回折格子パターンであって、光を遮蔽する遮光部と、光を透過する第1および第2の透過部を含み、前記第1の透過部を透過した光の位相と前記第2の透過部を透過した光の位相との差の絶対値をθ(≠90°)とし、かつ、前記遮光部の幅と前記第1の透過部の幅と前記第2の透過部の幅との比をn対1対1(nは2以外の正の実数)としたとき、θとnが式1で示される関係を163°≦360°/(n+2)+θ≦197°を概ね満たす非対称回折格子パターンと、前記非対称回折格子パターンの像のずれを測定する際の基準となる像を得るための基準パターンとを具備してなることを特徴とする。
本発明に係るフォーカス測定方法は、フォーカステストマスクとして本発明に係るホトマスクを用意する工程と、前記基板上に感光剤を塗布する工程と、前記基板上に前記ホトマスク中の非対称回折格子パターンおよび基準パターンの像を同時に露光する工程と、前記基板上に転写されたパターンを現像する工程と、前記基板上に形成された前記回折格子パターンと前記基準パターンの像の相対的な距離を測定する工程とを含むことを特徴とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、露光マスクとして本発明に係るホトマスクのうちデバイスパターンを含むホトマスクを用意する工程と、前記基板上に感光剤を塗布する工程と、前記基板上に前記ホトマスク中の非対称回折格子パターン、基準パターンおよびデバイスパターンの像を同時に露光する工程と、前記基板上に転写されたパターンを現像する工程と、前記基板上に形成されたデバイスパターンを検査する工程と、前記デバイスパターンを検査する工程で、前記デバイスパターン中に不良が検出された場合、前記回折格子パターンと前記基準パターンの像の相対的な距離を測定する工程とを含むことを特徴とする。
本発明の上記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記載および添付図面によって明らかになるであろう。
本発明によれば、マスク製造上の負荷が少なく、かつ、高精度のフォーカス測定を可能とするホトマスク、それを用いたフォーカス測定方法および半導体装置の製造方法を実現できるようになる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図1および図2は、実施形態のホトマスクを模式的に示す平面図である。具体的には、図1はフォーカステストマスクPM1の例を示しており、図2は露光マスクPM2の例を示している。
フォーカステストマスクPM1は、石英ガラス基板1と、石英ガラス基板1上に設けられたフォーカス測定のためのテストマークTMとを備えている。
露光マスクPM2は、石英ガラス基板1と、石英ガラス基板1上に設けられたテストマークTMと、石英ガラス基板1上に設けられ、実際の半導体製品を製造するためのパターン(デバイスパターン)を含む、Alternatingタイプの位相シフトマスクPSMとを備えている。位相シフトマスクPSMは、遮光部、第1の透過部および第2の透過部(位相掘り込み部)を備えている。第1の透過部を透過した光の位相と第2の透過部を透過した光の位相との差の絶対値は180°である。
ホトマスクPM1,PM2中のテストマークTMは、プラス1次回折光とマイナス1次回折光とで回折効率が異なる周期パターンを含む非対称回折格子パターン(以下、PSGパターンという。)2と、基準パターン3とを備えている。
図3は、PSGパターン2の詳細を示す平面図である。図4は、図3の矢視A−A’断面図である。
PSGパターン2は、ガラス基板1上に設けられた光を遮断する遮光部4と、ガラス基板1上に設けられた光を通す第1の透過部5と、ガラス基板1上に設けられた光を通す第2の透過部6(位相掘り込み部)とを備えている。
遮光部4、第1の透過部5および第2の透過部6は、以下の二つの式([1]、[2])を満たす。
W1:W2:W3=n:1:1 …[式1]
163°≦360°/(n+2)+θ≦197° …[式2]
W1…遮光部4の幅。
163°≦360°/(n+2)+θ≦197° …[式2]
W1…遮光部4の幅。
W2…第1の透過部5の幅。
W3…第2の透過部6の幅。
n…2以外の正の実数。
θ…第1の透過部5を透過した光の位相と第2の透過部6を透過した光の位相との差の絶対値。ただし、90°は除く。
図5(a)−5(h)は、露光マスクPM2の製造方法を示す断面図である。一点鎖線の左側はマスク内でのPSGパターン2が占める領域(PSG領域)を、一点鎖線の右側はマスク内での位相シフトマスクPSMが占める領域(Alternating PSM領域)を表している。
まず、図5(a)に示すように、石英ガラス基板1上に遮光部となるクロム膜(遮光膜)4が形成される。
次に、図5(b)に示すように、クロム膜4上にレジスト膜が形成され、その後、該レジスト膜に対して露光および現像が行われ、レジストパターン11が形成される。このレジストパターン11は、PSG領域およびAlternating PSM領域内の遮光部を形成するためのものである。上記レジスト膜の露光は例えばEB描画により行われる。
次に、図5(c)に示すように、レジストパターン11をマスクにして、クロム膜4がエッチングされる。その結果、PSG領域およびAlternating PSM領域内には、クロムからなる遮光部4が形成される。しかる後、レジストパターン11が除去される。
本実施形態では、PSG領域内の遮光部4を形成するためのレジストパターンの形成工程と、Alternating PSM領域内の遮光部を形成するためのレジストパターンの形成工程とが図5(b)の工程で同時に行われ、さらにPSG領域内の遮光部4を形成するためのエッチング工程と、Alternating PSM領域内の遮光部を形成するためのエッチング工程が図5(c)の工程で同時に行われる。したがって、本実施形態の露光マスクPM2の製造プロセスは、従来のAlternatingタイプの位相シフトマスクの製造プロセスと比べ、何ら変更されるところが無い。
なお、PSG領域内の遮光部4を形成するためのレジストパターンの形成工程とAlternating PSM領域内の遮光部を形成するためのレジストパターンの形成工程とをそれぞれ別の工程で行い、PSG領域内の遮光部4を形成するためのエッチング工程とAlternating PSM領域内の遮光部を形成するためのエッチング工程をそれぞれ別の工程で行っても構わない。
この場合、PSG領域内の遮光部4の形成プロセスおよびAlternating PSM領域内の遮光部の形成プロセスを容易に最適化することが可能となる。例えば、PSG領域内の遮光部4を形成するためのレジストパターンの形成工程を、EB露光装置に比べて合わせ精度が高い装置であるフォトリピータを用いて行える。
次に、図5(d)に示すように、遮光部4および石英ガラス基板1上にレジストパターン12が形成される。レジストパターン12は、PSG領域およびAlternating PSM領域内の第1および第2の透過部(位相掘り込み部)を形成するためのものである。
次に、図5(e)に示すように、レジストパターン12をマスクにして石英ガラス基板1の表面がRIEプロセス(ドライプロセス)によりエッチングされる。その結果、石英ガラス基板1の表面には、複数の掘り込み部(溝)が形成される。これらの掘り込み部は略垂直な側壁を有している。図5(e)には、7つの複数の掘り込み部が示されている。しかる後、レジストパターン12は除去される。
上記複数の掘り込み部のうち、PSG領域内のものは第2の透過部6となる。上記複数の掘り込み部のうち、Alternating PSM領域内のものは、図5(g)のウエットプロセスを経て第2の透過部となる。
また、PSG領域およびAlternating PSM領域内のうち、遮光部4が形成されておらず、かつ、上記掘り込み部が形成されていない部分は、第1の透過部5となる。
次に、図5(f)に示すように、遮光部4および石英ガラス基板1上にレジストパターン13が形成される。レジストパターン13は、Alternating PSM領域内の第2の透過部(位相掘り込み部)を形成するためのものである。PSG領域はレジストパターン13によりマスクされる。Alternating PSM領域は掘り込み部を除いてレジストパターン13によりマスクされる。
次に、図5(g)に示すように、レジストパターン13をマスクにしてウエットプロセスにより石英ガラス基板1の表面がエッチングされ、Alternating PSM領域内の上記掘り込み部が横方向および縦方向に広げられる。この横方向および縦方向に広げられた掘り込み部が、Alternating PSM領域内の第2の透過部6’となる。
その後、図5(h)に示すように、レジストパターン13が除去され、露光マスクPM2が得られる。
図6に、具体的な寸法値が付された露光マスクPM2の断面図を示す。
Alternating PSM領域内の第1の透過部5を透過する光の位相と第2の透過部6’を透過する光の位相との差の絶対値が180°になるように、第2の透過部6’の掘り込み部の深さは厳密に制御される。
上記180°に相当する深さを有する第2の透過部6’の掘り込み部の深さは、ウエットプロセスを用いずに、RIEプロセスだけでも形成することができる。しかし、以下の理由により、第2の透過部6’の掘り込み部は、RIEプロセスとウエットプロセスを用いて形成される。
図5(e)のRIEプロセス中に生成される反応生成物は、掘り込み部の側壁に付着する。掘り込み部の側壁に反応生成物が付着すると、非掘り込み開口部(レジストパターン12で覆われた石英ガラス基板1の表面部分)に比べて、掘り込み部の光透過強度が低下する。掘り込み部の光透過強度の低下は、ウエハ上に形成されるレジストパターンの寸法誤差を招く原因となる。
そこで、RIEプロセスの後に、ウエットプロセスを行うことによって、掘り込み部の側壁に付着した反応生成物を除去するとともに、上記180°に相当する深さを有する第2の透過部6’の掘り込み部を形成するようにしている。
RIEプロセスでのエッチング量とウエットプロセスでのエッチング量との合計は、上記180°に相当する量にする必要がある。
このとき、ウエットプロセスで必要となるサイドエッチング量(反応生成物を除去するために必要な横方向のエッチング量)を考慮して、RIEプロセスでの深さ方向(縦方向)のエッチング量とウエットプロセスでの深さ方向(縦方向)のエッチング量との配分が決められる。
通常では、図5(e)のRIEプロセスでは75°に相当するエッチング量、図5(e)のウェットプロセスでは105°に相当するエッチング量が選択される。この場合、PSG領域内の第2の透過部6’の掘り込み部の深さは75°に相当する深さとなる。
W1:W2:W3=n:1:1の場合、プラス1次回折光とマイナス1次回折光のうち、どちらか一方が消滅する条件は、次式で表される。
360°/(n+2)+θ=180°…[式3]
θ=75°を[式3]に代入すると、n=1.4286となる。この値から、PSGパターンの線幅比(W1:W2:W3)は、1.43:1:1に予め設計されている。
θ=75°を[式3]に代入すると、n=1.4286となる。この値から、PSGパターンの線幅比(W1:W2:W3)は、1.43:1:1に予め設計されている。
すなわち、PSGパターンを形成するための石英ガラス基板1のエッチングが、ウエットプロセスを用いずにRIEプロセスだけで行えるように、PSGパターンの線幅比が選択されている。そのため、寸法精度が高いテストマークが製造される。
さらに、本実施形態の露光マスクPM2の製造方法は、石英ガラス基板1上のパターンレイアウト(パターンの形状および寸法)を除いて、従来の露光マスクの製造方法と何ら変わりがない。
したがって、本実施形態によれば、デバイスパターンおよび精度が高いテストマークを含む露光マスクを、製造コストの増加を招かずに容易に実現することが可能となる。
また、上記露光マスクからデバイスパターンを省いた場合には、精度が高いテストマークを含むフォーカステストマークを、製造コストの増加を招かずに容易に実現することが可能となる。
図7に、W1:W2:W3=n:1:1とした場合のnとθとの関係を示す。
図7において、εはプラス1回折次光の強度とマイナス1次回折光の強度との比(光強度比)を表している。光強度比の分母には、強度が強い方の1次回折光が選ばれている。
太い実線はε=0を表している。ε=0の曲線は、一方の1次回折光が完全に消滅する場合(理想的な条件)のnとθとの関係を表している。
一方、2本の細い実線はε=0.01を表している。ε=0.01の曲線は、一方の1次回折光が他方の1%程度の強度しかない場合のnとθとの関係を表している。
そして、2本の点線はε=0.02を表している。ε=0.02の曲線は、一方の1次回折光が他方の2%程度の強度しかない場合のnとθとの関係を表している。この2本の点線で挟まれた領域内であれば、フォーカス計測が十分に正確に行える。この領域は上記の[式2]で表される。
θが理想値に近いほど、フォーカス計測精度が高いことは言うまでもない。しかし、マスクのデザインの容易さを考慮すると、nは切りのよい数字である方が望ましい。図8(a)−8(f)に、n=0.5(θ=36)、1.0(θ=60°)、1.5(θ=77.143°)、2.0(θ=90°)、2.5(θ=100°)、3.0(θ=108°)に対応したPSGパターンの断面図を示す。特に、図8(d)のマスクは、特許文献1中に1例としてあげられた構造を備えたマスクである。現実的なθおよびnを有するマスクとしては、図8(a)、図8(b)および図8(f)に示すマスクがあげられる。
本実施形態のフォーカステストマスクPM1についてさらに説明する。本実施形態のフォーカステストマスクPM1は、先に述べた通りに、テストマークTMと基準パターン3とを備えている。
基準パターン3としては、主に、図9(a)−9(c)に示す3種類があげられる。すなわち、図9(a)に示す大きな孤立パターン3a、図9(b)に示す回折格子パターン3b、図9(c)に示す回折格子の向きがPSGパターン2のそれと逆である非対称回折格子3cがあげられる。
大きな孤立パターン3aはDOFが広いため、広いフォーカスレンジを持つ測定が可能となる。回折格子パターン3bはコマ収差の影響が非対称回折格子と同等であるため、コマ収差の影響を受けない測定が可能となる。そして、逆向きの非対称回折格子3cは相対的なシフト量が2倍になるため、感度が2倍の測定が可能となる。
また、測定装置に起因する測定誤差を取り除くためには、図10(a)−10(c)および図11(a)−11(c)に示すように、一つのPSGパターン2が二つの基準パターン(二つの大きな孤立パターン3a、二つの回折格子パターン3bまたは二つの非対称回折格子パターン3c)に挟まれた構造を有するテストマスクTMを用いることが望ましい。逆に、一つの基準パターンが二つのPSGパターンで挟まれた構造を用いても、同様に、測定装置に起因する測定誤差を取り除くことができる。なお、図10以降においては簡略化のためにパターンには必ずしも参照符号は付されておらず、同じハッチングは同じ部位を示している。
さらに、投影レンズに非点収差が存在する場合は、図12に示すように、直交する2方向のPSGパターン2が近接して配置されている構造を有するテストマスクTMを用いることにより、フォーカスだけでなく、非点収差も測定することができる。
図13は、合わせずれ検査装置による自動測定に対応したテストマークを示す平面図である。図14は、図13(d)の矢視A−A’および矢視B−B’断面図である。
図13(a)に示すテストマークTMは、二つの非対称回折格子パターン2(第1および第2の非対称回折格子パターン)と、二つの基準パターン(第1および第2の基準パターン)3aを含んでいる。
図13(b)に示すテストマークTMは、図13(a)に示すテストマークTMにおいて、基準パターン3aを基準パターン3bに置き換えたものである。
図13(c)に示すテストマークTMは、図13(a)に示すテストマークTMにおいて、基準パターン3aを基準パターン3cに置き換えたものである。
図13(d)に示すテストマークTMは、矩形状のテストマークTM1と、このテストマークTM1を囲むように配置された矩形形状のテストマークTM2とを備えている。テストマークTM1,TM2は、図13(a)−13(c)のいずれかのテストマークを上下に引き延ばして得られた直線状のテストマークを、矩形状に変えることで得られたテストマークである。
すなわち、図13(d)に示すテストマークTMは、第1および第2の非対称回折格子パターン、ならびに、第1および第2の基準パターンを含み、第1の非対称回折格子パターンと第1の基準パターンは第1の直線上に平行に配置され、第2の非対称回折格子パターンと第2の基準パターンは第1の直線に対して垂直な第2の直線上に平行に配置された構成になっている。
図13(a)−13(d)のテストマークでは、フォーカス値と位置ずれの関係が直線的にならない。
これを改善するテストマークとしては、例えば、図15(a)および15(b)に示すものがあげられる。図15(a)に示すテストマークTMaを用いて露光が行われ、その後、図15(b)に示すテストマークTMbを用いて露光が行われる。これらの露光により形成された計測パターンは、フォーカス値と位置ずれの関係が略直線上になる利点がある。
図16は、テストマークTMa,TMbを含む露光マスクを示す平面図である。テストマークTMa,TMbは、露光マスクの露光領域の周辺部に配置されている。
図17は、図16の露光マスクを用いた2重露光の方法を説明するための図である。この方法は、ウエハ21上で隣り合う露光領域22,23の重なり領域24を利用して2重露光を行う方法である。
すなわち、露光領域22内に転写されたテストマークTMbのパターンと、露光領域23内に転写されたテストマークTMaのパターンとが、重なり領域24内において、所定通りに重なり合うように、隣り合う二つの露光領域22,23の露光が行われる。これにより、テストマークの2重露光を行うための二つの露光工程を別途追加する必要が無くなる。
図18に、反射光のプロファイルに基づいてフォーカスを測定するためのテストマークの平面図を示す。
図18のテストマークは、複数の非対称回折格子パターン2および複数の基準パターン3を含み、非対称回折格子パターン2と基準パターン3が一つの直線に平行に、かつ、横方向に一定量だけシフトされながら、非対称回折格子パターン2と基準パターン2が交互に縦方向に配置された構成になっている。
上記構成であれば、フォーカスにより上下方向で交互にパターンがずれるため、このずれによる干渉によって反射光のプロファイルが変化する。このプロファイルの変化からフォーカス値を測定できる。上記反射光のプロファイルは、例えば、スキャッタメトリ(scatterometoroy)という装置を用いて取得できる。また、図18のテストマークを用いる場合、2重露光が不要となる利点がある。
本実施形態のフォーカス測定方法は、以下の通りである。
本実施形態のフォーカス測定方法では、投影光学系を介してホトマスク上に形成されたマスクパターンの像を基板上に投影する投影露光装置が使用される。この投影露光装置を用いて、実施形態のホトマスク(フォーカステストマスク)上に形成されたテストマークの像が上記基板上に投影され、この像を用いて上記基板の表面のデフォーカス量が取得される。
より詳細には、まず、上記基板上に感光剤が塗布される。
次に、上記基板上に上記ホトマスク中のテストマーク中の回折格子パターンおよび基準パターンの像が同時に露光される。
次に、上記基板上に転写されたパターンが現像される。
次に、上記基板上に形成された上記回折格子パターンと上記基準パターンの像の相対的な距離が測定され、該計測された距離に基づいてデフォーカス量が取得される。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、以下の通りである。
本実施形態の半導体装置の製造方法では、投影光学系を介して露光マスク上に形成されたマスクパターンの像を基板上に投影する投影露光装置が使用される。この投影露光装置を用いて、実施形態のホトマスク(露光マスク)上に形成されたデバイスパターンおよびテストマークの像が上記基板上に投影され、この像を用いて実際の半導体製品が製造されるとともに、上記基板の表面のデフォーカス量が取得される。実施形態の露光マスクの位相シフトマスクPSMとテストマスクTMとの組合せは種々考えられるがいずれでも構わない。
より詳細には、まず、上記基板上に感光剤が塗布される。
次に、上記基板上に上記ホトマスク中の非対称回折格子パターン、基準パターンおよびデバイスパターンの像が同時に露光される。
次に、上記基板上に転写されたパターンが現像される。
次に、上記基板上に形成されたデバイスパターンが検査される。
次に、上記デバイスパターンを検査する工程で、上記基板上に形成された上記デバイスパターン中に不良が検出された場合、上記回折格子パターンと上記基準パターンの像の相対的な距離が測定され、該計測された距離に基づいてデフォーカス量が取得される。
次に、上記不良が検出されたデバイスパターンと上記デフォーカス量とが記憶装置内に記録される。記憶装置のタイプは特に限定されない。
次に、上記不良が検出されたデバイスパターンに係るホトマスクの修正が行われる。
ここでは、不良が検出された場合に、デフォーカス量を取得する場合について説明したが、不良の検出の有無に関係なく、デフォーカス量を取得しても構わない。
上記デバイスパターンおよび上記デフォーカス量を含むウエハ履歴のデータベースを構築することにより、不意に発生した歩留まり低下の原因を容易に究明できるとともに、歩留まりの低下を未然に防止することが可能となる。
上記半導体装置としては、DRAM、ロジックLSI、システムLSI(DRAM混載LSI)の他に、液晶ディスプレイ(LCD)や、LCDを用いた装置(例えば、携帯電話、液晶テレビ、パーソナルコンピュータ、PDA)等があげられる。
以上述べたように、遮光部と透過部と位相掘り込み部の線幅比が2対1対1、透過部と位相掘り込み部を透過する光の位相差が90°であるホトマスクが、フォーカス測定には最も理想的なホトマスクであるが、上記理想的なホトマスク以外であっても、位相差と線幅比が[式2]を満たす実施形態のホトマスクを用いれば、上記理想的なホトマスクと略同様の高精度のフォーカス測定が可能となる。これにより、例えば、通常のAlternatingタイプの位相シフトマスクに上記非対称回折格子を形成する場合も、マスク製造上の負荷が少ない位相差に掘り込み量を設定でき、様々な露光マスクにおいても、従来技術と同等の高精度なフォーカス測定技術を実現できるようになる。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施できる。
PM1,PM2…フォーカステストマスク、PSM…位相シフトマスク、TM…テストマーク、1…石英ガラス基板、2…PSGパターン、3…基準パターン、4…遮光部、5…第1の透過部、6,6’…第2の透過部、11,12,13…レジストパターン、21…ウエハ、22,23…露光領域、TMa,TMb…テストマーク。
Claims (13)
- プラス1次回折光とマイナス1次回折光の回折効率が異なる非対称回折格子パターンであって、光を遮蔽する遮光部と、光を透過する第1および第2の透過部を含み、前記第1の透過部を透過した光の位相と前記第2の透過部を透過した光の位相との差の絶対値をθ(≠90°)とし、かつ、前記遮光部の幅と前記第1の透過部の幅と前記第2の透過部の幅との比をn対1対1(nは2以外の正の実数)としたとき、θとnが式1で示される関係を
163°≦360°/(n+2)+θ≦197°…[1]
を概ね満たす非対称回折格子パターンと、
前記非対称回折格子パターンの像のずれを測定する際の基準となる像を得るための基準パターンと
を具備してなることを特徴とするホトマスク。 - 前記基準パターンは、前記非対称回折格子パターンとは対称な非回折格子パターンであることを特徴とする請求項1に記載のホトマスク。
- 前記基準パターンは、第1および第2の基準パターンを含み、この第1の基準パターンと前記第2の基準パターンとの間に前記非対称回折格子パターンが配置されていることを特徴とする請求項1に記載のホトマスク。
- 前記非対称回折格子パターンは、第1および第2の非対称回折格子パターンを含み、この第1の非対称回折格子パターンと前記第2の非対称回折格子パターンとの間に前記基準パターンが配置されていることを特徴とする請求項1に記載のホトマスク。
- 前記非対称回折格子パターンは、第1および第2の非対称回折格子パターンを含み、前記基準パターンは第1および第2の基準パターンを含み、前記第1の非対称回折格子パターンと前記第1の基準パターンは第1の直線上に平行に配置され、前記第2の非対称回折格子パターンと前記第2の基準パターンは前記第1の直線に対して垂直な第2の直線上に平行に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のホトマスク。
- 前記非対称回折格子パターンは、複数の非対称回折格子パターンを含み、前記基準パターンは複数の基準パターンを含み、非対称回折格子パターンと基準パターンが一つの直線に平行に、かつ、交互に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のホトマスク。
- 前記θと前記nが式2で示される関係を
360°/(n+2)+θ=180°…[2]
を概ね満たすことを特徴とする請求項1に記載の露光マスク。 - 前記θは略36°、前記nは略0.5であることを特徴とする請求項1に記載のホトマスク。
- 前記θは略60°、前記nは略1であることを特徴とする請求項1に記載のホトマスク。
- 前記θは略108°、前記nは略3であることを特徴とする請求項1に記載のホトマスク。
- 前記ホトマスクは、さらにデバイスパターンを備えていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1項に記載のホトマスク。
- フォーカステストマスクとして請求項1ないし11のいずれか1項に記載のホトマスクを用意する工程と、
前記基板上に感光剤を塗布する工程と、
前記基板上に前記ホトマスク中の非対称回折格子パターンおよび基準パターンの像を同時に露光する工程と、
前記基板上に転写されたパターンを現像する工程と、
前記基板上に形成された前記回折格子パターンと前記基準パターンの像の相対的な距離を測定する工程と
を含むことを特徴とするフォーカス測定方法。 - 露光マスクとして請求項11に記載のホトマスクを用意する工程と、
前記基板上に感光剤を塗布する工程と、
前記基板上に前記ホトマスク中の非対称回折格子パターン、基準パターンおよびデバイスパターンの像を同時に露光する工程と、
前記基板上に転写されたパターンを現像する工程と、
前記基板上に形成されたデバイスパターンを検査する工程と、
前記デバイスパターンを検査する工程で、前記デバイスパターン中に不良が検出された場合、前記回折格子パターンと前記基準パターンの像の相対的な距離を測定する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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